Зырянов Сергей Михайлович
пользователь
кандидат физико-математических наук с 2010 года
Количество цитирований статей в журналах по данным
Web of Science: 551,
Scopus: 598
IstinaResearcherID (IRID): 467877
Деятельность
-
Статьи в журналах
-
-
2022
Effect of H atoms and UV wideband radiation on cured low-k OSG films
-
Lopaev Dmitry,
Zotovich Alexey,
Zyryanov S.M.,
Bogdanova Maria,
Rakhimova T.V.,
Mankelevich Yu A.,
Novikova N.N.,
Seregin Dmitry S.,
Vishnevskiy Alexey,
Vorotilov Konstantin,
Shi Xiaoping,
Baklanov Mikhail
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 55, № 25, с. 255206
DOI
-
-
-
2022
Modification of Porous Ultralow-k Film by Vacuum Ultraviolet Emission
-
Zotovich Alexey I.,
Zyryanov Sergey M.,
Lopaev Dmitry V.,
Rezvanov Askar A.,
Attallah Ahmed G.,
Liedke Maciej O.,
Butterling Maik,
Bogdanova Maria A.,
Vishnevskiy Alexey S.,
Seregin Dmitry S.,
Vorotyntsev Dmitry A.,
Palov Alexander P.,
Hirschmann Eric,
Wagner Andreas,
Naumov Sergej,
Vorotilov Konstantin A.,
Rakhimova Tatyana V.,
Rakhimov Alexander T.,
Baklanov Mikhail R.
-
в журнале ACS Applied Electronic Materials, издательство American Chemical Society (United States), № 0, с. null
DOI
-
-
2021
“Virtual IED sensor” for df rf CCP discharges
-
Bogdanova M.,
Lopaev D.,
Rakhimova T.,
Voloshin D.,
Zotovich A.,
Zyryanov S.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 30, с. 075020
DOI
-
-
2020
Damage of porous SiCOH low-k dielectrics by O, N and F atoms at lowered temperatures
-
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Rakhimova T.V.,
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 53, с. 175203
DOI
-
-
2020
Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
-
Booth J-P,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Santos Sousa J.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Rakhimova T.,
Voloshin D.,
Mankelevich Yu,
de Oliveira N.,
Nahon L.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 11, с. 115009
DOI
-
-
2020
Electron energy probability function in plasma controlled by high-energy run-away electrons
-
Lopaev D.V.,
Bogdanova M.A.,
Volynets A.V.,
Zotovich A.I.,
Zyryanov S.M.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 2, с. 025026-1-025026-8
DOI
-
-
2020
Experimental and PIC MCC study of electron cooling - re-heating and plasma density decay in low pressure rf ccp argon afterglow
-
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Kovalev A.S.,
Anna Vasilieva,
Alexey Zotovich,
Zyryanov S.M.,
Rakhimov A.T.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 1, с. 015015
DOI
-
-
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
-
Voronina E.N.,
Sycheva A.A.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Proshina O.V.,
Voloshin D.G.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Mankelevich Y.A.
-
в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), № 2, с. e1900165
DOI
-
-
2019
Ion composition of rf CCP in Ar/H2 mixtures
-
Bogdanova Maria,
Lopaev Dmitry,
Zyryanov Sergey,
Voloshin D.G.,
Rakhimova Tatyana
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 28, № 9, с. 095017
DOI
-
-
2019
Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
-
Booth J.P.,
Guaitella O.,
Chatterjee A.,
Drag C.,
Guerra V.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Rakhimova T.,
Voloshin D.,
Mankelevich Yu
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 28, с. 055005
DOI
-
-
2019
Volume and surface loss of O(3P) atoms in O2 RF discharge in quartz tube at intermediate pressures (10–100 Torr)
-
Volynets A.V.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Bogdanova M.A.,
Rakhimov A.T.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 52, № 39, с. 395203
DOI
-
-
2018
Low-k protection from F radicals and VUV photons by multilayer pore grafting approach
-
Zotovich Alexey,
Rezvanov Askar,
Chanson Romain,
Zhang Lin,
Hacker Nigel,
Kurchikov Konstantin Alekseevich,
Klimin Sergey,
Zyryanov S.M.,
Lopaev D.,
Gornev Evgeny,
Clemente Iosif,
Miakonkikh Andrew,
Maslakov K.I.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 32, с. 325202
DOI
-
-
2018
Relation between the ion flux and plasma density in an rf CCP discharge
-
Bogdanova Maria,
Lopaev Dmitry,
Zyryanov Sergey,
Voloshin Dmitry,
Rakhimova Tatyana
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 27, № 2, с. 025003
DOI
-
-
2018
Silicon dioxide and low-k material sputtering in dual frequency inductive discharge by argon ions with energies from 16 to 200 eV
-
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Zotovich A.I.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 2, с. 02LT02
DOI
-
-
-
2017
Actinometry of O, N and F atoms
-
Lopaev D.V.,
Volynets A.V.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Rakhimov A.T.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 50, № 7, с. 075202
DOI
-
-
2017
Damage and etching of ultra low-k materials in fluorocarbon plasma at lowered temperatures
-
Lopaev D.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Zotovich Alexey,
Zyryanov S.M.,
Baklanov Mikhail R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 50, с. 485202
DOI
-
-
2017
Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
-
Voronina E.N.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Palov A.P.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Baklanov M.R.
