Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
В связи с техническими работами в центре обработки данных, часть прикреплённых файлов в настоящее время недоступна.
скрыть
отправить сообщение
открыть новую версию профиля
Зырянов Сергей Михайлович
пользователь
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
,
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
, старший научный сотрудник, с 1 января 2010, по совместительству
кандидат физико-математических наук с 2010 года
Прежние места работы
(Нажмите для отображения)
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение ядерной физики
,
Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
, доцент, 1 марта 2010 - 1 марта 2010
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение ядерной физики
,
Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
, доцент, 1 марта 2010 - 10 октября 2022
Соавторы:
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Зотович А.И.
,
Baklanov M.R.
,
Ковалев А.С.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Богданова М.А.
,
Брагинский О.В.
,
Прошина О.В.
,
Malykhin E.M.
показать полностью...
,
Волынец А.В.
,
Воронина Е.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Палов А.П.
,
Krivtsun V.M.
,
Braginsky O.V.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Koshelev K.N.
,
Маслаков К.И.
,
Astakhov D.I.
,
Booth J.
,
Guerra V.
,
J-P B.
,
Krishtab M.B.
,
Malykhin E.M.
,
Амиров И.И.
,
Кропоткин А.Н.
,
Резванов А.А.
,
Чукаловский А.А.
,
Шибанов Д.Р.
,
Attallah A.G.
,
Bijkerk F.
,
Butterling M.
,
Chanson R.
,
Clemente I.
,
Drag C.
,
Glushkov D.
,
Goedheer W.J.
,
Guaitella O.
,
Gubarev V.
,
Hirschmann E.
,
IVANOV V.V.
,
Izyumov M.
,
Koshelev K.
,
Krainov P.V.
,
Lee C.J.
,
Liedke M.O.
,
Lin Z.
,
Malykhin E.M.
,
Nahon L.
,
Naumov S.
,
Nigel H.
,
Novikova N.N.
,
Rakhlinsky V.V.
,
Santos S.J.
,
Seregin D.S.
,
Shi X.
,
Vishnevskiy A.
,
Vishnevskiy A.S.
,
Vorotilov K.A.
,
Vorotilov K.
,
Vorotyntsev D.A.
,
Wagner A.
,
Yakushev O.F.
,
Zhang S.
,
de Oliveira N.
,
van Kaampen M.
,
Бакурский С.В.
,
Кленов Н.В.
,
Корнев В.К.
,
Красильников С.С.
,
Кривченко В.А.
,
Крылова Е.А.
,
Медведев В.В.
,
Мяконьких А.В.
,
Олеванов М.А.
,
Попов А.М.
,
Серегин Д.С.
,
Сычева А.А.
,
Тихонова О.В.
,
Шарапова П.Р.
,
Шорохов В.В.
59 статей
,
1 книга
,
39 докладов на конференциях
,
2 тезисов докладов
,
29 НИР
,
1 патент
,
1 диссертация
,
4 дипломные работы
,
4 учебных курса
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 551, Scopus: 604
IstinaResearcherID (IRID): 467877
ResearcherID:
D-8826-2012
Деятельность
Статьи в журналах
2023
Oxygen atom and ozone kinetics in the afterglow of a pulse-modulated DC discharge in pure O2: an experimental and modelling study of surface mechanisms and ozone vibrational kinetics
Booth J-P
,
Guaitella O.
,
Zhang S.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Chukalovsky A.
,
Volynets A.
,
Mankelevich Yu
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32, № 9, с. 095016
DOI
2023
Plasma density determination from ion current to cylindrical Langmuir probe with validation on hairpin probe measurements
Voloshin D.
,
Rakhimova T.V.
,
Kropotkin A.
,
Amirov I.I.
,
Izyumov Mikhail
,
Lopaev Dmitry
,
Zotovich Alexey
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 32, № 4
DOI
2023
Sputtering of amorphous Si by low-energy Ar+, Kr+, and Xe+ ions
Shibanov D.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Maslakov K.I.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 134, № 6, с. 1-15
DOI
2022
Dynamics of H atoms surface recombination in low-temperature plasma
Gubarev V.
,
Lopaev D.
,
Zotovich A.
,
Medvedev V.
,
Krainov P.
,
Astakhov D.
,
Zyryanov S.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 132, № 19, с. 193301
DOI
2022
Effect of H atoms and UV wideband radiation on cured low-k OSG films
Lopaev Dmitry
,
Zotovich Alexey
,
Zyryanov S.M.
,
Bogdanova Maria
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Novikova N.N.
,
Seregin Dmitry S.
,
Vishnevskiy Alexey
,
Vorotilov Konstantin
,
Shi Xiaoping
,
Baklanov Mikhail
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 55, № 25, с. 255206
DOI
2022
Effect of an electron beam on a dual-frequency capacitive rf plasma: experiment and simulation
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zotovich Alexey
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 31, № 9, с. 1-30
DOI
2022
Experimental study of transition from electron beam to rf power controlled plasma in DF CCP in argon with additional ionization by an electron beam
Zotovich Alexey
,
Lopaev Dmitry
,
Bogdanova Maria
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 55, № 31
DOI
2022
Modification of Porous Ultralow-k Film by Vacuum Ultraviolet Emission
Zotovich Alexey I.
,
Zyryanov Sergey M.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Rezvanov Askar A.
,
Attallah Ahmed G.
,
Liedke Maciej O.
,
Butterling Maik
,
Bogdanova Maria A.
,
Vishnevskiy Alexey S.
,
Seregin Dmitry S.
,
Vorotyntsev Dmitry A.
,
Palov Alexander P.
,
Hirschmann Eric
,
Wagner Andreas
,
Naumov Sergej
,
Vorotilov Konstantin A.
,
Rakhimova Tatyana V.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Baklanov Mikhail R.
в журнале
ACS Applied Electronic Materials
, издательство
American Chemical Society
(United States)
, том 4, № 6, с. 2760-2776
DOI
2022
Quenching of O2(b1Σg+) by O(3P) atoms. Effect of gas temperature
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Volynets A.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Chukalovsky A.
,
Mankelevich Yu
,
Guerra V.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 31, № 6, с. 065012
DOI
2021
“Virtual IED sensor” for df rf CCP discharges
Bogdanova M.
,
Lopaev D.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Zotovich A.
,
Zyryanov S.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 30, с. 075020
DOI
2020
Damage of porous SiCOH low-k dielectrics by O, N and F atoms at lowered temperatures
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 53, с. 175203
DOI
2020
Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
Booth J-P
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Santos Sousa J.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Mankelevich Yu
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 29, № 11, с. 115009
DOI
2020
Electron energy probability function in plasma controlled by high-energy run-away electrons
Lopaev D.V.
,
Bogdanova M.A.
,
Volynets A.V.
,
Zotovich A.I.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 29, № 2, с. 025026-1-025026-8
DOI
2020
Experimental and PIC MCC study of electron cooling - re-heating and plasma density decay in low pressure rf ccp argon afterglow
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Kovalev A.S.
,
Anna Vasilieva
,
Alexey Zotovich
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 29, № 1, с. 1-14
DOI
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
Voronina E.N.
,
Sycheva A.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Mankelevich Y.A.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, № 2, с. 1-15
DOI
2019
Ion composition of rf CCP in Ar/H2 mixtures
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zyryanov Sergey
,
Voloshin D.G.
,
Rakhimova Tatyana
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 28, № 9, с. 095017
DOI
2019
Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
Booth J.P.
,
Guaitella O.
,
Chatterjee A.
,
Drag C.
,
Guerra V.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Mankelevich Yu
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 28, с. 055005
DOI
2019
Volume and surface loss of O(3P) atoms in O2 RF discharge in quartz tube at intermediate pressures (10–100 Torr)
Volynets A.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Bogdanova M.A.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 52, № 39, с. 395203
DOI
2018
Low-k protection from F radicals and VUV photons by multilayer pore grafting approach
Zotovich Alexey
,
Rezvanov Askar
,
Chanson Romain
,
Zhang Lin
,
Hacker Nigel
,
Kurchikov Konstantin Alekseevich
, Klimin Sergey,
Zyryanov S.M.
,
Lopaev D.
,
Gornev Evgeny
,
Clemente Iosif
,
Miakonkikh Andrew
,
Maslakov K.I.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, № 32, с. 325202
DOI
2018
Relation between the ion flux and plasma density in an rf CCP discharge
Bogdanova Maria
,
Lopaev Dmitry
,
Zyryanov Sergey
,
Voloshin Dmitry
,
Rakhimova Tatyana
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 27, № 2, с. 025003
DOI
2018
Silicon dioxide and low-k material sputtering in dual frequency inductive discharge by argon ions with energies from 16 to 200 eV
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Zotovich A.I.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 51, № 2
DOI
2018
Synergistic effect of VUV photons and F atoms on damage and etching of porous organosilicate film
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, том 15, № 4, с. 1-9
DOI
2017
Actinometry of O, N and F atoms
Lopaev D.V.
,
Volynets A.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 50, № 7, с. 075202
DOI
2017
Damage and etching of ultra low-k materials in fluorocarbon plasma at lowered temperatures
Lopaev D.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Zotovich Alexey
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov Mikhail R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 50, с. 485202
DOI
2017
Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Baklanov M.R.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 71, с. 111
DOI
2017
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: experiment and DFT simulation
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 71, № 5, с. 126
DOI
2017
Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Zotovich Alexey
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimov A.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 26, с. 075005
DOI
2017
Photoabsorption and damage of OSG low-k films by VUV emission at 140-160 nm
Lopaev D.V.
,
Rakhlinsky V.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Kurchikov K.A.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Plasma Processes and Polymers
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, с. e1700166
DOI
2016
Effect of porosity and pore size on dielectric constant of organosilicate based low-k films: An analytical approach
Palov A.P.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Krishtab M.B.
, Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 34, № 4, с. 041205
DOI
2016
Ion flux and energy virtual sensor for measuring ion flux and energy distribution at a RF biased electrode in ICP reactor (RIE-mode)
Bogdanova M.A.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 768, с. 012016
DOI
2016
Multi-step reactions mechanism for F atoms interactions with organosilicate glass and SiOx films
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 49, № 34, с. 345203
DOI
2016
“Virtual IED sensor” at an rf-biased electrode in low-pressure plasma
Bogdanova M.A.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
в журнале
Physics of Plasmas
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 23, с. 073510
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Kurchikov K.A.
,
Zyryanov S.M.
,
Palov A.P.
,
Proshina O.V.
,
Maslakov K.I.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 48, № 17, с. 175204-(14pp)
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimov A.T.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.A.
, Novikova N.N., Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 48, № 17, с. 175203-(13pp)
DOI
2015
Plasma probe characteristics in low density hydrogen pulsed plasmas
Astakhov D.I.
,
Goedheer W.J.
,
Lee C.J.
,
Ivanov V.V.
,
Krivtsun V.M.
,
Zotovich A.I.
,
Zyryanov S.M.
,
Lopaev D.V.
,
Bijkerk F.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 24, № 5, с. 055018
DOI
2014
Low-k films modification under EUV and VUV radiation
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.
,
Proshina O.V.
,
Voloshin D.G.
, Novikova N.N.,
Krishtab M.B.
, Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 47, № 2, с. 025102
DOI
2013
Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Kurchikov K.
, Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
в журнале
Applied Physics Letters
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 102, № 11, с. 111902
DOI
2013
Nitrogen atoms influence on associative ionization in nitrogen plasma
Volynets A.
,
Zotovich A.
,
Lopaev D.
,
Ziryanov S.
, Popov N.
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference
, том 58, № 8
2013
Space--time evolution of low-pressure H2 plasma induced by runaway photoelectrons produced by KrF laser pulse
Zotovich A.
,
Volynets A.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Koshelev K.
,
Krivtsun V.
, Astakhov D.
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference
, том 58, № 8
2012
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
Braginsky O.
,
Kovalev A.
,
Lopaev D.
,
Proshina O.
,
Rakhimova T.
,
Vasilieva A.
,
Voloshin D.
,
Zyryanov S.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 45, № 1, с. 015201-015201
DOI
2012
Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
,
van Kaampen Maarten
,
Glushkov D.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 111, № 9, с. 093304-093304
DOI
2012
Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
Sergey Zyryanov
,
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Yury Mankelevich
,
Tatyana Rakhimova
,
Alexander Rakhimov
,
Anna Vasilieva
,
Mikhail Baklanov
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference
, том 57, № 8
2011
Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithography
Zyryanov S.M.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 37, № 10, с. 881-889
DOI
2011
Plasma Cleaning of Multilayer Mirrors in EUV Lithography from Amorphous Carbon Contaminations
Malykhin E.M.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Braginskii O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil’eva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 66, № 2, с. 184-189
DOI
2011
Surface recombination of oxygen atoms in O-2 plasma at increased pressure: I. The recombination probability and phenomenological model of surface processes
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 44, № 1, с. 015201
DOI
2011
Surface recombination of oxygen atoms in O-2 plasma at increased pressure: II. Vibrational temperature and surface production of ozone
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 44, № 1, с. 015202
DOI
2011
The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Voloshin D.G.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
, Smirnov E.A.,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 109, № 4, с. 043303
DOI
2011
The structure of thin carbon films deposited at 13.5 nm EUV irradiation
Malykhin E.M.
,
Krivchenko V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 66, № 1, с. 54-58
DOI
2010
Study of spatial distributions of F, H and CF2 radicals in DF CCP discharge in Ar/CF4 and Ar/CHF3 mixtures
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в журнале
THIRD INTERNATIONAL WORKSHOP AND SUMMER SCHOOL ON PLASMA PHYSICS 2008 Book Series: Journal of Physics Conference Series
, том 207, № Article Number: 012014
DOI
2010
The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Applied Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 108, № 7, с. 073303
DOI
2009
Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
Rakhimova Tatyana V.
,
Braginsky Oleg V.
,
Kovalev Alexander S.
,
Lopaev Dmitry V.
,
Mankelevich Yuri A.
,
Malykhin Evdokim M.
,
Rakhimov Alexander T.
,
Vasilieva Anna N.
,
Zyryanov Sergey M.
, Baklanov Mikhail R.
в журнале
IEEE Transactions on Plasma Science
, издательство
Institute of Electrical and Electronics Engineers
(Piscataway, NJ, United States)
, том 37, № 9, с. 1697-1704
DOI
2009
The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference
, том 54, № 12
2007
Measurements of the gas temperature in an oxygen plasma by Spectroscopy of the O-2(b(1)Sigma(+)(g))-> O-2(X-3 Sigma(-)(g)) transition
Zyryanov S.M.
,
Lopaev D.V.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 33, № 6, с. 510-520
DOI
Статьи в сборниках
2014
Виртуальный датчик потока и энрегии ионов на ВЧ электроде в высокочастотной плазме низкого давления
Богданова М.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Зырянов С.М.
в сборнике
Сборник материалов всероссийской конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2014
, серия
ISBN 978-5-7882-1578-5 и ISBN 978-5-7882-1579-2
, место издания
Изд-во: КНИТУ Казань
, том 1, с. 311-314
2013
Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
Oleg Braginsky
,
Alexander Kovalev
,
Dmitry Lopaev
,
Yury Mankelevich
,
Olga Proshina
,
Tatyana Rakhimova
,
Alexander Rakhimov
,
Anna Vasilieva
,
Sergey Zyryanov
,
Mikhail Baklanov
в сборнике
MRS Online Proceedings Library
, издательство
Cambridge University Press
(United Kingdom)
, том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11
DOI
2010
In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
Malykhin E.M.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
,
Yakushev O.F.
в сборнике
Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France
, серия
7
, место издания
Paris, France
, том 55
2009
Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Malykhin E.M.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Voloshin D.G.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в сборнике
Materials Research Society Symposium Proceedings
, место издания
Materials Research Society
, том 1156
DOI
2009
Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
Malykhin E.M.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
в сборнике
Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany
, место издания
Bochum, Germany
, с. 362
2008
Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Malykhin E.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в сборнике
Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan
, место издания
San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
Книги
2014
Атомная физика. Сборник задач
Бакурский С.В.
,
Зырянов С.М.
,
Кленов Н.В.
,
Красильников С.С.
,
Крылова Е.А.
,
Олеванов М.А.
,
Попов А.М.
,
Тихонова О.В.
,
Шарапова П.Р.
,
Шорохов В.В.
место издания
Из-во научной литературы "Нобель Пресс" Москва
, ISBN 978-5-519-02653-6, 226 с.
Доклады на конференциях
2023
Probing surface reactivity in plasmas - is it valid to use a constant reaction probability model
(Устный)
Авторы:
Booth J.P.
,
Guaitella O.
,
Zhang S.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Volynets A.
76th Annual Gaseous Electronics Conference
, Michigan League, Ann Arbor, Michigan, США, 9-13 октября 2023
2023
Sputtering of amorphous Si and SiO2 by low-energy Ar+, Kr+ and Xe+ ions
(Устный)
Авторы:
Shibanov D.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Rakhimov A.T.
GDPA 2023
, Республика Башкорторстан, г. Уфа, ул. Карла Маркса, д. 12, Россия, 18-22 сентября 2023
2023
Ozone kinetics in the afterglow of a pulse-modulated DC discharge in O2: an experimental and modelling study of surface mechanisms and ozone vibrational kinetics
(Приглашенный)
Авторы:
Booth J-P
,
Guaitella O.
,
Baratte E.
,
Zhang Shu
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Chukalovsky A.
,
Volynets A.
,
Mankelevich Yu
The plasma road to sustainable chemical conversion
, Фуншал, Мадейра, Португалия, 3-5 сентября 2023
2021
SiO2 sputtering by low energy ions
(Стендовый)
Авторы:
Shibanov D.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Zotovich A.
,
Bogdanova M.
,
Rakhimov A.
Micro- and nano engineering (MNE - 2021)
, Турин, Италия, 20-24 сентября 2021
2021
Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2
(Устный)
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Кропоткин А.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Амиров И.И.
IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии
, Иваново, Россия, 13-17 сентября 2021
2021
Filling the Gaps in Our Understanding of Plasmas in Simple Diatomic Gases-Combining a DC Plasma in Pure O2 with Multiple Advanced Diagnostics for Experimental Validation of Simulations
(Устный)
Авторы:
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
,
Oliveira N.
,
Nahon L.
IS Plasma 2021
, Nagoya, Япония, 7-11 марта 2021
2020
КОМПЛЕКСНАЯ ДИАГНОСТИКА ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ АРГОНА ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В РЕАКТОРЕ С УДАЛЕННЫМ ИСТОЧНИКОМ ПЛАЗМЫ
(Устный)
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Изюмов М.О.
,
Амиров И.И.
,
Рахимова Т.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" (ФНТП – 2020)
, Казань, Россия, 9-13 ноября 2020
2020
A NEW LOOK AT OXYGEN PLASMAS-QUANTITATIVE SPECTROSCOPY FOR RIGOROUS TESTING OF MODELS
(Устный)
Авторы:
Booth J-P
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Lopaev DV
,
Zyryanov SM
,
Rakhimova TV
,
Voloshin DG
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
International Symposium on the Physics of Ionized Gases
, Белград, Сербия, 24-27 августа 2020
2020
БЫСТРОЕ ТУШЕНИЕ СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА АТОМАМИ O ОСНОВНОГО СОСТОЯНИЯ ПРИ ВЫСОКОМ РАЗОГРЕВЕ
(Стендовый)
Авторы:
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Богданова М.А.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимов А.Т.
XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
2020
ОПРЕДЕЛЕНИЕ МОЛЬНОЙ ДОЛИ МЕТАСТАБИЛЬНЫХ МОЛЕКУЛ КИСЛОРОДА В РАЗРЯДЕ O2 С ПОМОЩЬЮ ОПТИЧЕСКОЙ Э МИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ
(Стендовый)
Авторы:
Богданова М.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Волынец А.В.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимов А.Т.
XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
2019
Oxygen atom and negative ion densities and kinetics by cavity ringdown spectroscopy
(Устный)
Авторы:
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Zyryanov S.
,
Lopaev D.
,
Rakhimova T.
,
Ritchie G.
