ИСТИНА

Зырянов Сергей Михайлович пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии, старший научный сотрудник, с 1 января 2010, по совместительству

кандидат физико-математических наук с 2010 года

Прежние места работы (Нажмите для отображения)

Соавторы: Лопаев Д.В., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т., Манкелевич Ю.А., Зотович А.И., Baklanov M.R., Ковалев А.С., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Богданова М.А., Брагинский О.В., Прошина О.В., Malykhin E.M. показать полностью..., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Курчиков К.А., Палов А.П., Krivtsun V.M., Braginsky O.V., Chatterjee A., Guaitella O., Koshelev K.N., Маслаков К.И., Astakhov D.I., Booth J., Guerra V., J-P B., Krishtab M.B., Malykhin E.M., Амиров И.И., Кропоткин А.Н., Резванов А.А., Чукаловский А.А., Шибанов Д.Р., Attallah A.G., Bijkerk F., Butterling M., Chanson R., Clemente I., Drag C., Glushkov D., Goedheer W.J., Guaitella O., Gubarev V., Hirschmann E., IVANOV V.V., Izyumov M., Koshelev K., Krainov P.V., Lee C.J., Liedke M.O., Lin Z., Malykhin E.M., Nahon L., Naumov S., Nigel H., Novikova N.N., Rakhlinsky V.V., Santos S.J., Seregin D.S., Shi X., Vishnevskiy A., Vishnevskiy A.S., Vorotilov K.A., Vorotilov K., Vorotyntsev D.A., Wagner A., Yakushev O.F., Zhang S., de Oliveira N., van Kaampen M., Бакурский С.В., Кленов Н.В., Корнев В.К., Красильников С.С., Кривченко В.А., Крылова Е.А., Медведев В.В., Мяконьких А.В., Олеванов М.А., Попов А.М., Серегин Д.С., Сычева А.А., Тихонова О.В., Шарапова П.Р., Шорохов В.В.

59 статей, 1 книга, 39 докладов на конференциях, 2 тезисов докладов, 29 НИР, 1 патент, 1 диссертация, 4 дипломные работы, 4 учебных курса

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 551, Scopus: 604

IstinaResearcherID (IRID): 467877

ResearcherID: D-8826-2012

Деятельность

---

• Статьи в журналах

  • • 2023 Oxygen atom and ozone kinetics in the afterglow of a pulse-modulated DC discharge in pure O2: an experimental and modelling study of surface mechanisms and ozone vibrational kinetics
    • Booth J-P, Guaitella O., Zhang S., Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimova T., Voloshin D., Chukalovsky A., Volynets A., Mankelevich Yu
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 32, № 9, с. 095016 DOI
  • • 2023 Plasma density determination from ion current to cylindrical Langmuir probe with validation on hairpin probe measurements
    • Voloshin D., Rakhimova T.V., Kropotkin A., Amirov I.I., Izyumov Mikhail, Lopaev Dmitry, Zotovich Alexey, Zyryanov S.M.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 32, № 4 DOI
  • 
    • 2023 Sputtering of amorphous Si by low-energy Ar+, Kr+, and Xe+ ions
    • Shibanov D.R., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Maslakov K.I., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 134, № 6, с. 1-15 DOI
  • • 2022 Dynamics of H atoms surface recombination in low-temperature plasma
    • Gubarev V., Lopaev D., Zotovich A., Medvedev V., Krainov P., Astakhov D., Zyryanov S.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 132, № 19, с. 193301 DOI
  • 
    • 2022 Effect of H atoms and UV wideband radiation on cured low-k OSG films
    • Lopaev Dmitry, Zotovich Alexey, Zyryanov S.M., Bogdanova Maria, Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Novikova N.N., Seregin Dmitry S., Vishnevskiy Alexey, Vorotilov Konstantin, Shi Xiaoping, Baklanov Mikhail
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 55, № 25, с. 255206 DOI
  • • 2022 Effect of an electron beam on a dual-frequency capacitive rf plasma: experiment and simulation
    • Bogdanova Maria, Lopaev Dmitry, Zotovich Alexey, Proshina O.V., Rakhimova T.V., Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 31, № 9, с. 1-30 DOI
  • • 2022 Experimental study of transition from electron beam to rf power controlled plasma in DF CCP in argon with additional ionization by an electron beam
    • Zotovich Alexey, Lopaev Dmitry, Bogdanova Maria, Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 55, № 31 DOI
  • 
    • 2022 Modification of Porous Ultralow-k Film by Vacuum Ultraviolet Emission
    • Zotovich Alexey I., Zyryanov Sergey M., Lopaev Dmitry V., Rezvanov Askar A., Attallah Ahmed G., Liedke Maciej O., Butterling Maik, Bogdanova Maria A., Vishnevskiy Alexey S., Seregin Dmitry S., Vorotyntsev Dmitry A., Palov Alexander P., Hirschmann Eric, Wagner Andreas, Naumov Sergej, Vorotilov Konstantin A., Rakhimova Tatyana V., Rakhimov Alexander T., Baklanov Mikhail R.
    • в журнале ACS Applied Electronic Materials, издательство American Chemical Society (United States), том 4, № 6, с. 2760-2776 DOI
  • • 2022 Quenching of O2(b1Σg+) by O(3P) atoms. Effect of gas temperature
    • Booth J.P., Chatterjee A., Guaitella O., Lopaev D., Zyryanov S., Volynets A., Rakhimova T., Voloshin D., Chukalovsky A., Mankelevich Yu, Guerra V.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 31, № 6, с. 065012 DOI
  • 
    • 2021 “Virtual IED sensor” for df rf CCP discharges
    • Bogdanova M., Lopaev D., Rakhimova T., Voloshin D., Zotovich A., Zyryanov S.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 30, с. 075020 DOI
  • 
    • 2020 Damage of porous SiCOH low-k dielectrics by O, N and F atoms at lowered temperatures
    • Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Voronina E.N.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 53, с. 175203 DOI
  • 
    • 2020 Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
    • Booth J-P, Chatterjee A., Guaitella O., Santos Sousa J., Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimova T., Voloshin D., Mankelevich Yu, de Oliveira N., Nahon L.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 11, с. 115009 DOI
  • 
    • 2020 Electron energy probability function in plasma controlled by high-energy run-away electrons
    • Lopaev D.V., Bogdanova M.A., Volynets A.V., Zotovich A.I., Zyryanov S.M.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 2, с. 025026-1-025026-8 DOI
  • 
    • 2020 Experimental and PIC MCC study of electron cooling - re-heating and plasma density decay in low pressure rf ccp argon afterglow
    • Proshina O.V., Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Anna Vasilieva, Alexey Zotovich, Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 1, с. 1-14 DOI
  • 
    • 2020 Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
    • Voronina E.N., Sycheva A.A., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Proshina O.V., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Mankelevich Y.A.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), № 2, с. 1-15 DOI
  • 
    • 2019 Ion composition of rf CCP in Ar/H2 mixtures
    • Bogdanova Maria, Lopaev Dmitry, Zyryanov Sergey, Voloshin D.G., Rakhimova Tatyana
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 28, № 9, с. 095017 DOI
  • 
    • 2019 Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
    • Booth J.P., Guaitella O., Chatterjee A., Drag C., Guerra V., Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimova T., Voloshin D., Mankelevich Yu
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 28, с. 055005 DOI
  • 
    • 2019 Volume and surface loss of O(3P) atoms in O2 RF discharge in quartz tube at intermediate pressures (10–100 Torr)
    • Volynets A.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Bogdanova M.A., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 52, № 39, с. 395203 DOI
  • 
    • 2018 Low-k protection from F radicals and VUV photons by multilayer pore grafting approach
    • Zotovich Alexey, Rezvanov Askar, Chanson Romain, Zhang Lin, Hacker Nigel, Kurchikov Konstantin Alekseevich, Klimin Sergey, Zyryanov S.M., Lopaev D., Gornev Evgeny, Clemente Iosif, Miakonkikh Andrew, Maslakov K.I.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 32, с. 325202 DOI
  • 
    • 2018 Relation between the ion flux and plasma density in an rf CCP discharge
    • Bogdanova Maria, Lopaev Dmitry, Zyryanov Sergey, Voloshin Dmitry, Rakhimova Tatyana
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 27, № 2, с. 025003 DOI
  • 
    • 2018 Silicon dioxide and low-k material sputtering in dual frequency inductive discharge by argon ions with energies from 16 to 200 eV
    • Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Zotovich A.I., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 2 DOI
  • 
    • 2018 Synergistic effect of VUV photons and F atoms on damage and etching of porous organosilicate film
    • Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Rakhimov A.T., Baklanov M.R.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), том 15, № 4, с. 1-9 DOI
  • 
    • 2017 Actinometry of O, N and F atoms
    • Lopaev D.V., Volynets A.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 50, № 7, с. 075202 DOI
  • 
    • 2017 Damage and etching of ultra low-k materials in fluorocarbon plasma at lowered temperatures
    • Lopaev D., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Zotovich Alexey, Zyryanov S.M., Baklanov Mikhail R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 50, с. 485202 DOI
  • 
    • 2017 Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
    • Voronina E.N., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Baklanov M.R.
