|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Multi-step reactions mechanism of F and N atoms interactions with SiOCH low-k filmsдоклад на конференции
- Авторы: Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Baklanov M.R., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Palov A.P.
- Международная Конференция : XXI European Conference on Dynamics of Molecular Systems (MOLEC 2016)
- Даты проведения конференции: 11-16 сентября 2016
- Дата доклада: 12 сентября 2016
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: Voronina E.N.
- Место проведения: Toledo, Spain
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна