|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Особенности плазмохимии и механизмов излучения плазмы СВЧ разряда и разряда постоянного тока для осаждения алмазных пленокдоклад на конференции
- Автор: Манкелевич Ю.А.
- Международная Конференция : Третья Международная конференция «Научные чтения памяти А.М. Дыхне», КТЦ ТРИНИТИ, г. Троицк
- Даты проведения конференции: 3 ноября - 3 декабря 2017
- Дата доклада: 3 ноября 2017
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Манкелевич Ю.А.
- Место проведения: г. Троицк, Москва, Russia
-
Аннотация доклада:
Рассматриваются особенности плазмохимических конверсий и механизмов генерации излучения плазмы в H/C/Ar, H/C/N и H/C/B смесях в различных пространственных областях плазменно-активированных реакторов для осаждения алмазных пленок (PACVD реакторов). Представлены результаты совместных теоретических (с использованием разработанных 2-D(r,z) моделей основных процессов плазменной активации осаждения пленок) и экспериментальных (с использованием оптической спектрометрии, калориметрии и лазерной диагностики многопроходного поглощения (CRDS)).
- Добавил в систему: Манкелевич Юрий Александрович