    • в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 71, с. 111 DOI
  • 
    • 2017 Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: experiment and DFT simulation
    • Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 71, № 5, с. 126 DOI
  • 
    • 2017 Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
    • Proshina O., Rakhimova T., Zotovich Alexey, Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimov A.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 26, с. 075005 DOI
  • 
    • 2017 Photoabsorption and damage of OSG low-k films by VUV emission at 140-160 nm
    • Lopaev D.V., Rakhlinsky V.V., Zyryanov S.M., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Kurchikov K.A., Baklanov M.R.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), с. e1700166 DOI
  • 
    • 2016 Effect of porosity and pore size on dielectric constant of organosilicate based low-k films: An analytical approach
    • Palov A.P., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Mankelevich Yu A., Krishtab M.B., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 34, № 4, с. 041205 DOI
  • 
    • 2016 Ion flux and energy virtual sensor for measuring ion flux and energy distribution at a RF biased electrode in ICP reactor (RIE-mode)
    • Bogdanova M.A., Lopaev D.V., Zyryanov S.M.
    • в журнале Journal of Physics: Conference Series, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 768, с. 012016 DOI
  • 
    • 2016 Multi-step reactions mechanism for F atoms interactions with organosilicate glass and SiOx films
    • Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 49, № 34, с. 345203 DOI
  • 
    • 2016 “Virtual IED sensor” at an rf-biased electrode in low-pressure plasma
    • Bogdanova M.A., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
    • в журнале Physics of Plasmas, издательство AIP Publishing (United States), том 23, с. 073510 DOI
  • 
    • 2015 Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
    • Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Kurchikov K.A., Zyryanov S.M., Palov A.P., Proshina O.V., Maslakov K.I., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 48, № 17, с. 175204-(14pp) DOI
  • 
    • 2015 Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
    • Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Rakhimov A.T., Zyryanov S.M., Kurchikov K.A., Novikova N.N., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 48, № 17, с. 175203-(13pp) DOI
  • 
    • 2015 Plasma probe characteristics in low density hydrogen pulsed plasmas
    • Astakhov D.I., Goedheer W.J., Lee C.J., Ivanov V.V., Krivtsun V.M., Zotovich A.I., Zyryanov S.M., Lopaev D.V., Bijkerk F.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 24, № 5, с. 055018 DOI
  • 
    • 2014 Low-k films modification under EUV and VUV radiation
    • Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Zyryanov S.M., Kurchikov K., Proshina O.V., Voloshin D.G., Novikova N.N., Krishtab M.B., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 47, № 2, с. 025102 DOI
  • 
    • 2013 Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
    • Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Proshina O.V., Braginsky O.V., Zyryanov S.M., Kurchikov K., Novikova N.N., Baklanov M.R.
    • в журнале Applied Physics Letters, издательство AIP Publishing (United States), том 102, № 11, с. 111902 DOI
  • • 2013 Nitrogen atoms influence on associative ionization in nitrogen plasma
    • Volynets A., Zotovich A., Lopaev D., Ziryanov S., Popov N.
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference, том 58, № 8
  • • 2013 Space--time evolution of low-pressure H2 plasma induced by runaway photoelectrons produced by KrF laser pulse
    • Zotovich A., Volynets A., Lopaev D., Zyryanov S., Koshelev K., Krivtsun V., Astakhov D.
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 66th Annual Gaseous Electronics Conference, том 58, № 8
  • 
    • 2012 Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
    • Braginsky O., Kovalev A., Lopaev D., Proshina O., Rakhimova T., Vasilieva A., Voloshin D., Zyryanov S.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 45, № 1, с. 015201-015201 DOI
  • 
    • 2012 Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Koshelev K.N., Krivtsun V.M., van Kaampen Maarten, Glushkov D.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 111, № 9, с. 093304-093304 DOI
  • • 2012 Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
    • Sergey Zyryanov, Oleg Braginsky, Alexander Kovalev, Dmitry Lopaev, Yury Mankelevich, Tatyana Rakhimova, Alexander Rakhimov, Anna Vasilieva, Mikhail Baklanov
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference, том 57, № 8
  • 
    • 2011 Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithography
    • Zyryanov S.M., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Koshelev K.N., Krivtsun V.M.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 37, № 10, с. 881-889 DOI
  • 
    • 2011 Plasma Cleaning of Multilayer Mirrors in EUV Lithography from Amorphous Carbon Contaminations
    • Malykhin E.M., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Braginskii O.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Zyryanov S.M.
    • в журнале Moscow University Physics Bulletin, издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States), том 66, № 2, с. 184-189 DOI
  • 
    • 2011 Surface recombination of oxygen atoms in O-2 plasma at increased pressure: I. The recombination probability and phenomenological model of surface processes
    • Lopaev D.V., Malykhin E.M., Zyryanov S.M.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 44, № 1, с. 015201 DOI
  • 
    • 2011 Surface recombination of oxygen atoms in O-2 plasma at increased pressure: II. Vibrational temperature and surface production of ozone
    • Lopaev D.V., Malykhin E.M., Zyryanov S.M.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 44, № 1, с. 015202 DOI
  • 
    • 2011 The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Smirnov E.A., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 109, № 4, с. 043303 DOI
  • 
    • 2011 The structure of thin carbon films deposited at 13.5 nm EUV irradiation
    • Malykhin E.M., Krivchenko V.A., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Zyryanov S.M.
    • в журнале Moscow University Physics Bulletin, издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States), том 66, № 1, с. 54-58 DOI
  • 
    • 2010 Study of spatial distributions of F, H and CF2 radicals in DF CCP discharge in Ar/CF4 and Ar/CHF3 mixtures
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M.
    • в журнале THIRD INTERNATIONAL WORKSHOP AND SUMMER SCHOOL ON PLASMA PHYSICS 2008 Book Series: Journal of Physics Conference Series, том 207, № Article Number: 012014 DOI
  • 
    • 2010 The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 108, № 7, с. 073303 DOI
  • 
    • 2009 Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
    • Rakhimova Tatyana V., Braginsky Oleg V., Kovalev Alexander S., Lopaev Dmitry V., Mankelevich Yuri A., Malykhin Evdokim M., Rakhimov Alexander T., Vasilieva Anna N., Zyryanov Sergey M., Baklanov Mikhail R.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 37, № 9, с. 1697-1704 DOI
  • • 2009 The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference, том 54, № 12
  • 
    • 2007 Measurements of the gas temperature in an oxygen plasma by Spectroscopy of the O-2(b(1)Sigma(+)(g))-> O-2(X-3 Sigma(-)(g)) transition
    • Zyryanov S.M., Lopaev D.V.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 33, № 6, с. 510-520 DOI

