|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
СРАВНЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИНДУКТИВНОГО И ГИБРИДНОГО ВЧ РАЗРЯДОВдоклад на конференции
- Авторы: Вавилин К.В., Гоморев М.А., Чжао Ч., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Кралькина Е.А.
- Международная Конференция : XXXIX Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 6 – 10 февраля 2012 г.
- Даты проведения конференции: 2012
- Дата доклада: 8 февраля 2012
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Звенигород, Russia
-
Аннотация доклада:
Хорошо известны источники плазмы, основанные на емкостном и индуктивном ВЧ разряде. Для индуктивного ВЧ разряда (ИВЧР) низкого давления характерны высокие плотности электронов при относительно низких эффективных температурах электронов. Для емкостного разряда, напротив, характерны относительно низкие плотности плазмы и наличие быстрых электронов. В работе [1] сделана попытка организовать разряд с гибко управляемыми параметрами, соединяющий достоинства индуктивного и емкостного ВЧ разрядов. Для этой цели был выбран индуктивный ВЧ разряд с усиленной емкостной компонентой, а именно гибридный ВЧ разряд (ГВЧР), где естественным образом присутствуют вихревые и потенциальные ВЧ поля. Данная работа посвящена сравнительному исследованию параметров индуктивного и в гибридного ВЧ разрядов низкого давления.
- Добавил в систему: Неклюдова Полина Алексеевна