The 72nd Annual Gaseous Electronics conference
, College Station, Texas, США, 28 октября - 1 ноября 2019
2019
Ion composition and energy spectra in Ar/H2 CCP discharges
(Устный)
Авторы:
Bogdanova M.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
Voloshin D.
9th Radio-Frequency Discharge Workshop
, Дублин, Ирландия, 24-25 июня 2019
2019
Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges
(Устный)
Авторы:
Jean-Paul Booth
,
Chatterjee Abhyuday
,
Guaitella Olivier
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Lopaev Dmitry
,
Zyruyanov S.
,
Rakhimova Tatyana
Journées de la Spectroscopie Moléculaire
, Кретей, Франция, 21-23 мая 2019
2019
A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
(Устный)
Авторы:
J-P Booth
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Drag C.
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Voloshin D.
,
Rakhimova T.
13-th Frontiers in low Temperature plasma diagnostics & 1-th Frontiers in low Temperature plasma simulation
, Bad Honnef, Германия, 13-16 мая 2019
2019
Процессы взаимодействия плазмы с нанопористыми пленками с низкой диэлектрической проницаемостью
(Устный)
Авторы:
Зырянов С.М.
,
Рахимов А.Т.
,
Бакланов М.Р.
Научный семинар "Системы металлизации" Научно-исследовательского института молекулярной электроники (АО "НИИМЭ")
, Москва, Россия, 27 марта 2019
2019
Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas
(Устный)
Авторы:
J-P Booth
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Drag C.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
Rakhimova T.
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Western C.
7th International Conference on Advanced Plasma Technologies (ICAPT-7)
, Hue, Вьетнам, 24 февраля - 1 марта 2019
2018
ИССЛЕДОВАНИЕ РОЛИ ОЗОНА В ГИБЕЛИ АТОМОВ КИСЛОРОДА В О2 ПЛАЗМЕ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ.
(Стендовый)
Авторы:
Богданова М.А.
,
Зырянов С.М.
,
Волынец А.В.
,
Рахимов А.Т.
Современные методы диагностики плазмы и их применение
, Институт Лазерных и плазменных технологий НИЯУ МИФИ, Москва, Россия, 13-15 ноября 2018
2018
ОПРЕДЕЛЕНИЕ ГАЗОВОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ КИСЛОРОДНОЙ ПЛАЗМЫ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ МЕТОДОМ ОПТИЧЕСКОЙ ЭМИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ.
(Стендовый)
Авторы:
Зырянов С.М.
,
Богданова М.А.
,
Волынец А.В.
,
Рахимов А.Т.
Современные методы диагностики плазмы и их применение
, Институт Лазерных и плазменных технологий НИЯУ МИФИ, Москва, Россия, 13-15 ноября 2018
2018
Density of metastable O2 (b1Σ +) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy
(Стендовый)
Авторы:
JEAN-PAUL BOOTH
,
ABHYUDAY CHATTERJEE
,
OLIVIER GUAITELLA
,
DMITRY LOPAEV
,
SERGEY ZYRYANOV
,
TATYANA RAKHIMOVA
,
DMITRY VOLOSHIN
,
YURI MANKELEVICH
,
OLIVEIRA NELSON DE
,
LAURENT NAHON
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA)
, Portland, США, 5-9 ноября 2018
2018
O2 X, a and b densities and kinetics in pure O2 DC discharges: VUV absorption, IR emission and Cavity Ring Down Spectroscopy measurements
(Стендовый)
Авторы:
Chatterjee A.
,
Booth J.P.
,
Guaitella O.
,
De Oliviera N.
,
Nahon L.
,
Western C.M.
,
Gianella M.
,
Press S.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
ESCAMPIG XXIV, Glasgow, Scotland, July 17-21, 2018
, Глазго, Великобритания, 17-21 июля 2018
2017
Kinetics of atoms and metastable molecules in oxygen plasmas revisited: an experimental study
(Устный)
Авторы:
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Guaitella O.
,
Morillo-Candas A.S.
,
Drag C.
,
Lopaev D.
,
Zyryanov S.
,
d’Oliveira N.
,
Nahon L.
The 10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2017)
, Наго, Япония, 4-7 декабря 2017
2017
Challenges of plasma processing of organisilicate based low-k materials
(Приглашенный)
Автор:
Sergey Zyryanov
The 2nd International Workshop "Materials for Advanced Interconnects and Packaging
, North China University of Technology, Китай, 15-17 октября 2017
2017
Kinetics of metastable states and atoms in DC discharges in pure O2: An experimental study
(Устный)
Авторы:
Guaitella O.
,
de Oliveira N.
,
Nahon L.
,
Western C.
,
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Zyryanov S.
,
Lopaev D.
23rd International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-2017)
, Монреаль, Канада, 30 июля - 4 августа 2017
2017
Актинометрия атомов O, N и F
(Стендовый)
Авторы:
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимов А.Т.
,
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Диссоциация О2 электронным ударом в плазме
(Устный)
Авторы:
Guaitella O.
,
Booth J.P.
,
Chatterjee A.
