ИСТИНА

Неклюдова Полина Алексеевна пользователь

Соавторы: Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Павлов В.Б., Никонов А.М., Петров А.К., Александров А.Ф., Айрапетов А.А., Задириев И.И., Сологуб В.А., Гоморев М.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Чжао Ч. показать полностью..., Козлов Г.П., Рухадзе А.А., Тараканов В.П., Zhao C., Павлова Г.А., Турковская А.В., RUKHADZE A., Айрапетов А.А., Вавилин К.В., Вавулов О.Ю., Грушин М.А., Дюжев Н.А., Козлов В.В., Куликов С.В., Одиноков В.В., Одиноков В.В., Павлов В.Э., Савинов В.П., Сологуб В.А., Сологуб В.А.

36 статей, 25 докладов на конференциях, 29 тезисов докладов, 10 НИР, 1 патент, 6 научных отчётов, 1 диссертация

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 37, Scopus: 56

IstinaResearcherID (IRID): 2352616

Деятельность

• Статьи в журналах

  • 
    • 2020 Experimental study of a low-pressure hybrid RF discharge
    • KRALKINA Elena, NEKLIUDOVA Polina, PAVLOV Vladimir, VAVILIN Konstantin, ZADIRIEV Ilya, ZHAO Chen
    • в журнале Plasma Science and Technology, издательство Institute of Plasma Physics (China), том 22, № 5 DOI
  • • 2019 Electric properties of carbon films deposited by magnetronsputtering with ion assistance
    • Grushin M.A., Kral’kina E.A., Neklyudova P.A., Nikonov A.M.
    • в журнале Journal of Physics: Conference Series, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), № 1328, с. 012029
  • 
    • 2019 Optimization of discharge parameters in an inductive RF ion thruster prototype prototype/
    • Kralkina E.A., Vavilin K.V., Zadiriev I.I., Nekliudova P.A., Shvydkiy G.V.
    • в журнале Vacuum, издательство Elsevier Ltd (London), том 167, с. 136-144
  • 
    • 2019 Свойства титановых покрытий, полученных в магнетронном разряде при ионном ассистировании с помощью индуктивного ВЧ-разряда в магнитном поле
    • Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Вавилин К.В., Задириев И.И.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 4, с. 41-46
  • 
    • 2018 Effect of an External Magnetic Field on the Absorption Efficiency of the RF Power in a Spatially Bounded Inductive Plasma Source
    • Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Вавилин К.В., Задириев И.И., Никонов А.М.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 44, с. 878-881 DOI
  • 
    • 2018 Plasma Parameters in the Reactor with Simultaneous Magnetron Discharge and Inductive Radio-Frequency Discharge in the Presence of External Magnetic Field
    • Aleksandrov A.F., Vavilin K.V., Kral’kina E.A., Neklyudova P.A., Nikonov A.M., Pavlov V.B., Airapetov A.A., Odinokov V.V., Pavlov G.Ya, Sologub V.A.
    • в журнале Journal of Communications Technology and Electronics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 63, № 4, с. 374-380 DOI
  • 
    • 2018 RF power absorption by plasma of low pressure low power inductive discharge located in the external magnetic field
    • Kralkina E.A., Rukhadze A.A., Nekliudova P.A., Pavlov V.B., Petrov A.K., Vavilin K.V.
    • в журнале AIP advances, издательство AIP Publishing (United States), том 8, с. 035217-035217 DOI
  • 
    • 2018 Исследования комбинации индуктивного высокочастотного разряда и разряда постоянного тока
    • Неклюдова П.А., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Задириев И.И., Никонов А.М.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 4, с. 18-23
  • • 2018 Параметры плазмы в реакторе, совмещающем магнетронный разряд и индуктивный высокочастотный разряд во внешнем магнитном поле
    • Александров А.Ф., Петров А.К., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Павлов Г.Я.
    • в журнале Радиотехника и электроника, издательство Наука (М.), том 63, № 4, с. 364-371
  • • 2018 Поглощение мощности и волновая структура, возникающие в индуктивном высокочастотном источнике плазмы, помещенном в слабое внешнее магнитное поле
    • Никонов А.М., Неклюдова П.А., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Задириев И.И.
    • в журнале Успехи прикладной физики, том 6, № 5, с. 390-400
  • 
    • 2017 Features of RF low-pressure discharge with inductive and capacitive channels
    • Kralkina Elena, Nekludova Polina, Pavlov Vladimir, Petrov Alexander K., Vavilin Konstantine
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 26, № 5, с. 055006 DOI
  • 
    • 2017 Formation of nanosized coatings in hybrid plasma reactor combining magnetron or arc deposition with RF plasma assistance
    • Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Сологуб В.А., Айрапетов А.А., Дюжев Н.А.
    • в журнале Materials Science Forum, издательство TRANS TECH PUBLICATIONS LTD (LAUBISRUTISTR 24, STAFA-ZUERICH,SWITZERLAND, CH-8712), том 900, с. 137-140 DOI
  • • 2017 Влияние внешнего магнитного поля на радиальное распределение ионного тока насыщения зонда в высокочастотном индуктивном источнике плазмы
    • Неклюдова П.А., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Задириев И.И., Никонов А.М.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 3, с. 42-46
  • • 2017 Влияние внешнего магнитного поля на эффективность поглощения высокочастотной мощности в пространственно ограниченном индуктивном источнике плазмы
    • Неклюдова П.А., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Задириев И.И., Никонов А.М.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 4, с. 27-31
  • • 2017 Особенности гибридного высокочастотного разряда низкого давления
    • Неклюдова П.А., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Задириев И.И., Никонов А.М.
    • в журнале Прикладная физика и математика, издательство Общество с ограниченной ответственностью Издательство Научтехлитиздат (Москва), № 5, с. 25-33
  • • 2017 Особенности гибридного высокочастотного разряда низкого давления
    • Неклюдова П.А., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Задириев И.И., Никонов А.М.
    • в журнале Прикладная физика и математика, издательство Общество с ограниченной ответственностью Издательство Научтехлитиздат (Москва), № 5, с. 25-33
  • • 2016 Hybrid plasma system for magnetron deposition of coatings with ion assistance
    • Vavilin K.V., Kralkina E.A., Nekludova P.A., Petrov A.K., Nikonov A.M., Pavlov V.B., Airapetov A.A., Odinokov V.V., Pavlov G.Ya, Sologub V.A.
    • в журнале Journal of Physics: Conference Series, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 669, № 012033 DOI
  • 
    • 2016 Influence of external conditions on physical processes and plasma parameters in a model of a high-frequency hybrid plasma system
    • Aleksandrov A.F., Petrov A.K., Vavilin K.V., Kral’kina E.A., Neklyudova P.A., Nikonov A.M., Pavlov V.B., Airapetov A.A., Odinokov V.V., Pavlov G.Ya, Sologub V.A.
    • в журнале Russian Microelectronics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 45, № 6, с. 433-441 DOI
  • 
    • 2016 Investigation of the helicon discharge plasma parameters in a hybrid RF plasma system
    • Aleksandrov A.F., Petrov A.K., Vavilin K.V., Kralkina E.A., Neklyudova P.A., Nikonov A.M., Pavlov V.B., Ayrapetov A.A., Odinokov V.V., Sologub V.A.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 42, № 3, с. 290-292 DOI
  • 
    • 2016 RF power absorption by plasma of a low-pressure inductive discharge
    • Kralkina E.A., Rukhadze A.A., Pavlov V.B., Vavilin K.V., Nekliudova P.A., Petrov A.K., Alexandrov A.F.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 25, № 1, с. 015016 DOI
  • • 2016 Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в макете ВЧ гибридной плазменной системы
    • Александров А.Ф., Петров А.К., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Павлов Г.Я.
    • в журнале МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. Физика плазмы, том 45, № 6, с. 471-479 DOI
  • • 2016 Влияние плазмы геликонного разряда на структуру тонких пленок при магнетронном распылении
    • Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
    • в журнале Вакуумная техника и технология, № №1
  • • 2016 Геликонный источник как элемент гибридной плазменной системы в установках для нанесения тонкопленочных покрытий с управляемой наноструктурой
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Петров А.К., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
    • в журнале Наноиндустрия, издательство АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера" (Москва), том 2, № 64, с. 74-86
  • 
    • 2015 Plasma parameters in a dual-camera low-power inductive RF discharge with an external magnetic field
    • Petrov A.K., Vavilin K.V., Kozlov G.P., Kralkina E.A., Nekliudova P.A., Nikonov A.M., Pavlov V.B.
    • в журнале Moscow University Physics Bulletin, издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States), том 70, № 6, с. 527-535 DOI
  • 
    • 2015 Исследование параметров плазмы «геликонного» разряда в макете ВЧ гибридной плазменной системы
    • Александров А.Ф., Петров А.К., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Павлов Г.Я.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 3, с. 25-28
  • • 2015 ПОГЛОЩЕНИЯ ВЧ МОЩНОСТИ ПЛАЗМОЙ ИНДУКТИВНОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
    • Александров A.Ф., Кралькина Е.A., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Петров А.К., Рухадзе A.A., Вавилин К.В.
    • в журнале Инженерная физика, № 11
  • • 2015 Параметры плазмы в ВЧ индуктивном двухкамерном источнике малой мощности при наличие внешнего магнитного поля
    • Петров А.К., Вавилин К.В., Козлов Г.П., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б.
    • в журнале Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия, издательство Изд-во Моск. ун-та (М.), № 6, с. 98-106
  • • 2014 Влияние эффекта Рамзауэра на частоту упругих столкновений в плазме индуктивного ВЧ разряда в инертных газах
    • Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Вавилин К.В.
    • в журнале Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия, издательство Изд-во Моск. ун-та (М.), № 1, с. 84-87
  • 
    • 2014 Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ источника плазмы диаметром 46 см. Часть II. Математическое моделирование параметров плазмы индуктивного и гибридного ВЧ-разрядов
    • Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 1, с. 9-11
  • • 2014 Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ разряде низкого давления
    • Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Вавилин К.В., Тараканов В.П.
    • в журнале Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия, издательство Изд-во Моск. ун-та (М.), № 1, с. 79-83
  • 
    • 2013 Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ-источника плазмы диаметром 46 см. Часть I. Параметры плазмы в области скин-слоя
    • Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 5, с. 34-37
  • 
    • 2013 Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда низкого давления с помощью программы KARAT
    • Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Тараканов В.П.
    • в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 5, с. 38 -41
  • • 2012 Влияние внешних параметров на особенности высокочастотного гибридного разряда низкого давления
    • Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао Ч.
    • в журнале Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия, издательство Изд-во Моск. ун-та (М.), № 1, с. 97-100
  • • 2012 Экспериментальное изучение параметров плазмы гибридного ВЧ-разряда низкого давления
    • Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао Ч.
    • в журнале Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия, издательство Изд-во Моск. ун-та (М.), № 1, с. 101-105
  • • 2011 Изучение закономерностей энерговклада в гибридный ВЧ-разряд низкого давления
    • Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао Ч.
    • в журнале Вестник Казанского технологического университета, том 14, № 13, с. 7-11

• Статьи в сборниках

  • • 2019 Physical Processes and Plasma Parameters in a Radio-Frequency Hybrid Plasma System for Thin-Film Production with Ion Assistance
    • Kralkina E., Alexandrov A.F., Nekludova P., Nikonov A., Pavlov V.B., Vavilin K., Odinokov V., Sologub V.
    • в сборнике Micromachining, место издания Intech Open London, с. 1-18 DOI

• Доклады на конференциях

  • • 2019 Параметры плазмы при совместном использовании индуктивного ВЧ разряда и разряда постоянного тока (Стендовый)
    • Авторы: Александров А.Ф., Вавилин К.В., Задириев И.И., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М.
    • XLVI МЕЖДУНАРОДНАЯ (ЗВЕНИГОРОДСКАЯ) КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ФИЗИКЕ ПЛАЗМЫ И УПРАВЛЯЕМОМУ ТЕРМОЯДЕРНОМУ СИНТЕЗУ, Звенигород, Россия, 18-22 марта 2019
  • • 2019 Поглощение мощности и волновая структура в индуктивном ВЧ источнике плазмы с внешним магнитным полем (Стендовый)
    • Авторы: Задириев И.И., Кралькина Е.А., Александров А.Ф., Вавилин К.В., Неклюдова П.А., Никонов А.М.
    • XLVI МЕЖДУНАРОДНАЯ (ЗВЕНИГОРОДСКАЯ) КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ФИЗИКЕ ПЛАЗМЫ И УПРАВЛЯЕМОМУ ТЕРМОЯДЕРНОМУ СИНТЕЗУ, Звенигород, Россия, 18-22 марта 2019
  • • 2018 ВЛИЯНИЕ ИОННОГО АССИСТИРОВАНИЯ НА ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА УГЛЕРОДНЫХ ПЛЁНОК, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ (Устный)
    • Авторы: Грушин М.А., Никонов А.М., Неклюдова П.А., Кралькина Е.А.
    • VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий", Казань, Россия, 5-8 ноября 2018
  • • 2018 Волновая структура, возбуждаемая в плазме цилиндрического индуктивного источника плазмы с внешним магнитным полем (Стендовый)
    • Авторы: Неклюдова П.А., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Никонов А.М.
    • XLV Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, Звенигород, Россия, 2-6 апреля 2018
  • • 2016 Formation of Nanosized Coatings in Hybrid Plasma Reactor Combining Magnetron or Arc Deposition with RF Plasma Assistance (Устный)
    • Авторы: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Айрапетов А.А., Сологуб В.А., Дюжев Н.А.
    • 3rd International Conference on Chemical and Material Engineering (ICCME 2016), Чейджу, Корея, Республика, 28-30 декабря 2016
  • • 2016 ВЛИЯНИЕ ПЛАЗМЫ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА НА СТРУКТУРУ ТОНКИХ ПЛЁНОК ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ (Устный)
    • Авторы: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
    • 23-я Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ – 2016», Россия, 7-9 июня 2016
  • • 2016 Гибридная плазменная система с источником геликонного разряда (Устный)
    • Авторы: Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Петров А.К., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
    • XI международная научно-техническая конференция «Вакуумная техника, материалы и технология», Москва, КВЦ «Сокольники», Россия, 12-14 апреля 2016
  • • 2016 Влияние внешних параметров на характеристики плазмы в гибридной плазменной системе, основанной на магнетронном и геликонном разрядах (Стендовый)
    • Авторы: Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Петров А.К., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Павлов Г.Я.
    • XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
  • • 2016 Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в двухкамерном ВЧ индуктивном источнике плазмы с внешним магнитным полем (Стендовый)
    • Авторы: Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Петров А.К., Вавулов О.Ю., Куликов С.В.
    • XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
  • • 2015 ВЧ разряд при атмосферном давлении и возможности его использования для поверхностной модификации материалов (Стендовый)
    • Авторы: Кралькина Е.А., Петров А.К., Павлов В.Б., Вавилин К.В., Неклюдова П.А.
    • VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий", Россия, 4-7 ноября 2015
  • • 2015 Гибридная плазменная система для магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием (Стендовый)
    • Авторы: Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Петров А.К., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
    • VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий", Россия, 4-7 ноября 2015
  • • 2015 ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ УСЛОВИЙ НА РАДИАЛЬНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ AR И СМЕСИ AR/O2 В ВЧ ИНДУКТИВНОМ ИСТОЧНИКЕ ПЛАЗМЫ ДИАМЕТРОМ 46 СМ (Стендовый)
    • Авторы: Александров А.Ф., Вавилин К.В., Козлов Г.П., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • XLII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 9-13 февраля 2015
  • • 2014 Механизмы управления рабочими характеристиками ВЧ технологических источников плазмы путем изменения внешних параметров разряда (Стендовый)
    • Авторы: Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 10 – 14 февраля 2014 г., г. Звенигород, 2014
  • • 2014 Резонансные свойства ВЧ разряда низкой мощности во внешнем магнитном поле
    • Авторы: Петров А.К., Никонов А.М., Козлов Г.П., Неклюдова П.А.
    • XV Школа молодых ученых «Актуальные проблемы физики», Москва, ФИАН, Россия, 2014
  • • 2013 HELICON ION SOURCE MODIFICATION
    • Авторы: Kralkina E.A., Petrov A.K., Pavlov V.B., Vavilin K.V., Nekhludova P.A.
    • 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
  • • 2013 Low pressure RF hybrid discharge (Стендовый)
    • Авторы: Nekhludova P.A., Petrov A.K., Zhao Ch, Alexandrov A.F., Vaviin K.V., Kralkina E.A., Pavlov V.B., Rukhadze A.A., Savinov V.P.
    • 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
  • • 2013 МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНДУКТИВНОГО ВЧ РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОМОШЬЮ ПРОГРАММЫ KARAT (Стендовый)
    • Авторы: Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Тараканов В.П.
    • XL Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, 2013
  • • 2013 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ ВЧ ИНДУКТИВНОГО ИСТОЧНИКА ПЛАЗМЫ ДИАМЕТРОМ 46СМ (Стендовый)
    • Авторы: Александров А.Ф., Вавилин К.В., Козлов Г.П., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б.
    • XL Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, 2013
  • • 2013 Влияние эффекта Рамзауэра на частоту упругих стокновений в плазме индуктивного разряда в инертных газах (Устный)
    • Авторы: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • Ломоносовские чтения - 2013. Секция физики, Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия, 15-19 апреля 2013
  • • 2013 Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ разряде низкого давления
    • Авторы: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • Ломоносовские чтения - 2013. Секция физики, Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия, 15-19 апреля 2013
  • • 2012 САМОСОГЛАСОВАННАЯ МОДЕЛЬ ГИБРИДНОГО ВЧ РАЗРЯДА Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао.Ч. (Стендовый)
    • Авторы: Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао Ч.
    • XXXIX Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 6 – 10 февраля 2012 г., Звенигород, 2012
  • • 2012 СРАВНЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИНДУКТИВНОГО И ГИБРИДНОГО ВЧ РАЗРЯДОВ (Стендовый)
    • Авторы: Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао Ч.
    • XXXIX Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 6 – 10 февраля 2012 г., Звенигород, 2012
  • • 2011 Изучение условий ускорения ионов в геликонном двигателе
    • Авторы: Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Петров А.К.
    • 10-ая международная конференция "Авиация и космонавтика - 2011", Москва, Россия, 2011
  • • 2011 ЗАКОНОМЕРНОСТИ ЭНЕРГОВКЛАДА В ИНДУКТИВНЫЙ ВЧ РАЗРЯД ПРИ ПЕРЕХОДЕ ОТ НЕЛОКАЛЬНОГО К ЛОКАЛЬНОМУ РЕЖИМУ ГОРЕНИЯ (Стендовый)
    • Авторы: Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Петров А.К., Турковская А.В., Чжао Ч.
    • XXXVIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 14-18 февраля 2011
  • • 2009 О возможности использования индуктивного разряда с емкостной компонентой в качестве рабочей среды высокочастотных источников плазмы
    • Авторы: Неклюдова П.А., Петров А.К., Турковская А.В.
    • III Всероссийская молодёжная школа-семинар с международным участием «ИННОВАЦИОННЫЕ АСПЕКТЫ ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ФИЗИКИ» 25–30 октября 2009 г., ФИАН, Москва, Россия, 2009

• Тезисы докладов

  • • 2016 ВЧ РАЗРЯД ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ И ВОЗМОЖНОСТИ ЕГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ДЛЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МОДИФИКАЦИИ МАТЕРИАЛОВ
    • Кралькина Е.А., Петров А.К., Павлов В.Б., Вавилин К.В., Неклюдова П.А.
    • в сборнике Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция: сборник статей, место издания Отечество Казань, тезисы, с. 175-178
  • • 2016 Влияние внешних параметров на характеристики плазмы в гибридной плазменной системе, основанной на магнетронном и геликонном разрядахдоклад на конференции XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Петров А.К., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Сологуб В.А., Павлов Г.Я.
    • в сборнике Сборник тезисов докладов. XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, место издания ЗАО НТЦ изд-во «ПЛАЗМАИОФАН» Москва, тезисы, с. 347-347
  • • 2016 Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в двухкамерном ВЧ индуктивном источнике плазмы с внешним магнитным полем.Сборник тезисов докладов XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС, стр. 332
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Петров А.К., Вавулов О.Ю., Куликов С.В.
    • в сборнике Сборник тезисов докладов. XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, место издания ЗАО НТЦ изд-во «ПЛАЗМАИОФАН» Москва, тезисы, с. 333-333
  • • 2016 ГИБРИДНАЯ ПЛАЗМЕННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С ИОННЫМ АССИСТИРОВАНИЕМ //
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Петров А.К., Никонов А.М., Павлов В.Б., Айрапетов А.А., Одиноков В.В., Павлов Г.Я., Сологуб В.А.
    • в сборнике Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция: сборник статей, место издания Отечество Казань, тезисы, с. 19-22
  • • 2015 Влияние внешних условий на радиальное распределение параметров плазмы Ar и смеси Ar/O2 в ВЧ идуктивном источнике плазмы
    • Александров А.Ф., Вавилин К.В., Козлов Г.П., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • в сборнике XLII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 9 – 13 февраля 2015 г, место издания ПЛАЗМАИОФАН г. Москва, тезисы, с. 360-360
  • • 2014 Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • в сборнике Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2014, место издания Казань, том 2, тезисы, с. 370-374
  • • 2014 Механизмы управления рабочими характеристиками ВЧ технологических источников плазмы путем изменения внешних параметров разряда
    • Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • в сборнике Тезисы докладов XLI Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, место издания ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва, тезисы, с. 278-278
  • • 2014 Резонансные свойства ВЧ разряда низкой мощности во внешнем магнитном поле
    • Петров А.К., Никонов А.М., Козлов Г.П., Неклюдова П.А.
    • в сборнике Сборник трудов XV школы молодых ученых «Актуальные проблемы физики», место издания Москва, тезисы, с. 199-199
  • 
    • 2013 Helicon Ion Source Modification
    • Petrov A.K., Kralkina E.A., Pavlov V.B., Vavilin K.V., Nekludova P.A.
    • в сборнике Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, место издания France, тезисы, с. 35-35
  • 
    • 2013 Low Pressure rf hybrid discharge
    • Alexandrov A.F., Vavilin K.V., Kralkina E.A., Pavlov V.B., Savinov V.P., Rukhadze A.A., Nekludova P.A., Petrov A.K., Zhao Ch
    • в сборнике Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, место издания France, тезисы, с. 22-22
  • 
    • 2013 Plasma parameters & rf power coupling mechanism to the low pressure rf inductive discharge
    • Alexandrov A.F., Kralkina E.A., Nekludova P.A., Pavlov V.B., Petrov A.K., Rukhadze A.A., Vavilin K.V.
    • в сборнике Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, место издания France, тезисы, с. 23-23
  • 
    • 2013 The self-consistent character of the rf inductive discharge
    • Alexandrov A.F., Kralkina E.A., Nekludova P.A., Pavlov V.B., Petrov A.K., Rukhadze A.A., Vavilin K.V.
    • в сборнике Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, место издания France, тезисы, с. 24-24
  • • 2013 Влияние эффекта Рамзауэра на частоту упругих столкновений в плазме индуктивного разряда в инертных газах
    • Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • в сборнике ЛОМОНОСОВСКИЕ ЧТЕНИЯ - 2013. СЕКЦИЯ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов, место издания М., Физический факультет МГУ, тезисы, с. 48-51
  • • 2013 Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда низкого давления с помощью программы KARAT
    • Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Тараканов В.П.
    • в сборнике Тезисы докладов XL международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, г. Звенигород, 11-15 февраля 2013г, место издания ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва, тезисы, с. 254-254