• Статьи в сборниках

  • • 2014 Виртуальный датчик потока и энрегии ионов на ВЧ электроде в высокочастотной плазме низкого давления
    • Богданова М.А., Лопаев Д.В., Зырянов С.М.
    • в сборнике Сборник материалов всероссийской конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-2014, серия ISBN 978-5-7882-1578-5 и ISBN 978-5-7882-1579-2, место издания Изд-во: КНИТУ Казань, том 1, с. 311-314
  • • 2013 Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
    • Oleg Braginsky, Alexander Kovalev, Dmitry Lopaev, Yury Mankelevich, Olga Proshina, Tatyana Rakhimova, Alexander Rakhimov, Anna Vasilieva, Sergey Zyryanov, Mikhail Baklanov
    • в сборнике MRS Online Proceedings Library, издательство Cambridge University Press (United Kingdom), том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11 DOI
  • • 2010 In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
    • Malykhin E.M., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Koshelev K.N., Krivtsun V.M., Yakushev O.F.
    • в сборнике Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France, серия 7, место издания Paris, France, том 55
  • • 2009 Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Malykhin E.M., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в сборнике Materials Research Society Symposium Proceedings, место издания Materials Research Society, том 1156 DOI
  • • 2009 Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
    • Malykhin E.M., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M.
    • в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany, место издания Bochum, Germany, с. 362
  • • 2008 Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в сборнике Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan, место издания San Diego California, USA, and Tokyo, Japan

• Книги

  • • 2014 Атомная физика. Сборник задач
    • Бакурский С.В., Зырянов С.М., Кленов Н.В., Красильников С.С., Крылова Е.А., Олеванов М.А., Попов А.М., Тихонова О.В., Шарапова П.Р., Шорохов В.В.
    • место издания Из-во научной литературы "Нобель Пресс" Москва, ISBN 978-5-519-02653-6, 226 с.

• Доклады на конференциях

  • • 2023 Probing surface reactivity in plasmas - is it valid to use a constant reaction probability model (Устный)
    • Авторы: Booth J.P., Guaitella O., Zhang S., Lopaev D., Zyryanov S., Volynets A.
    • 76th Annual Gaseous Electronics Conference, Michigan League, Ann Arbor, Michigan, США, 9-13 октября 2023
  • • 2023 Sputtering of amorphous Si and SiO2 by low-energy Ar+, Kr+ and Xe+ ions (Устный)
    • Авторы: Shibanov D.R., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Rakhimov A.T.
    • GDPA 2023, Республика Башкорторстан, г. Уфа, ул. Карла Маркса, д. 12, Россия, 18-22 сентября 2023
  • • 2023 Ozone kinetics in the afterglow of a pulse-modulated DC discharge in O2: an experimental and modelling study of surface mechanisms and ozone vibrational kinetics (Приглашенный)
    • Авторы: Booth J-P, Guaitella O., Baratte E., Zhang Shu, Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimova T., Voloshin D., Chukalovsky A., Volynets A., Mankelevich Yu
    • The plasma road to sustainable chemical conversion, Фуншал, Мадейра, Португалия, 3-5 сентября 2023
  • • 2021 SiO2 sputtering by low energy ions (Стендовый)
    • Авторы: Shibanov D., Lopaev D., Zyryanov S., Zotovich A., Bogdanova M., Rakhimov A.
    • Micro- and nano engineering (MNE - 2021), Турин, Италия, 20-24 сентября 2021
  • • 2021 Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2 (Устный)
    • Авторы: Волошин Д.Г., Кропоткин А.Н., Лопаев Д.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Амиров И.И.
    • IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии, Иваново, Россия, 13-17 сентября 2021
  • • 2021 Filling the Gaps in Our Understanding of Plasmas in Simple Diatomic Gases-Combining a DC Plasma in Pure O2 with Multiple Advanced Diagnostics for Experimental Validation of Simulations (Устный)
    • Авторы: Booth J.P., Chatterjee A., Guaitella O., Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimova T., Voloshin D., Oliveira N., Nahon L.
    • IS Plasma 2021, Nagoya, Япония, 7-11 марта 2021
  • • 2020 КОМПЛЕКСНАЯ ДИАГНОСТИКА ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ АРГОНА ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В РЕАКТОРЕ С УДАЛЕННЫМ ИСТОЧНИКОМ ПЛАЗМЫ (Устный)
    • Авторы: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Изюмов М.О., Амиров И.И., Рахимова Т.В.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" (ФНТП – 2020), Казань, Россия, 9-13 ноября 2020
  • • 2020 A NEW LOOK AT OXYGEN PLASMAS-QUANTITATIVE SPECTROSCOPY FOR RIGOROUS TESTING OF MODELS (Устный)
    • Авторы: Booth J-P, Chatterjee A., Guaitella O., Lopaev DV, Zyryanov SM, Rakhimova TV, Voloshin DG, de Oliveira N., Nahon L.
    • International Symposium on the Physics of Ionized Gases, Белград, Сербия, 24-27 августа 2020
  • • 2020 БЫСТРОЕ ТУШЕНИЕ СИНГЛЕТНОГО КИСЛОРОДА АТОМАМИ O ОСНОВНОГО СОСТОЯНИЯ ПРИ ВЫСОКОМ РАЗОГРЕВЕ (Стендовый)
    • Авторы: Волынец А.В., Лопаев Д.В., Богданова М.А., Зырянов С.М., Рахимов А.Т.
    • XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
  • • 2020 ОПРЕДЕЛЕНИЕ МОЛЬНОЙ ДОЛИ МЕТАСТАБИЛЬНЫХ МОЛЕКУЛ КИСЛОРОДА В РАЗРЯДЕ O2 С ПОМОЩЬЮ ОПТИЧЕСКОЙ Э МИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ (Стендовый)
    • Авторы: Богданова М.А., Лопаев Д.В., Волынец А.В., Зырянов С.М., Рахимов А.Т.
    • XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
  • • 2019 Oxygen atom and negative ion densities and kinetics by cavity ringdown spectroscopy (Устный)
    • Авторы: Booth J.P., Chatterjee A., Guaitella O., Zyryanov S., Lopaev D., Rakhimova T., Ritchie G.
    • The 72nd Annual Gaseous Electronics conference, College Station, Texas, США, 28 октября - 1 ноября 2019
  • • 2019 Ion composition and energy spectra in Ar/H2 CCP discharges (Устный)
    • Авторы: Bogdanova M., Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimova T., Voloshin D.
    • 9th Radio-Frequency Discharge Workshop, Дублин, Ирландия, 24-25 июня 2019
  • • 2019 Vacuum ultraviolet absorption spectroscopy of oxygen discharges (Устный)
    • Авторы: Jean-Paul Booth, Chatterjee Abhyuday, Guaitella Olivier, de Oliveira N., Nahon L., Lopaev Dmitry, Zyruyanov S., Rakhimova Tatyana
    • Journées de la Spectroscopie Moléculaire, Кретей, Франция, 21-23 мая 2019
  • • 2019 A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas (Устный)
    • Авторы: J-P Booth, Chatterjee A., Guaitella O., Drag C., de Oliveira N., Nahon L., Lopaev D., Zyryanov S., Voloshin D., Rakhimova T.
    • 13-th Frontiers in low Temperature plasma diagnostics & 1-th Frontiers in low Temperature plasma simulation, Bad Honnef, Германия, 13-16 мая 2019
  • • 2019 Процессы взаимодействия плазмы с нанопористыми пленками с низкой диэлектрической проницаемостью (Устный)
    • Авторы: Зырянов С.М., Рахимов А.Т., Бакланов М.Р.
    • Научный семинар "Системы металлизации" Научно-исследовательского института молекулярной электроники (АО "НИИМЭ"), Москва, Россия, 27 марта 2019
  • • 2019 Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas (Устный)
    • Авторы: J-P Booth, Chatterjee A., Guaitella O., Drag C., Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimova T., de Oliveira N., Nahon L., Western C.
    • 7th International Conference on Advanced Plasma Technologies (ICAPT-7), Hue, Вьетнам, 24 февраля - 1 марта 2019
  • • 2018 ИССЛЕДОВАНИЕ РОЛИ ОЗОНА В ГИБЕЛИ АТОМОВ КИСЛОРОДА В О2 ПЛАЗМЕ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ. (Стендовый)
    • Авторы: Богданова М.А., Зырянов С.М., Волынец А.В., Рахимов А.Т.
    • Современные методы диагностики плазмы и их применение, Институт Лазерных и плазменных технологий НИЯУ МИФИ, Москва, Россия, 13-15 ноября 2018
  • • 2018 ОПРЕДЕЛЕНИЕ ГАЗОВОЙ ТЕМПЕРАТУРЫ КИСЛОРОДНОЙ ПЛАЗМЫ ПОВЫШЕННОГО ДАВЛЕНИЯ МЕТОДОМ ОПТИЧЕСКОЙ ЭМИССИОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ. (Стендовый)
    • Авторы: Зырянов С.М., Богданова М.А., Волынец А.В., Рахимов А.Т.
    • Современные методы диагностики плазмы и их применение, Институт Лазерных и плазменных технологий НИЯУ МИФИ, Москва, Россия, 13-15 ноября 2018
  • • 2018 Density of metastable O2 (b1Σ +) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy (Стендовый)
    • Авторы: JEAN-PAUL BOOTH, ABHYUDAY CHATTERJEE, OLIVIER GUAITELLA, DMITRY LOPAEV, SERGEY ZYRYANOV, TATYANA RAKHIMOVA, DMITRY VOLOSHIN, YURI MANKELEVICH, OLIVEIRA NELSON DE, LAURENT NAHON
    • The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA), Portland, США, 5-9 ноября 2018
  • • 2018 O2 X, a and b densities and kinetics in pure O2 DC discharges: VUV absorption, IR emission and Cavity Ring Down Spectroscopy measurements (Стендовый)
    • Авторы: Chatterjee A., Booth J.P., Guaitella O., De Oliviera N., Nahon L., Western C.M., Gianella M., Press S., Lopaev D., Zyryanov S.
    • ESCAMPIG XXIV, Glasgow, Scotland, July 17-21, 2018, Глазго, Великобритания, 17-21 июля 2018
  • • 2017 Kinetics of atoms and metastable molecules in oxygen plasmas revisited: an experimental study (Устный)
    • Авторы: Booth J.P., Chatterjee A., Guaitella O., Morillo-Candas A.S., Drag C., Lopaev D., Zyryanov S., d’Oliveira N., Nahon L.
    • The 10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2017), Наго, Япония, 4-7 декабря 2017
  • • 2017 Challenges of plasma processing of organisilicate based low-k materials (Приглашенный)
    • Автор: Sergey Zyryanov
    • The 2nd International Workshop "Materials for Advanced Interconnects and Packaging, North China University of Technology, Китай, 15-17 октября 2017
  • • 2017 Kinetics of metastable states and atoms in DC discharges in pure O2: An experimental study (Устный)
    • Авторы: Guaitella O., de Oliveira N., Nahon L., Western C., Booth J.P., Chatterjee A., Zyryanov S., Lopaev D.
    • 23rd International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-2017), Монреаль, Канада, 30 июля - 4 августа 2017
  • • 2017 Актинометрия атомов O, N и F (Стендовый)
    • Авторы: Зотович А.И., Зырянов С.М., Рахимов А.Т., Волынец А.В., Лопаев Д.В.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017", Казань, Россия, 5-9 июня 2017
  • • 2017 Диссоциация О2 электронным ударом в плазме (Устный)
    • Авторы: Guaitella O., Booth J.P., Chatterjee A., Лопаев Д.В., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Волошин Д.Г.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017", Казань, Россия, 5-9 июня 2017
  • • 2017 Комплексное изучение объемной плазмохимии емкостных ВЧ-разрядов в смесях CF4/Ar и CHF3/Ar (Устный)
    • Авторы: Зотович А.И., Прошина О.В., Лопаев Д.В., Зырянов С.М., Рахимова Т.В.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017", Казань, Россия, 5-9 июня 2017
  • • 2017 Поток и энергетическое распределение ионов на электроде в двухчастотном ВЧЕ разряде (Устный)
    • Авторы: Зырянов С.М., Богданова М.А., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В., Волошин Д.Г.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017", Казань, Россия, 5-9 июня 2017
  • • 2017 Pore Surface Grafting of Porous Low-K Dielectrics by Selective Polymers (Устный)
    • Авторы: Askar Rezvanov, Liping Zhang, Mitsuhiro Watanabe, Mikhail Krishtab, Lin Zhang, Alexey Zotovich, Sergey Zyryanov, Dmitriy Lopaev, Nigel Hacker, Patrick Verdonck, Silvia Armini, Evgeny Gornev, de Marneffe Jean-Francois
    • 2017 MRS Spring Meeting, Phoenix, Arizona, США, 17-21 апреля 2017
  • • 2016 "Virtual IED sensor" at an rf-biased electrode in low-pressure plasma (Устный)
    • Авторы: Bogdanova M.A., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
    • 69th Annual Gaseous Electronics Conference, Bochum, Германия, 10-14 октября 2016
  • • 2016 Actinometry of O, N and F atoms (Устный)
    • Авторы: ANDREY VOLYNETS, DMITRY LOPAEV, ALEXEY ZOTOVICH, SERGEY ZYRYANOV, ALEXANDER RAKHIMOV
    • 69th Annual Gaseous Electronics Conference, Bochum, Германия, 10-14 октября 2016
  • • 2016 Multi-step reactions mechanism of F and N atoms interactions with SiOCH low-k films (Стендовый)
    • Авторы: Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • XXI European Conference on Dynamics of Molecular Systems (MOLEC 2016), Toledo, Испания, 11-16 сентября 2016
  • • 2016 Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films (Стендовый)
    • Авторы: Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Baklanov M.R., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Palov A.P.
    • International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
  • • 2016 Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: Experiment and ab initio simulation (Устный)
    • Авторы: Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Baklanov M.R., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Palov A.P.
    • International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
  • • 2016 Comprehensive study of CF4/Ar and CHF3/Ar DF CCP discharges (Устный)
    • Авторы: Lopaev D.V., Zotovich A., Proshina O.V., Zyryanov S.M., Rakhimova T.V.
    • ESCAMPIG XXIII, Словакия, 12-16 июля 2016
  • • 2015 Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling (Стендовый)
    • Авторы: Palov A., Voronina E., Lopaev D., Baklanov M., Rakhimova T., Zyryanov S., Proshina O., Mankelevich Yu
    • ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
  • • 2015 Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures (Стендовый)
    • Авторы: Zyryanov S., Kurchikov K., Lopaev D., Mankelevich Yu, Baklanov M., Rakhimova T., Voronina E., Novikova N., Palov A.
    • ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
  • • 2015 Effect of VUV photons on low-k OSG damage and etching by F atoms at the lowered temperature (Устный)
    • Авторы: Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Baklanov M.R., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Kurchikov K.A.
    • PESM 2015, Leuven, Бельгия, 27-28 апреля 2015
  • • 2014 Ion flux and energy virtual sensor for measuring ion flux and energy distribution at a RF-biased electrode in ICP reactor (RIE-mode) (Устный)
    • Авторы: Bogdanova M.A., Lopaev D.V., Zyryanov S.M.
    • 6-th International Workshop and Summer School on Plasma Physics, Kiten Bulgaria, Болгария, 2014
  • • 2013 1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission (Устный)
    • Авторы: Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Kovalev A.S., Vasil'eva A.N., Proshina O.V., Braginsky O.V., Kurchikov K., Baklanov M.R.
    • PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium), Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013

• Тезисы докладов

  • 
    • 2023 SPUTTERING OF AMORPHOUS Si AND SiO2 BY LOW-ENERGY Ar+ , Kr+ AND Xe+ IONS
    • SHIBANOV D.R., LOPAEV D.V., ZYRYANOV S.M., ZOTOVICH A.I., RAKHIMOV A.T.
    • в сборнике Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDPA-2023): Abstracts of 16th International Conference, место издания Aeterna Ufa, Russia, тезисы, с. G3-O-005903
  • • 2021 Теоретическое и экспериментальное исследование кинетических процессов в индукционном разряде в смеси Ar/Cl2
    • Волошин Д.Г., Кропоткин А.Н., Лопаев Д.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Амиров И.И.
    • в сборнике IX Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии: сборник трудов, место издания Иваново Иван. гос. хим.-технол, тезисы, с. 40

• НИРы

  • • 22 апреля 2022 - 30 сентября 2023 Математическое моделирование распределения параметров плазмы, оптимизация конструкции и разработка системы оптического контроля плазмы разряда экспериментального и опытного образца реактора для проведения технологических процессов плазмохимического травления (ПХТ) высокоаспектных диэлектрических структур на пластинах диаметром до 300 мм в микроэлектронном производстве уровня 65 нм
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Кропоткин А.Н., Прошина О.В., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Зиганшин И.И., Кожин В.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Палов А.П., Поройков А.Ю., Скурихин А.В., Чукаловский А.А., Шибанов Д.Р.
  • • 29 июля 2021 - 30 июня 2024 Исследование согласованной кинетики отрицательных ионов, атомов и возбужденных молекул в импульсной кислородной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Волошин Д.Г. Ответственные исполнители: Зырянов С.М., Кропоткин А.Н., Чукаловский А.А. Участники НИР: Зиганшин И.И., Манкелевич Ю.А., Мележенко Д.Е., Рахимова Т.В.
  • • 20 мая 2019 - 31 декабря 2020 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Воронина Е.Н., Зырянов С.М., Лопаев Д.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Кропоткин А.Н., Палов А.П., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Шибанов Д.Р.
  • • 3 декабря 2018 - 3 декабря 2021 Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Минаков П.В., Прошина О.В., Сычева А.А. Участники НИР: Васильева А.Н., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Рябинкин А.Н., Серов А.О., Чукаловский А.А.
  • • 3 декабря 2018 - 3 января 2021 Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Лопаев Д.В. Ответственные исполнители: Волынец А.В., Палов А.П., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Манкелевич Ю.А.
  • • 10 октября 2018 - 1 октября 2020 Исследование высокочастотной плазмы, контролируемой электронным пучком, для новейших реакторов современной микротехнологии
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Зырянов С.М. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Зотович А.И., Чукаловский А.А. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Лопаев Д.В.
  • • 1 января 2018 - 9 апреля 2020 Экспериментальное исследование гибели атомов О в плазме чистого кислорода при средних давлениях
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Волынец А.В. Участники НИР: Богданова М.А., Зырянов С.М.
  • • 1 января 2017 - 31 декабря 2019 Влияния модификации поверхности углеродных материалов на их электрохимические характеристики
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Суетин Н.В. Ответственные исполнители: Евлашин С.А., Степанов А.С. Участники НИР: Дагесян С.А., Дьяконов П.В., Зырянов С.М., Кондратенко М.С., Максимов Ю.М., Миронович К.В., Хмельницкий Р.А.
  • • 8 ноября 2016 - 31 декабря 2018 Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.
  • • 16 мая 2016 - 31 декабря 2018 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Прошина О.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Воронина Е.Н., Зотович А.И., Иванов А.С., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Палов А.П., Сычева А.А.
  • • 1 января 2016 - 31 декабря 2018 Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники.
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Ковалев А.С. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2025 Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Алов Н.В., Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зиганшин И.И., Зотович А.И., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Сычева А.А., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шибанов Д.Р., Шкуренков И.А.
  • • 22 мая 2014 - 30 декабря 2016 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 10 февраля 2014 - 31 декабря 2015 Энергетический спектр ионов на поверхности электрода в многочастотной вч плазме
    • Физический факультет
    • Руководитель: Зырянов С.М. Участники НИР: Волошин Д.Г., Зотович А.И.
  • • 14 октября 2013 - 7 декабря 2013 Разработка и исследование наноструктурированных материалов с трехмерной архитектурой поверхности для тонкопленочных литий-ионных батарей нового поколения
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Кривченко В.А. Участники НИР: Воронин П.В., Зырянов С.М., Иткис Д.М., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Семененко Д.А.
  • • 29 ноября 2012 - 29 ноября 2013 Новый анодный материал для тонкопленочных литий-ионных батарей на основе наноструктурного углерода и кремния: от концепции до технологии
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Кривченко В.А. Участники НИР: Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Иткис Д.М., Миронович К.В., Поройков А.Ю., Семененко Д.А., Сень В.В., Степанов А.С., Ястребов А.А.
  • • 1 июня 2012 - 31 июля 2015 Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 12 марта 2012 - 19 июня 2013 Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Пилевский А.А., Попов Н.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Ястребов А.А.
  • • 1 февраля 2012 - 30 ноября 2013 Механизм модификации нанопористых диэлектрических материалов при травлении во фторуглеродной плазме
    • Физический факультет
    • Руководитель: Зырянов С.М. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Курчиков К.А., Шкуренков И.А.
  • • 1 января 2012 - 31 декабря 2025 Развитие новых образовательных технологий и их внедрение в практикумы НИИЯФ
    • Лаборатория общего и специального практикума
    • Руководители: Радченко В.В., Тетерева Т.В. Участники НИР: Авдеев М.В., Аксенов В.Л., Амелюшкин А.М., Андреев Е.А., Анохина А.М., Балакшин Ю.В., Белышев С.С., Брусницын А.А., Вдовина И.Ф., Веденькин Н.Н., Волков С.А., Вохник О.М., Галкин В.И., Голубенко А.А., Горнушкина Н.А., Горшенин В.П., Горячев Б.И., Гуральская И.М., Дороженко Т.С., Еременко Д.О., Жук В.Л., Зверева И.М., Злоказов В.Б., Зубрило А.А., Зырянов С.М., Иванова Л.Е., Иванова Л.И., Игнатович В.К., Ильина Н.П., Ищенко С.В., Казарина Н.Ю., Киселев М.А., Кичанов С.Е., Коропченко Н.В., Красильников С.С., Красильникова Н.А., Красоткин С.А., Кузаков К.А., Кузнецов А.А., Куров Е.А., Кэбин Э.И., Леонтьев В.В., Леонтьева А.Н., Лычагин Е.В., Максудов С.М., Малышев К.Ю., Матвеев М.Ю., Мицина И.М., Морозов С.Б., Объедова Л.К., Перепелов А.В., Петров В.Л., Платонов С.Ю., Подварков Г.Г., Польшикова Е.С., Прохоров А.В., Ремизов П.Д., Рогачев А.В., Рубинштейн И.А., Савенко Б.Н., Савина Т.Н., Самойлова Н.Ю., Свертилов С.И., Силаев А.А., Скачкова Л.В., Ской В.Р., Скурихин А.В., Сомиков А.В., Спасский А.В., Степанов М.Е., Сумников С.В., Тропин Т.В., Трусов С.В., Тютюнников С.И., Фроликов С.Ю., Фроликов С.Ю., Цирулев М.И., Цыганкова О.В., Чопорняк Д.Б., Швецов В.Н., Шевелева Е.В., Шефель Г.М., Широков Е.В., Яковлева Г.Н., Янин Л.А.
  • • 1 января 2012 - 31 декабря 2014 Исследование фундаментальных механизмов возникновения дефектов в процессе травления материалов с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости (ultra low-k, ULK) в двухчастотной ВЧ плазме фторуглеводородов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В.
  • • 12 октября 2011 - 5 сентября 2012 Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 10 сентября 2010 - 31 декабря 2012 Исследование нелинейно-оптических процессов в высокоинтенсивных лазерных импульсах ультракороткой длительности для разработки методов диагностики и управления процессами со сверхвысоким временным и пространственным разрешением
    • МГУ им. М.В.Ломоносова
    • Руководитель: Попов А.М. Участники НИР: Богацкая А.В., Буренков И.А., Волкова Е.А., Гуляев А.В., Зырянов С.М., Кленов Н.В., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Попов Н.А., Рахимова Т.В., Соловьев И.И., Тихонова О.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р.
  • • 28 июня 2010 - 15 декабря 2012 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 5 октября 2009 - 15 сентября 2010 Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Либерман М.А. Участники НИР: Белоусов М.Э., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кожин В.А., Кривченко В.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Намиот В.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А.
  • • 7 июля 2009 - 1 сентября 2011 Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 1 июня 2009 - 1 сентября 2011 Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Унтила Г.Г. Участники НИР: Буренков И.А., Волошин Д.Г., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.
  • • 1 января 2009 - 31 декабря 2011 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов при взаимодействии плазмы с новыми пористыми материалами с низкой диэлектрической константой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Ковалев А.С. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В.
  • • 1 января 2008 - 31 декабря 2010 Исследование процессов в плазме многочастотных емкостных разрядов при масштабировании по мощности и размерам плазменных реакторов третьего поколения для наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Малыхин Е.М., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.

• Патенты

  • • 2016 Способ измерения плотности электронов в плазме методом оптической спектроскопии
    • Авторы: Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Ястребов А.А.
    • #2587468, 20 июня

• Диссертация

  • • 2010 Модификация нанопористых диэлектрических материалов в плазме и ее послесвечении
    • Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
    • Автор: Зырянов Сергей Михайлович, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Научный руководитель: Рахимов А.Т., д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Защищена в совете Д 501.001.45 при МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына

• Руководство дипломными работами

  • • 2018 Обработка нанопористых диэлектрических материалов в плазме индукционного разряда
    • Научный руководитель: Зырянов Сергей Михайлович
    • Автор: Шибанов Даниил Романович (Бакалавр)
  • • 2013 Энергетический спектр ионов на поверхности вч электрода в асимметричном вч разряде
    • Научный руководитель: Зырянов Сергей Михайлович
    • Автор: Богданова Мария Андреевна (Специалист)
  • • 2013 Пространственно-временная эволюция водородной плазмы, индуцированной импульсным ультрафиолетовым лазером
    • Научный руководитель: Зырянов Сергей Михайлович
    • Автор: Зотович Алексей Иванович (Магистр)
  • • 2011 Сравнительная диагностика плазмы высокочастотного разряда зондом Ленгмюра и микроволновым зондом
    • Научный руководитель: Зырянов Сергей Михайлович
    • Автор: Малис Вадим Олегович (Бакалавр)

• Авторство учебных курсов

  • • 2019 Физика наноструктур, атомная и молекулярная физика
    • Авторы: Корнев В.К., Зырянов С.М.
  • • 2016 Диагностика низкотемпературной плазмы
    • Автор: Зырянов Сергей Михайлович
  • • 2015 Технология производства микрочипов с наноразмерными элементами
    • Автор: Зырянов Сергей Михайлович

• Преподавание учебных курсов

  • • с 1 февраля 2016 Диагностика низкотемпературной плазмы
    • МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Отделение ядерной физики, Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
    • обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 32 часов
  • • с 1 февраля 2015 Технология производства микрочипов с наноразмерными элементами
    • МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Отделение ядерной физики, Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
    • обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 36 часов
  • • с 1 сентября 2011 Атомная физика
    • МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет
    • обязательная, базовой части, семинары, 36 часов
  • • с 1 сентября 2007 Атомная физика
    • МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет
    • обязательная, базовой части, лабораторные занятия, 108 часов

---