,
Лопаев Д.В.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Комплексное изучение объемной плазмохимии емкостных ВЧ-разрядов в смесях CF4/Ar и CHF3/Ar
(Устный)
Авторы:
Зотович А.И.
,
Прошина О.В.
,
Лопаев Д.В.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Поток и энергетическое распределение ионов на электроде в двухчастотном ВЧЕ разряде
(Устный)
Авторы:
Зырянов С.М.
,
Богданова М.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Волошин Д.Г.
Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017"
, Казань, Россия, 5-9 июня 2017
2017
Pore Surface Grafting of Porous Low-K Dielectrics by Selective Polymers
(Устный)
Авторы:
Askar Rezvanov
,
Liping Zhang
,
Mitsuhiro Watanabe
,
Mikhail Krishtab
,
Lin Zhang
,
Alexey Zotovich
,
Sergey Zyryanov
,
Dmitriy Lopaev
,
Nigel Hacker
,
Patrick Verdonck
,
Silvia Armini
,
Evgeny Gornev
,
de Marneffe Jean-Francois
2017 MRS Spring Meeting
, Phoenix, Arizona, США, 17-21 апреля 2017
2016
"Virtual IED sensor" at an rf-biased electrode in low-pressure plasma
(Устный)
Авторы:
Bogdanova M.A.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimov A.T.
69th Annual Gaseous Electronics Conference
, Bochum, Германия, 10-14 октября 2016
2016
Actinometry of O, N and F atoms
(Устный)
Авторы:
ANDREY VOLYNETS
,
DMITRY LOPAEV
,
ALEXEY ZOTOVICH
,
SERGEY ZYRYANOV
,
ALEXANDER RAKHIMOV
69th Annual Gaseous Electronics Conference
, Bochum, Германия, 10-14 октября 2016
2016
Multi-step reactions mechanism of F and N atoms interactions with SiOCH low-k films
(Стендовый)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
XXI European Conference on Dynamics of Molecular Systems (MOLEC 2016)
, Toledo, Испания, 11-16 сентября 2016
2016
Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films
(Стендовый)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Baklanov M.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Palov A.P.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: Experiment and ab initio simulation
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Baklanov M.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Palov A.P.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Comprehensive study of CF4/Ar and CHF3/Ar DF CCP discharges
(Устный)
Авторы:
Lopaev D.V.
,
Zotovich A.
,
Proshina O.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Rakhimova T.V.
ESCAMPIG XXIII
, Словакия, 12-16 июля 2016
2015
Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling
(Стендовый)
Авторы:
Palov A.
,
Voronina E.
,
Lopaev D.
,
Baklanov M.
,
Rakhimova T.
,
Zyryanov S.
,
Proshina O.
,
Mankelevich Yu
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry
, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2015
Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures
(Стендовый)
Авторы:
Zyryanov S.
,
Kurchikov K.
,
Lopaev D.
,
Mankelevich Yu
,
Baklanov M.
,
Rakhimova T.
,
Voronina E.
,
Novikova N.
,
Palov A.
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry
, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2015
Effect of VUV photons on low-k OSG damage and etching by F atoms at the lowered temperature
(Устный)
Авторы:
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Lopaev D.V.
,
Baklanov M.R.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Kurchikov K.A.
PESM 2015
, Leuven, Бельгия, 27-28 апреля 2015
2014
Ion flux and energy virtual sensor for measuring ion flux and energy distribution at a RF-biased electrode in ICP reactor (RIE-mode)
(Устный)
Авторы:
Bogdanova M.A.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
6-th International Workshop and Summer School on Plasma Physics
, Kiten Bulgaria, Болгария, 2014
2013
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission
(Устный)
Авторы:
Rakhimov A.T.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Kovalev A.S.
,
Vasil'eva A.N.
,
Proshina O.V.
,
Braginsky O.V.
,
Kurchikov K.
,
Baklanov M.R.
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium)
, Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
Тезисы докладов
2023
SPUTTERING OF AMORPHOUS Si AND SiO2 BY LOW-ENERGY Ar+ , Kr+ AND Xe+ IONS
SHIBANOV D.R.
,
LOPAEV D.V.
,
ZYRYANOV S.M.
,
ZOTOVICH A.I.
,
RAKHIMOV A.T.
в сборнике
Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDPA-2023): Abstracts of 16th International Conference
, место издания
Aeterna Ufa, Russia
, тезисы, с. G3-O-005903
2021
Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2
Волошин Д.Г.
,
Кропоткин А.Н.
,
Лопаев Д.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Рахимова Т.В.
,
Амиров И.И.
в сборнике
IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии: сборник трудов
, место издания
Иваново Иван. гос. хим.-технол
, тезисы, с. 40
НИРы
22 апреля 2022 - 30 сентября 2023
Математическое моделирование распределения параметров плазмы, оптимизация конструкции и разработка системы оптического контроля плазмы разряда экспериментального и опытного образца реактора для проведения технологических процессов плазмохимического травления (ПХТ) высокоаспектных диэлектрических структур на пластинах диаметром до 300 мм в микроэлектронном производстве уровня 65 нм
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Кожин В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Скурихин А.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шибанов Д.Р.
29 июля 2021 - 30 июня 2024
Исследование согласованной кинетики отрицательных ионов, атомов и возбужденных молекул в импульсной кислородной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Волошин Д.Г.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М.
,
Кропоткин А.Н.
,
Чукаловский А.А.
Участники НИР:
Зиганшин И.И.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Мележенко Д.Е.
,
Рахимова Т.В.
20 мая 2019 - 31 декабря 2020
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Воронина Е.Н.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Кропоткин А.Н.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Шибанов Д.Р.
3 декабря 2018 - 3 декабря 2021
Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Минаков П.В.
,
Прошина О.В.
,
Сычева А.А.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Рябинкин А.Н.
,
Серов А.О.
,
Чукаловский А.А.
3 декабря 2018 - 3 января 2021
Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Лопаев Д.В.
Ответственные исполнители:
Волынец А.В.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Манкелевич Ю.А.
10 октября 2018 - 1 октября 2020
Исследование высокочастотной плазмы, контролируемой электронным пучком, для новейших реакторов современной микротехнологии
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Зырянов С.М.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А.
,
Зотович А.И.
,
Чукаловский А.А.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Лопаев Д.В.
1 января 2018 - 9 апреля 2020
Экспериментальное исследование гибели атомов О в плазме чистого кислорода при средних давлениях
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Волынец А.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Зырянов С.М.
1 января 2017 - 31 декабря 2019
Влияния модификации поверхности углеродных материалов на их электрохимические характеристики
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Суетин Н.В.
Ответственные исполнители:
Евлашин С.А.
,
Степанов А.С.
Участники НИР:
Дагесян С.А.
,
Дьяконов П.В.
,
Зырянов С.М.
,
Кондратенко М.С.
,
Максимов Ю.М.
,
Миронович К.В.
,
Хмельницкий Р.А.
8 ноября 2016 - 31 декабря 2018
Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
16 мая 2016 - 31 декабря 2018
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронина Е.Н.
,
Зотович А.И.
,
Иванов А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Палов А.П.
,
Сычева А.А.
1 января 2016 - 31 декабря 2018
Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники.
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Ковалев А.С.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Чукаловский А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2025
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В.
,
Богацкая А.В.
,
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронина Е.Н.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зиганшин И.И.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Сычева А.А.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шибанов Д.Р.
,
Шкуренков И.А.
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
10 февраля 2014 - 31 декабря 2015
Энергетический спектр ионов на поверхности электрода в многочастотной вч плазме
Физический факультет
Руководитель:
Зырянов С.М.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
14 октября 2013 - 7 декабря 2013
Разработка и исследование наноструктурированных материалов с трехмерной архитектурой поверхности для тонкопленочных литий-ионных батарей нового поколения
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Кривченко В.А.
Участники НИР:
Воронин П.В.
,
Зырянов С.М.
,
Иткис Д.М.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Пилевский А.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Семененко Д.А.
29 ноября 2012 - 29 ноября 2013
Новый анодный материал для тонкопленочных литий-ионных батарей на основе наноструктурного углерода и кремния: от концепции до технологии
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Кривченко В.А.
Участники НИР:
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Иткис Д.М.
,
Миронович К.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Семененко Д.А.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Ястребов А.А.
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Чукаловский А.А.
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов Н.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Ястребов А.А.
1 февраля 2012 - 30 ноября 2013
Механизм модификации нанопористых диэлектрических материалов при травлении во фторуглеродной плазме
Физический факультет
Руководитель:
Зырянов С.М.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Курчиков К.А.
,
Шкуренков И.А.
1 января 2012 - 31 декабря 2025
Развитие новых образовательных технологий и их внедрение в практикумы НИИЯФ
Лаборатория общего и специального практикума
Руководители:
Радченко В.В.
,
Тетерева Т.В.
Участники НИР:
Авдеев М.В.
,
Аксенов В.Л.
,
Амелюшкин А.М.
,
Андреев Е.А.
,
Анохина А.М.
,
Балакшин Ю.В.
,
Белышев С.С.
,
Брусницын А.А.
,
Вдовина И.Ф.
,
Веденькин Н.Н.
,
Волков С.А.
,
Вохник О.М.
,
Галкин В.И.
,
Голубенко А.А.
,
Горнушкина Н.А.
,
Горшенин В.П.
,
Горячев Б.И.
,
Гуральская И.М.
,
Дороженко Т.С.
,
Еременко Д.О.
,
Жук В.Л.
,
Зверева И.М.
,
Злоказов В.Б.
,
Зубрило А.А.
,
Зырянов С.М.
,
Иванова Л.Е.
,
Иванова Л.И.
,
Игнатович В.К.
,
Ильина Н.П.
,
Ищенко С.В.
,
Казарина Н.Ю.
,
Киселев М.А.
,
Кичанов С.Е.
,
Коропченко Н.В.
,
Красильников С.С.
,
Красильникова Н.А.
,
Красоткин С.А.
,
Кузаков К.А.
,
Кузнецов А.А.
,
Куров Е.А.
,
Кэбин Э.И.
,
Леонтьев В.В.
,
Леонтьева А.Н.
,
Лычагин Е.В.
,
Максудов С.М.
,
Малышев К.Ю.