  • • 2013 ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ ВЧ ИНДУКТИВНОГО ИСТОЧНИКА ДИАМЕТРОМ 46СМ
    • Козлов Г.П., Неклюдова П.А., Никонов А.М.
    • в сборнике Сборник трудов V Всероссийской молодежной конференции по фундаментальным и инновационным вопросам современной физики, место издания Москва. ФИАН, тезисы, с. 173-173
  • • 2013 Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ разряде низкого давления
    • Кральника Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • в сборнике ЛОМОНОСОВСКИЕ ЧТЕНИЯ - 2013. СЕКЦИЯ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов, место издания М., Физический факультет МГУ, тезисы, с. 45-48
  • • 2013 Факторы, влияющие на пространственное распределение параметров плазмы ВЧ индуктивного разряда
    • Козлов Г.П., Неклюдова П.А., Никонов А.М.
    • в сборнике Сборник трудов V Всероссийской молодежной конференции по фундаментальным и инновационным вопросам современной физики, место издания Москва. ФИАН, тезисы, с. 174-174
  • • 2013 Экспериментальное исследование параметров плазмы ВЧ индуктивного источника плазмы диаметром 46 см
    • Александров А.Ф., Вавилин К.В., Козлов Г.П., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б.
    • в сборнике Тезисы докладов XL международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, г. Звенигород, 11-15 февраля 2013г, место издания ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва, тезисы, с. 255-255
  • • 2012 Advanced Ion and Plasma Sources for Materials Surface Engineering
    • Alexandrov A.F., Kralkina E.A., Nekludova P.A., Pavlov V.B., Petrov A.K., Vavilin K.V.
    • в сборнике Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Application and Properties (Proc. NAP 1), том 1, тезисы, с. 9-9
  • • 2012 О возможности получения группы ускоренных ионов на выходе из высокочастотного «геликонного» разряда
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Петров А.К.
    • в сборнике труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012, тезисы
  • • 2012 Параметры плазмы индуктивного ВЧ реактора диаметром 46см
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Тараканов В.П.
    • в сборнике тезисы докладов 11-ой международной конференции «Авиация и космонавтика - 2012»,, место издания Мастерская печати Санкт-Петербург, Россия, тезисы, с. 206-207
  • • 2012 Самосогласованная модель гибридного ВЧ разряда
    • Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао Ч.
    • в сборнике труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012, тезисы
  • • 2012 Сравнение параметров индуктивного и гибридного ВЧ разрядов
    • Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао Ч.
    • в сборнике труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012, тезисы
  • • 2011 Закономерности энерговклада в индуктивный ВЧ разряд при переходе от нелокального к локальному режиму горения
    • Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Петров А.К., Турковская А.В., Чжао Ч.
    • в сборнике труды XXXVIII Международной конференции по физике плазмы и УТС 2011, тезисы, с. 353-353
  • • 2011 Изучение закономерностей энерговклада в гибридный ВЧ разряд низкого давления
    • Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао Ч.
    • в сборнике материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011), место издания издательство Казанского государственного технологического университета Казань, тезисы, с. 87-89
  • • 2011 Изучение закономерностей энерговклада в индуктивный ВЧ разряд при переходе от нелокального к локальному режиму ввода ВЧ мощности
    • Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • в сборнике материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011), место издания издательство Казанского государственного технологического университета Казань, тезисы, с. 166-168
  • • 2011 Изучение условий ускорения ионов в геликонном двигателе
    • Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Петров А.К.
    • в сборнике тезисы докладов 10-ой международной конференции «Авиация и космонавтика - 2011», место издания СПб.: Мастерская печати, тезисы, с. 170-171
  • • 2011 Разработка высокоэффективного источника света на основе новой модификации высокочастотного разряда
    • Неклюдова П.А., Турковская А.В., Петров А.К.
    • в сборнике сборник трудов научно-практической конференции «Фундаментальные и прикладные аспекты инновационных проектов Физического факультета МГУ», место издания Типография МГУ Москва, тезисы, с. 144-145
  • • 2011 Разработка электроракетного двигателя на основе гибридного высокочастотного разряда
    • Павлов В.Б., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Гоморев М.А., Задириев И.И., Неклюдова П.А., Петров А.К.
    • в сборнике сборник трудов научно-практической конференции «Фундаментальные и прикладные аспекты инновационных проектов Физического факультета МГУ», место издания Типография МГУ Москва, тезисы, с. 92-93