-
в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 71, с. 111
DOI
-
-
2017
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: experiment and DFT simulation
-
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Palov A.P.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 71, № 5, с. 126
DOI
-
-
2017
Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
-
Proshina O.,
Rakhimova T.,
Zotovich Alexey,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Rakhimov A.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 26, с. 075005
DOI
-
-
-
2016
Effect of porosity and pore size on dielectric constant of organosilicate based low-k films: An analytical approach
-
Palov A.P.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Mankelevich Yu A.,
Krishtab M.B.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 34, № 4, с. 041205
DOI
-
-
-
2016
Multi-step reactions mechanism for F atoms interactions with organosilicate glass and SiOx films
-
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Palov A.P.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 49, № 34, с. 345203
DOI
-
-
-
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
-
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Y.A.,
Kurchikov K.A.,
Zyryanov S.M.,
Palov A.P.,
Proshina O.V.,
Maslakov K.I.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 48, № 17, с. 175204-(14pp)
DOI
-
-
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
-
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimov A.T.,
Zyryanov S.M.,
Kurchikov K.A.,
Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 48, № 17, с. 175203-(13pp)
DOI
-
-
2015
Plasma probe characteristics in low density hydrogen pulsed plasmas
-
Astakhov D.I.,
Goedheer W.J.,
Lee C.J.,
Ivanov V.V.,
Krivtsun V.M.,
Zotovich A.I.,
Zyryanov S.M.,
Lopaev D.V.,
Bijkerk F.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 24, № 5, с. 055018
DOI
-
-
2014
Low-k films modification under EUV and VUV radiation
-
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Mankelevich Yu A.,
Lopaev D.V.,
Kovalev A.S.,
Vasil’eva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Kurchikov K.,
Proshina O.V.,
Voloshin D.G.,
Novikova N.N.,
Krishtab M.B.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 47, № 2, с. 025102
DOI
-
-
2013
Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
-
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Mankelevich Yu A.,
Lopaev D.V.,
Kovalev A.S.,
Vasil’eva A.N.,
Proshina O.V.,
Braginsky O.V.,
Zyryanov S.M.,
Kurchikov K.,
Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Applied Physics Letters, издательство AIP Publishing (United States), том 102, № 11, с. 111902
DOI
-
-
-
-
2012
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
-
Braginsky O.,
Kovalev A.,
Lopaev D.,
Proshina O.,
Rakhimova T.,
Vasilieva A.,
Voloshin D.,
Zyryanov S.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 45, № 1, с. 015201-015201
DOI
-
-
2012
Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Koshelev K.N.,
Krivtsun V.M.,
van Kaampen Maarten,
Glushkov D.
-
в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 111, № 9, с. 093304-093304
DOI
-
-
2012
Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
-
Sergey Zyryanov,
Oleg Braginsky,
Alexander Kovalev,
Dmitry Lopaev,
Yury Mankelevich,
Tatyana Rakhimova,
Alexander Rakhimov,
Anna Vasilieva,
Mikhail Baklanov
-
в журнале Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference, том 57, № 8
-
-
2011
Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithography
-
Zyryanov S.M.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Koshelev K.N.,
Krivtsun V.M.
-
в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 37, № 10, с. 881-889
DOI
-
-
2011
Plasma Cleaning of Multilayer Mirrors in EUV Lithography from Amorphous Carbon Contaminations
-
Malykhin E.M.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Braginskii O.V.,
Kovalev A.S.,
Vasil’eva A.N.,
Zyryanov S.M.
-
в журнале Moscow University Physics Bulletin, издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States), том 66, № 2, с. 184-189
DOI
-
-
-
-
2011
The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Mankelevich Yu A.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Voloshin D.G.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Smirnov E.A.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 109, № 4, с. 043303
DOI
-
-
2011
The structure of thin carbon films deposited at 13.5 nm EUV irradiation
-
Malykhin E.M.,
Krivchenko V.A.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Zyryanov S.M.
-
в журнале Moscow University Physics Bulletin, издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States), том 66, № 1, с. 54-58
DOI
-
-
-
2010
The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 108, № 7, с. 073303
DOI
-
-
2009
Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
-
Rakhimova Tatyana V.,
Braginsky Oleg V.,
Kovalev Alexander S.,
Lopaev Dmitry V.,
Mankelevich Yuri A.,
Malykhin Evdokim M.,
Rakhimov Alexander T.,
Vasilieva Anna N.,
Zyryanov Sergey M.,
Baklanov Mikhail R.
-
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 37, № 9, с. 1697-1704
DOI
-
-
2009
The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference, том 54, № 12
-
-
Статьи в сборниках
-
-
-
2013
Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
-
Oleg Braginsky,
Alexander Kovalev,
Dmitry Lopaev,
Yury Mankelevich,
Olga Proshina,
Tatyana Rakhimova,
Alexander Rakhimov,
Anna Vasilieva,
Sergey Zyryanov,
Mikhail Baklanov
-
в сборнике MRS Online Proceedings Library, издательство Cambridge University Press (United Kingdom), том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11
DOI
-
-
2010
In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
-
Malykhin E.M.,
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Koshelev K.N.,
Krivtsun V.M.,
Yakushev O.F.
-
в сборнике Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France, серия 7, место издания Paris, France, том 55
-
-
2009
Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Y.A.,
Malykhin E.M.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Voloshin D.G.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в сборнике Materials Research Society Symposium Proceedings, место издания Materials Research Society, том 1156
DOI
-
-
2009
Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
-
Malykhin E.M.,
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.
-
в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany, место издания Bochum, Germany, с. 362
-
-
2008
Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в сборнике Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan, место издания San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
-
Книги
- 2014
Атомная физика. Сборник задач
-
Бакурский С.В.,
Зырянов С.М.,
Кленов Н.В.,
Красильников С.С.,
Крылова Е.А.,
Олеванов М.А.,
Попов А.М.,
Тихонова О.В.,
Шарапова П.Р.,
Шорохов В.В.
-
место издания Из-во научной литературы "Нобель Пресс" Москва, ISBN 978-5-519-02653-6, 226 с.
-
Доклады на конференциях
-
-
-
-
2021
Filling the Gaps in Our Understanding of Plasmas in Simple Diatomic Gases-Combining a DC Plasma in Pure O2 with Multiple Advanced Diagnostics for Experimental Validation of Simulations
(Устный)
-
Авторы:
Booth J.P.,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Rakhimova T.,
Voloshin D.,
Oliveira N.,
Nahon L.
-
IS Plasma 2021, Nagoya, Япония, 7-11 марта 2021
-
-
-
2020
A NEW LOOK AT OXYGEN PLASMAS-QUANTITATIVE SPECTROSCOPY FOR RIGOROUS TESTING OF MODELS
(Устный)
-
Авторы:
Booth J-P,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Lopaev DV,
Zyryanov SM,
Rakhimova TV,
Voloshin DG,
de Oliveira N.,
Nahon L.
-
International Symposium on the Physics of Ionized Gases, Белград, Сербия, 24-27 августа 2020
-
-
-
-
2019
Oxygen atom and negative ion densities and kinetics by cavity ringdown spectroscopy
(Устный)
-
Авторы:
Booth J.P.,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Zyryanov S.,
Lopaev D.,
Rakhimova T.,
Ritchie G.
-
The 72nd Annual Gaseous Electronics conference, College Station, Texas, США, 28 октября - 1 ноября 2019
-
-
-
2019
A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
(Устный)
-
Авторы:
J-P Booth,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Drag C.,
de Oliveira N.,
Nahon L.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Voloshin D.,
Rakhimova T.
-
13-th Frontiers in low Temperature plasma diagnostics & 1-th Frontiers in low Temperature plasma simulation, Bad Honnef, Германия, 13-16 мая 2019
-
-
-
2019
Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas
(Устный)
-
Авторы:
J-P Booth,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Drag C.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Rakhimova T.,
de Oliveira N.,
Nahon L.,
Western C.
-
7th International Conference on Advanced Plasma Technologies (ICAPT-7), Hue, Вьетнам, 24 февраля - 1 марта 2019
-
-
-
-
2018
Density of metastable O2 (b1Σ +) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy
(Стендовый)
-
Авторы:
JEAN-PAUL BOOTH,
ABHYUDAY CHATTERJEE,
OLIVIER GUAITELLA,
DMITRY LOPAEV,
SERGEY ZYRYANOV,
TATYANA RAKHIMOVA,
DMITRY VOLOSHIN,
YURI MANKELEVICH,
OLIVEIRA NELSON DE,
LAURENT NAHON
-
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA), Portland, США, 5-9 ноября 2018
-
-
2018
O2 X, a and b densities and kinetics in pure O2 DC discharges: VUV absorption, IR emission and Cavity Ring Down Spectroscopy measurements
(Стендовый)
-
Авторы:
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Press S.,
Gianella M.,
Western C.M.,
Nahon L.,
De Oliviera N.,
Guaitella O.,
Chatterjee A.,
Booth J.P.
-
ESCAMPIG XXIV, Glasgow, Scotland, July 17-21, 2018, Глазго, Великобритания, 17-21 июля 2018
-
-
2017
Kinetics of atoms and metastable molecules in oxygen plasmas revisited: an experimental study
(Устный)
-
Авторы:
Booth J.P.,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Morillo-Candas A.S.,
Nahon L.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
d’Oliveira N.,
Drag C.
-
The 10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2017), Наго, Япония, 4-7 декабря 2017
-
-
-
2017
Kinetics of metastable states and atoms in DC discharges in pure O2: An experimental study
(Устный)
-
Авторы:
Guaitella O.,
de Oliveira N.,
Nahon L.,
Western C.,
Booth J.P.,
Chatterjee A.,
Zyryanov S.,
Lopaev D.
-
23rd International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-2017), Монреаль, Канада, 30 июля - 4 августа 2017
-
-
-
-
-
-
2017
Pore Surface Grafting of Porous Low-K Dielectrics by Selective Polymers
(Устный)
-
Авторы:
Askar Rezvanov,
Liping Zhang,
Mitsuhiro Watanabe,
Mikhail Krishtab,
Lin Zhang,
Alexey Zotovich,
Sergey Zyryanov,
Dmitriy Lopaev,
Nigel Hacker,
Patrick Verdonck,
Silvia Armini,
Evgeny Gornev,
de Marneffe Jean-Francois
-
2017 MRS Spring Meeting, Phoenix, Arizona, США, 17-21 апреля 2017
-
-
-
-
-
2016
Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films
(Стендовый)
-
Авторы:
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Baklanov M.R.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Palov A.P.
-
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
-
-
2016
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: Experiment and ab initio simulation
(Устный)
-
Авторы:
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Palov A.P.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
-
-
-
2015
Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling
(Стендовый)
-
Авторы:
Palov A.,
Voronina E.,
Lopaev D.,
Mankelevich Yu,
Rakhimova T.,
Zyryanov S.,
Proshina O.,
Baklanov M.
-
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
-
-
2015
Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures
(Стендовый)
-
Авторы:
Zyryanov S.,
Kurchikov K.,
Lopaev D.,
Mankelevich Yu,
Baklanov M.,
Rakhimova T.,
Voronina E.,
Novikova N.,
Palov A.
-
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
-
-
-
-
2013
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission
(Устный)
-
Авторы:
Rakhimov A.T.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Kovalev A.S.,
Vasil'eva A.N.,
Proshina O.V.,
Braginsky O.V.,
Kurchikov K.,
Baklanov M.R.
-
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium), Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
-
НИРы
-
-
-
-
-
-
-
-
-
8 ноября 2016 - 31 декабря 2018
Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Ковалев А.С.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Прошина О.В.
-
-
16 мая 2016 - 31 декабря 2018
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М.,
Лопаев Д.В.,
Прошина О.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.,
Волошин Д.Г.,
Воронина Е.Н.,
Зотович А.И.,
Иванов А.С.,
Кропоткин А.Н.,
Курчиков К.А.,
Палов А.П.,
Сычева А.А.
-
-
-
1 января 2015 - 31 декабря 2025
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В.,
Богацкая А.В.,
Богданова М.А.,
Васильева А.Н.,
Волкова Е.А.,
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Воронина Е.Н.,
Гаврилов А.В.,
Дворкин В.В.,
Евлашин С.А.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Киреева Е.Д.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кост Т.Н.,
Кривченко В.А.,
Кропоткин А.Н.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Миронович К.В.,
Намиот В.А.,
Олеванов М.А.,
Палов А.П.,
Паль А.Ф.,
Персианцева Н.М.,
Попов А.М.,
Попов Н.А.,
Поповичева О.Б.,
Поройков А.Ю.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Рябинкин А.Н.,
Самородов В.А.,
Сень В.В.,
Серов А.О.,
Скурихин А.В.,
Степанов А.С.,
Суетин Н.В.,
Сычева А.А.,
Тимофеев М.А.,
Тихонова О.В.,
Унтила Г.Г.,
Чеботарева А.Б.,
Чукаловский А.А.,
Шевнин П.Л.,
Шкуренков И.А.
-
-
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Палов А.П.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Сычева А.А.,
Чукаловский А.А.
-
-
-
-
29 ноября 2012 - 29 ноября 2013
Новый анодный материал для тонкопленочных литий-ионных батарей на основе наноструктурного углерода и кремния: от концепции до технологии
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Кривченко В.А.
Участники НИР:
Воронин П.В.,
Дворкин В.В.,
Евлашин С.А.,
Зырянов С.М.,
Иткис Д.М.,
Миронович К.В.,
Поройков А.Ю.,
Семененко Д.А.,
Сень В.В.,
Степанов А.С.,
Ястребов А.А.
-
-
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Ковалев А.С.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Палов А.П.,
Поройков А.Ю.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Чукаловский А.А.
-
-
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Воронин П.В.,
Дворкин В.В.,
Евлашин С.А.,
Зырянов С.М.,
Киреева Е.Д.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кривченко В.А.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Миронович К.В.,
Палов А.П.,
Пащенко П.В.,
Пилевский А.А.,
Попов Н.А.,
Поройков А.Ю.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Самородов В.А.,
Селезнев Б.В.,
Сень В.В.,
Степанов А.С.,
Чукаловский А.А.,
Шевнин П.Л.,
Ястребов А.А.
-
-
-
1 января 2012 - 31 декабря 2025
Развитие новых образовательных технологий и их внедрение в практикумы НИИЯФ
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководители:
Радченко В.В.,
Тетерева Т.В.
Участники НИР:
Авдеев М.В.,
Аксенов В.Л.,
Амелюшкин А.М.,
Андреев Е.А.,
Анохина А.М.,
Балакшин Ю.В.,
Белышев С.С.,
Брусницын А.А.,
Вдовина И.Ф.,
Веденькин Н.Н.,
Волков С.А.,
Вохник О.М.,
Галкин В.И.,
Голубенко А.А.,
Горнушкина Н.А.,
Горшенин В.П.,
Горячев Б.И.,
Гуральская И.М.,
Дороженко Т.С.,
Еременко Д.О.,
Жук В.Л.,
Зверева И.М.,
Злоказов В.Б.,
Зубрило А.А.,
Зырянов С.М.,
Иванова Л.Е.,
Иванова Л.И.,
Игнатович В.К.,
Ильина Н.П.,
Ищенко С.В.,
Казарина Н.Ю.,
Киселев М.А.,
Кичанов С.Е.,
Коропченко Н.В.,
Красильников С.С.,
Красильникова Н.А.,
Красоткин С.А.,
Кузаков К.А.,
Кузнецов А.А.,
Куров Е.А.,
Кэбин Э.И.,
Леонтьев В.В.,
Леонтьева А.Н.,
Лычагин Е.В.,
Максудов С.М.,
Малышев К.Ю.,
Матвеев М.Ю.,
Мицина И.М.,
Морозов С.Б.,
Объедова Л.К.,
Перепелов А.В.,
Петров В.Л.,
Платонов С.Ю.,
Подварков Г.Г.,
Польшикова Е.С.,
Прохоров А.В.,
Ремизов П.Д.,
Рогачев А.В.,
Рубинштейн И.А.,
Савенко Б.Н.,
Савина Т.Н.,
Самойлова Н.Ю.,
Свертилов С.И.,
Силаев А.А.,
Скачкова Л.В.,
Ской В.Р.,
Скурихин А.В.,
Сомиков А.В.,
Спасский А.В.,
Степанов М.Е.,
Сумников С.В.,
Тропин Т.В.,
Трусов С.В.,
Тютюнников С.И.,
Фроликов С.Ю.,
Фроликов С.Ю.,
Цирулев М.И.,
Цыганкова О.В.,
Чопорняк Д.Б.,
Швецов В.Н.,
Шевелева Е.В.,
Шефель Г.М.,
Широков Е.В.,
Яковлева Г.Н.,
Янин Л.А.
-
-
-
12 октября 2011 - 5 сентября 2012
Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Воронин П.В.,
Дворкин В.В.,
Дзбановский Н.Н.,
Евлашин С.А.,
Зырянов С.М.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кривченко В.А.,
Курчиков К.А.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Миронович К.В.,
Пилевский А.А.,
Попов А.М.,
Поройков А.Ю.,
Рахимова Т.В.,
Рябинкин А.Н.,
Самородов В.А.,
Сень В.В.,
Скурихин А.В.,
Степанов А.С.,
Суетин Н.В.,
Тимофеев М.А.,
Чукаловский А.А.,
Шевнин П.Л.
-
-
10 сентября 2010 - 31 декабря 2012
Исследование нелинейно-оптических процессов в высокоинтенсивных лазерных импульсах ультракороткой длительности для разработки методов диагностики и управления процессами со сверхвысоким временным и пространственным разрешением
-
МГУ им. М.В.Ломоносова
-
Руководитель:
Попов А.М.
Участники НИР:
Богацкая А.В.,
Буренков И.А.,
Волкова Е.А.,
Гуляев А.В.,
Зырянов С.М.,
Кленов Н.В.,
Ковалев А.С.,
Курчиков К.А.,
Манкелевич Ю.А.,
Попов Н.А.,
Рахимова Т.В.,
Соловьев И.И.,
Тихонова О.В.,
Харин В.Ю.,
Чукаловский А.А.,
Шарапова П.Р.
-
-
28 июня 2010 - 15 декабря 2012
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Воронин П.В.,
Дворкин В.В.,
Евлашин С.А.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кривченко В.А.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Миронович К.В.,
Намиот В.А.,
Олеванов М.А.,
Палов А.П.,
Паль А.Ф.,
Попов А.М.,
Попов Н.А.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Сень В.В.,
Чукаловский А.А.,
Шарапова П.Р.,
Шевнин П.Л.
-
-
5 октября 2009 - 15 сентября 2010
Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Либерман М.А.
Участники НИР:
Белоусов М.Э.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Евлашин С.А.,
Зырянов С.М.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кожин В.А.,
Кривченко В.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Намиот В.А.,
Палов А.П.,
Паль А.Ф.,
Попов А.М.,
Попов Н.А.,
Прошина О.В.,
Рахимов А.Т.,
Рахимова Т.В.,
Сень В.В.,
Чукаловский А.А.
-
-
7 июля 2009 - 1 сентября 2011
Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Воронин П.В.,
Дворкин В.В.,
Евлашин С.А.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кривченко В.А.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Миронович К.В.,
Намиот В.А.,
Олеванов М.А.,
Палов А.П.,
Паль А.Ф.,
Попов А.М.,
Попов Н.А.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Сень В.В.,
Степанов А.С.,
Суетин Н.В.,
Харин В.Ю.,
Чукаловский А.А.,
Шарапова П.Р.,
Шевнин П.Л.
-
-
1 июня 2009 - 1 сентября 2011
Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Унтила Г.Г.
Участники НИР:
Буренков И.А.,
Волошин Д.Г.,
Дворкин В.В.,
Дзбановский Н.Н.,
Евлашин С.А.,
Зырянов С.М.,
Ковалев А.С.,
Кост Т.Н.,
Кривченко В.А.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Палов А.П.,
Пащенко П.В.,
Поройков А.Ю.,
Прошина О.В.,
Рахимов А.Т.,
Рахимова Т.В.,
Самородов В.А.,
Селезнев Б.В.,
Сень В.В.,
Степанов А.С.,
Суетин Н.В.,
Тимофеев М.А.,
Чеботарева А.Б.,
Чукаловский А.А.,
Шевнин П.Л.,
Шкуренков И.А.
-
-
-
Патенты
-
Диссертация
-
Руководство дипломными работами
-
Авторство учебных курсов
-
Преподавание учебных курсов