,
Матвеев М.Ю.
,
Мицина И.М.
,
Морозов С.Б.
,
Объедова Л.К.
,
Перепелов А.В.
,
Петров В.Л.
,
Платонов С.Ю.
,
Подварков Г.Г.
,
Польшикова Е.С.
,
Прохоров А.В.
,
Ремизов П.Д.
,
Рогачев А.В.
,
Рубинштейн И.А.
,
Савенко Б.Н.
,
Савина Т.Н.
,
Самойлова Н.Ю.
,
Свертилов С.И.
,
Силаев А.А.
,
Скачкова Л.В.
,
Ской В.Р.
,
Скурихин А.В.
,
Сомиков А.В.
,
Спасский А.В.
,
Степанов М.Е.
,
Сумников С.В.
,
Тропин Т.В.
,
Трусов С.В.
,
Тютюнников С.И.
,
Фроликов С.Ю.
,
Фроликов С.Ю.
,
Цирулев М.И.
,
Цыганкова О.В.
,
Чопорняк Д.Б.
,
Швецов В.Н.
,
Шевелева Е.В.
,
Шефель Г.М.
,
Широков Е.В.
,
Яковлева Г.Н.
,
Янин Л.А.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование фундаментальных механизмов возникновения дефектов в процессе травления материалов с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости (ultra low-k, ULK) в двухчастотной ВЧ плазме фторуглеводородов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
12 октября 2011 - 5 сентября 2012
Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов А.М.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
10 сентября 2010 - 31 декабря 2012
Исследование нелинейно-оптических процессов в высокоинтенсивных лазерных импульсах ультракороткой длительности для разработки методов диагностики и управления процессами со сверхвысоким временным и пространственным разрешением
МГУ им. М.В.Ломоносова
Руководитель:
Попов А.М.
Участники НИР:
Богацкая А.В.
,
Буренков И.А.
,
Волкова Е.А.
,
Гуляев А.В.
,
Зырянов С.М.
,
Кленов Н.В.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Попов Н.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Соловьев И.И.
,
Тихонова О.В.
,
Харин В.Ю.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
28 июня 2010 - 15 декабря 2012
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
5 октября 2009 - 15 сентября 2010
Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Либерман М.А.
Участники НИР:
Белоусов М.Э.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кожин В.А.
,
Кривченко В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Намиот В.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
7 июля 2009 - 1 сентября 2011
Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Харин В.Ю.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
1 июня 2009 - 1 сентября 2011
Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Унтила Г.Г.
Участники НИР:
Буренков И.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шкуренков И.А.
1 января 2009 - 31 декабря 2011
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов при взаимодействии плазмы с новыми пористыми материалами с низкой диэлектрической константой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Ковалев А.С.
Участники НИР:
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
1 января 2008 - 31 декабря 2010
Исследование процессов в плазме многочастотных емкостных разрядов при масштабировании по мощности и размерам плазменных реакторов третьего поколения для наноэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Малыхин Е.М.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Прошина О.В.
Патенты
2016
Способ измерения плотности электронов в плазме методом оптической спектроскопии
Авторы:
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Ястребов А.А.
#2587468, 20 июня
Диссертация
2010
Модификация нанопористых диэлектрических материалов в плазме и ее послесвечении
Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
Автор:
Зырянов Сергей Михайлович
, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
Научный руководитель:
Рахимов А.Т.
, д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
Защищена в совете
Д 501.001.45
при МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководство дипломными работами
2018
Обработка нанопористых диэлектрических материалов в плазме индукционного разряда
Научный руководитель:
Зырянов Сергей Михайлович
Автор: Шибанов Даниил Романович (Бакалавр)
2013
Энергетический спектр ионов на поверхности вч электрода в асимметричном вч разряде
Научный руководитель:
Зырянов Сергей Михайлович
Автор: Богданова Мария Андреевна (Специалист)
2013
Пространственно-временная эволюция водородной плазмы, индуцированной импульсным ультрафиолетовым лазером
Научный руководитель:
Зырянов Сергей Михайлович
Автор: Зотович Алексей Иванович (Магистр)
2011
Сравнительная диагностика плазмы высокочастотного разряда зондом Ленгмюра и микроволновым зондом
Научный руководитель:
Зырянов Сергей Михайлович
Автор: Малис Вадим Олегович (Бакалавр)
Авторство учебных курсов
2019
Физика наноструктур, атомная и молекулярная физика
Авторы:
Корнев В.К.
,
Зырянов С.М.
2016
Диагностика низкотемпературной плазмы
Автор:
Зырянов Сергей Михайлович
2015
Технология производства микрочипов с наноразмерными элементами
Автор:
Зырянов Сергей Михайлович
Преподавание учебных курсов
с 1 февраля 2016
Диагностика низкотемпературной плазмы
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение ядерной физики
,
Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 32 часов
с 1 февраля 2015
Технология производства микрочипов с наноразмерными элементами
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение ядерной физики
,
Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 36 часов
с 1 сентября 2011
Атомная физика
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, базовой части, семинары, 36 часов
с 1 сентября 2007
Атомная физика
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
обязательная, базовой части, лабораторные занятия, 108 часов