• НИРы

  • • 1 июля 2016 - 30 июня 2019 Физические свойства плазмы в инновацион-ных гибридных технологических газораз-рядных системах, предназначенных для травления материалов и осаждения функци-ональных покрытий
    • Физический факультет
    • Руководитель: Неклюдова П.А.
  • • 1 января 2016 - 31 декабря 2025 Актуальные проблемы физики неравновесной плазмы
    • Физический факультет
    • Руководитель: Кузелев М.В. Участники НИР: Александров А.Ф., Беклешова В.Ф., Бурмистрова А.В., Бычков В.Л., Вавилин К.В., Вавилин К.В., Ваулин Д.Н., Двинин С.А., Задириев И.И., Злобин В.В., Калинин А.В., Калинин А.В., Карташов И.Н., Ковалевский В.Л., Колотинский Н.В., Кралькина Е.А., Красильникова Н.А., Логунов А.А., Неклюдова П.А., Орликовская Н.Г., Павлов В.Б., Паршинцев А.А., Петров А.К., Пополитова Д.В., Ружицкий В.И., Свиридкина В.С., Соловьев И.И., Сурконт О.С., Третьяков Н.Е., Черников В.А., Шибков В.М.
  • • 1 января 2016 - 31 декабря 2018 Физические особенности гибридного разряда, предназначенного для нанесения функциональных покрытий с ионным ассистированием
    • Физический факультет
    • Руководитель: Александров А.Ф. Участники НИР: Вавилин К.В., Задириев И.И., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б.
  • • 27 апреля 2015 - 30 ноября 2016 Отработка методик диагностики и проведение измерений характеристик плазмы геликонного разряда с оптимизацией параметров плазменных источников гибридной плазменной системы
    • Физический факультет
    • Руководитель: Кралькина Е.А. Участники НИР: Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Петров А.К.
  • • 27 апреля 2015 - 30 ноября 2016 Отработка методик диагностики и проведение измерений характеристик плазмы геликонного разряда с оптимизацией параметров плазменных источников гибридной плазменной системы
    • ОАО НИИТМ
    • Руководитель: Кралькина Е.А. Ответственный исполнитель: Неклюдова П.А. Участник НИР: Павлов В.Б.
  • • 20 сентября 2014 - 15 декабря 2014 Разработка программ моделирования структуры магнитных полей в плазменной зоне для оптимизации конструкции плазменных источников
    • Физический факультет
    • Руководитель: Двинин С.А. Участники НИР: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
  • • 1 января 2013 - 31 декабря 2015 Физические свойства ВЧ разряда низкого давления во внешнем радиальном магнитном поле
    • Физический факультет
    • Руководитель: Александров А.Ф. Участники НИР: Задириев И.И., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Петров А.К.
  • • 6 июля 2012 - 31 декабря 2013 Исследование гибридного ВЧ разряда как рабочей среды для создания потоков ионов низких энергий
    • Физический факультет
    • Руководитель: Неклюдова П.А. Участник НИР: Петров А.К.
  • • 20 ноября 2009 - 5 августа 2011 Исследование высокочастотного разряда низкого давления как рабочей среды плазменных и лучевых нанотехнологий
    • Кафедра физической электроники
    • Руководитель: Карташов И.Н. Участники НИР: Кралькина Е.А., Кузелев М.В., Неклюдова П.А., Орликовская Н.Г., Павлов В.Б.
  • • 1 января 2001 - 31 декабря 2015 Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
    • Физический факультет
    • Руководитель: Александров А.Ф. Участники НИР: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б., Петров А.К.

• Патенты

  • • 2018 Реактор для плазменной обработки полупроводниковых структур
    • Авторы: Павлов Г.Я., Сологуб В.А., Одиноков В.В., Бирюков М.Г., Айрапетов А.А., Павлов В.Б., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Петров А.К., Кралькина Е.А., Вавилин К.В., Карпенкова Е.В., Гусева Н.Б.
    • #2670249, 19 октября

• Отчеты

  • • 2016 ОТРАБОТКА МЕТОДИК ДИАГНОСТИКИ И ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАЗМЫ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА С ОПТИМИЗАЦИЕЙ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЕННЫХ ИСТОЧНИКОВ ГИБРИДНОЙ ПЛАЗМЕННОЙ СИСТЕМЫ
    • Авторы: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Никонов А.М., Павлов В.Б.
    • #53/15, 97 с.
  • • 2014 Физические свойства ВЧ разряда низкого давления во внешнем радиальном магнитном поле
    • Авторы: Александров Андрей Федорович, Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Задириев И.И., Кралькина Е.А., Петров А.К.
    • #13-02-01089 А
  • • 2014 Разработка программ моделирования структуры магнитных полей в плазменной зоне для оптимизации конструкции плазменных источников
    • Авторы: Двинин С.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • #1249, 129 с.
  • • 2014 Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
    • Авторы: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • #01200113168
  • • 2014 Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
    • Авторы: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • #01200113168, 4 с.
  • • 2014 Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
    • Авторы: Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
    • #01200113168

• Диссертация

  • • 2014 Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда
    • Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
    • Автор: Неклюдова П.А.
    • Научный руководитель: Кралькина Е.А., д.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Защищена в совете Д 501.001.66 при МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет