ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Проведены эксперименты по внедрению ионов ксенона в монокристалл кремния в направлении (110)с энергией 100 кэВ. Методом Резерфордовского обратного рассеяния получены профили распределения внедренной примеси по глубине. Показано значительное расхождение экспериментальных данных с результатами моделирования в специальных программах