Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
отправить сообщение
Неклюдова Полина Алексеевна
пользователь
Прежние места работы
(Нажмите для отображения)
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение радиофизики
,
Кафедра физической электроники
, младший научный сотрудник, 1 августа 2012 - 30 июня 2017
Соавторы:
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Павлов В.Б.
,
Никонов А.М.
,
Петров А.К.
,
Александров А.Ф.
,
Задириев И.И.
,
Айрапетов А.А.
,
Сологуб В.А.
,
Гоморев М.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Чжао Ч.
показать полностью...
,
Козлов Г.П.
,
Рухадзе А.А.
,
Тараканов В.П.
,
Zhao C.
,
Павлова Г.А.
,
Турковская А.В.
,
RUKHADZE A.
,
Shibalov M.V.
,
Tarakanov V.P.
,
Verkholetov M.G.
,
Айрапетов А.А.
,
Вавилин К.В.
,
Вавулов О.Ю.
,
Грушин М.А.
,
Дюжев Н.А.
,
Евлашин С.А.
,
Зенова Е.В.
,
Козлов В.В.
,
Куликов С.В.
,
Одиноков В.В.
,
Одиноков В.В.
,
Савинов В.П.
,
Сологуб В.А.
,
Сологуб В.А.
39 статей
,
25 докладов на конференциях
,
29 тезисов докладов
,
10 НИР
,
1 патент
,
6 научных отчётов
,
1 диссертация
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 55, Scopus: 82
IstinaResearcherID (IRID): 2352616
Деятельность
Статьи в журналах
2022
Mutual influence of the channels in a combined discharge based on the RF inductive and DC discharges
Kralkina E.A.
,
Nekludova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Vavilin K.V.
,
Zadiriev I.I.
в журнале
Vacuum
, издательство
Elsevier Ltd
(London)
, том 198
DOI
2021
Dielectric properties investigation of a compound based on atomic layer deposited multi-layer structure
Mumlyakov A.M.,
Shibalov M.V.
, Trofimov I.V.,
Verkholetov M.G.
, Orlov A.P., Diudbin G.D.,
Evlashin S.A.
,
Nekludova P.A.
, Anufriev Yu V., Tagachenkov A.M.,
Zenova E.V.
, Tarkhov M.A.
в журнале
Journal of Alloys and Compounds
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 858, с. 157713
DOI
2021
Influence of external parameters on RF inductive discharge plasma characteristics
Kralkina Elena Alexandrovna
,
Nekliudova Polina
,
Nikonov Aleksandr
,
Vavilin Konstantine
,
ZADIRIEV Ilia
,
Tarakanov Vladimir P.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 30, № 11
DOI
2020
Experimental study of a low-pressure hybrid RF discharge
KRALKINA Elena
,
NEKLIUDOVA Polina
, PAVLOV Vladimir,
VAVILIN Konstantin
,
ZADIRIEV Ilya
,
ZHAO Chen
в журнале
Plasma Science and Technology
, издательство
Institute of Plasma Physics
(China)
, том 22, № 5
DOI
2019
Electric properties of carbon films deposited by magnetronsputtering with ion assistance
Grushin M.A.
,
Kral’kina E.A.
,
Neklyudova P.A.
,
Nikonov A.M.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, № 1328, с. 012029
2019
Optimization of discharge parameters in an inductive RF ion thruster prototype prototype/
Kralkina E.A.
,
Vavilin K.V.
,
Zadiriev I.I.
,
Nekliudova P.A.
, Shvydkiy G.V.
в журнале
Vacuum
, издательство
Elsevier Ltd
(London)
, том 167, с. 136-144
2019
Свойства титановых покрытий, полученных в магнетронном разряде при ионном ассистировании с помощью индуктивного ВЧ-разряда в магнитном поле
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 4, с. 41-46
2018
Effect of an External Magnetic Field on the Absorption Efficiency of the RF Power in a Spatially Bounded Inductive Plasma Source
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
,
Никонов А.М.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 44, с. 878-881
DOI
2018
Plasma Parameters in the Reactor with Simultaneous Magnetron Discharge and Inductive Radio-Frequency Discharge in the Presence of External Magnetic Field
Aleksandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kral’kina E.A.
,
Neklyudova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Airapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Pavlov G.Ya
,
Sologub V.A.
в журнале
Journal of Communications Technology and Electronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 63, № 4, с. 374-380
DOI
2018
RF power absorption by plasma of low pressure low power inductive discharge located in the external magnetic field
Kralkina E.A.
,
Rukhadze A.A.
,
Nekliudova P.A.
,
Pavlov V.B.
,
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
в журнале
AIP advances
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 8, с. 035217-035217
DOI
2018
Исследования комбинации индуктивного высокочастотного разряда и разряда постоянного тока
Неклюдова П.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
,
Никонов А.М.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 4, с. 18-23
2018
Параметры плазмы в реакторе, совмещающем магнетронный разряд и индуктивный высокочастотный разряд во внешнем магнитном поле
Александров А.Ф.
,
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в журнале
Радиотехника и электроника
, издательство
Наука
(М.)
, том 63, № 4, с. 364-371
2018
Поглощение мощности и волновая структура, возникающие в индуктивном высокочастотном источнике плазмы, помещенном в слабое внешнее магнитное поле
Никонов А.М.
,
Неклюдова П.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
в журнале
Успехи прикладной физики
, том 6, № 5, с. 390-400
2017
Features of RF low-pressure discharge with inductive and capacitive channels
Kralkina Elena
,
Nekludova Polina
,
Pavlov Vladimir
,
Petrov Alexander K.
,
Vavilin Konstantine
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 26, № 5, с. 055006
DOI
2017
Formation of nanosized coatings in hybrid plasma reactor combining magnetron or arc deposition with RF plasma assistance
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Сологуб В.А.
,
Айрапетов А.А.
,
Дюжев Н.А.
в журнале
Materials Science Forum
, издательство
TRANS TECH PUBLICATIONS LTD
(LAUBISRUTISTR 24, STAFA-ZUERICH,SWITZERLAND, CH-8712)
, том 900, с. 137-140
DOI
2017
Влияние внешнего магнитного поля на радиальное распределение ионного тока насыщения зонда в высокочастотном индуктивном источнике плазмы
Неклюдова П.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
,
Никонов А.М.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 3, с. 42-46
2017
Влияние внешнего магнитного поля на эффективность поглощения высокочастотной мощности в пространственно ограниченном индуктивном источнике плазмы
Неклюдова П.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
,
Никонов А.М.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 4, с. 27-31
2017
Особенности гибридного высокочастотного разряда низкого давления
Неклюдова П.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
,
Никонов А.М.
в журнале
Прикладная физика и математика
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Издательство Научтехлитиздат
(Москва)
, № 5, с. 25-33
2017
Особенности гибридного высокочастотного разряда низкого давления
Неклюдова П.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
, Никонов А.М.
в журнале
Прикладная физика и математика
, издательство
Общество с ограниченной ответственностью Издательство Научтехлитиздат
(Москва)
, № 5, с. 25-33
2016
Hybrid plasma system for magnetron deposition of coatings with ion assistance
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Nekludova P.A.
,
Petrov A.K.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Airapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Pavlov G.Ya
,
Sologub V.A.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 669, № 012033
DOI
2016
Influence of external conditions on physical processes and plasma parameters in a model of a high-frequency hybrid plasma system
Aleksandrov A.F.
,
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
,
Kral’kina E.A.
,
Neklyudova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Airapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Pavlov G.Ya
,
Sologub V.A.
в журнале
Russian Microelectronics
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 45, № 6, с. 433-441
DOI
2016
Investigation of the helicon discharge plasma parameters in a hybrid RF plasma system
Aleksandrov A.F.
,
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Neklyudova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
,
Ayrapetov A.A.
,
Odinokov V.V.
,
Sologub V.A.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 42, № 3, с. 290-292
DOI
2016
RF power absorption by plasma of a low-pressure inductive discharge
Kralkina E.A.
,
Rukhadze A.A.
,
Pavlov V.B.
,
Vavilin K.V.
,
Nekliudova P.A.
,
Petrov A.K.
,
Alexandrov A.F.
в журнале
Plasma Sources Science and Technology
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 25, № 1, с. 015016
DOI
2016
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в макете ВЧ гибридной плазменной системы
Александров А.Ф.
,
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в журнале
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. Физика плазмы
, том 45, № 6, с. 471-479
DOI
2016
Влияние плазмы геликонного разряда на структуру тонких пленок при магнетронном распылении
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
в журнале
Вакуумная техника и технология
, № №1
2016
Геликонный источник как элемент гибридной плазменной системы в установках для нанесения тонкопленочных покрытий с управляемой наноструктурой
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
в журнале
Наноиндустрия
, издательство
АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
(Москва)
, том 2, № 64, с. 74-86
2015
Plasma parameters in a dual-camera low-power inductive RF discharge with an external magnetic field
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
,
Kozlov G.P.
,
Kralkina E.A.
,
Nekliudova P.A.
,
Nikonov A.M.
,
Pavlov V.B.
в журнале
Moscow University Physics Bulletin
, издательство
Allerton Press
(New York, N.Y., United States)
, том 70, № 6, с. 527-535
DOI
2015
Исследование параметров плазмы «геликонного» разряда в макете ВЧ гибридной плазменной системы
Александров А.Ф.
,
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 3, с. 25-28
2015
ПОГЛОЩЕНИЯ ВЧ МОЩНОСТИ ПЛАЗМОЙ ИНДУКТИВНОГО РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
Александров A.Ф.
,
Кралькина Е.A.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Рухадзе A.A.
,
Вавилин К.В.
в журнале
Инженерная физика
, № 11
2015
Параметры плазмы в ВЧ индуктивном двухкамерном источнике малой мощности при наличие внешнего магнитного поля
Петров А.К.
,
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 6, с. 98-106
2014
Влияние эффекта Рамзауэра на частоту упругих столкновений в плазме индуктивного ВЧ разряда в инертных газах
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 1, с. 84-87
2014
Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ источника плазмы диаметром 46 см. Часть II. Математическое моделирование параметров плазмы индуктивного и гибридного ВЧ-разрядов
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 1, с. 9-11
2014
Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ разряде низкого давления
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
,
Тараканов В.П.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 1, с. 79-83
2013
Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ-источника плазмы диаметром 46 см. Часть I. Параметры плазмы в области скин-слоя
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 5, с. 34-37
2013
Математическое моделирование индуктивного ВЧ-разряда низкого давления с помощью программы KARAT
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Тараканов В.П.
в журнале
Прикладная физика
, издательство
[б.и.]
(М.)
, № 5, с. 38 -41
2012
Влияние внешних параметров на особенности высокочастотного гибридного разряда низкого давления
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 1, с. 97-100
2012
Экспериментальное изучение параметров плазмы гибридного ВЧ-разряда низкого давления
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в журнале
Вестник Московского университета. Серия 3: Физика, астрономия
, издательство
Изд-во Моск. ун-та
(М.)
, № 1, с. 101-105
2011
Изучение закономерностей энерговклада в гибридный ВЧ-разряд низкого давления
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в журнале
Вестник Казанского технологического университета
, том 14, № 13, с. 7-11
Статьи в сборниках
2019
Physical Processes and Plasma Parameters in a Radio-Frequency Hybrid Plasma System for Thin-Film Production with Ion Assistance
Kralkina E.
,
Alexandrov A.F.
,
Nekludova P.
,
Nikonov A.
,
Pavlov V.B.
,
Vavilin K.
, Odinokov V., Sologub V.
в сборнике
Micromachining
, место издания
Intech Open London
, с. 1-18
DOI
Доклады на конференциях
2019
Параметры плазмы при совместном использовании индуктивного ВЧ разряда и разряда постоянного тока
(Стендовый)
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Никонов А.М.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Задириев И.И.
XLVI МЕЖДУНАРОДНАЯ (ЗВЕНИГОРОДСКАЯ) КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ФИЗИКЕ ПЛАЗМЫ И УПРАВЛЯЕМОМУ ТЕРМОЯДЕРНОМУ СИНТЕЗУ
, Звенигород, Россия, 18-22 марта 2019
2019
Поглощение мощности и волновая структура в индуктивном ВЧ источнике плазмы с внешним магнитным полем
(Стендовый)
Авторы:
Задириев И.И.
,
Кралькина Е.А.
,
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
XLVI МЕЖДУНАРОДНАЯ (ЗВЕНИГОРОДСКАЯ) КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ФИЗИКЕ ПЛАЗМЫ И УПРАВЛЯЕМОМУ ТЕРМОЯДЕРНОМУ СИНТЕЗУ
, Звенигород, Россия, 18-22 марта 2019
2018
ВЛИЯНИЕ ИОННОГО АССИСТИРОВАНИЯ НА ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА УГЛЕРОДНЫХ ПЛЁНОК, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
(Устный)
Авторы:
Грушин М.А.
,
Никонов А.М.
,
Неклюдова П.А.
,
Кралькина Е.А.
VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий"
, Казань, Россия, 5-8 ноября 2018
2018
Волновая структура, возбуждаемая в плазме цилиндрического индуктивного источника плазмы с внешним магнитным полем
(Стендовый)
Авторы:
Неклюдова П.А.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Никонов А.М.
45 Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
, г. Звенигород Московской области, Россия, 2-6 апреля 2018
2016
Formation of Nanosized Coatings in Hybrid Plasma Reactor Combining Magnetron or Arc Deposition with RF Plasma Assistance
(Устный)
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Дюжев Н.А.
,
Айрапетов А.А.
,
Сологуб В.А.
,
Никонов А.М.
3rd International Conference on Chemical and Material Engineering (ICCME 2016)
, Чейджу, Корея, Республика, 28-30 декабря 2016
2016
ВЛИЯНИЕ ПЛАЗМЫ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА НА СТРУКТУРУ ТОНКИХ ПЛЁНОК ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ
(Устный)
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Сологуб В.А.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Павлов В.Б.
23-я Всероссийская научно-техническая конференция с международным участием «ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА и ТЕХНОЛОГИИ – 2016»
, Россия, 7-9 июня 2016
2016
Гибридная плазменная система с источником геликонного разряда
(Устный)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
XI международная научно-техническая конференция «Вакуумная техника, материалы и технология»
, Москва, КВЦ «Сокольники», Россия, 12-14 апреля 2016
2016
Влияние внешних параметров на характеристики плазмы в гибридной плазменной системе, основанной на магнетронном и геликонном разрядах
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
2016
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в двухкамерном ВЧ индуктивном источнике плазмы с внешним магнитным полем
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Куликов С.В.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Вавулов О.Ю.
,
Никонов А.М.
XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
2015
ВЧ разряд при атмосферном давлении и возможности его использования для поверхностной модификации материалов
(Стендовый)
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Петров А.К.
,
Неклюдова П.А.
,
Вавилин К.В.
,
Павлов В.Б.
VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий"
, Россия, 4-7 ноября 2015
2015
Гибридная плазменная система для магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
,
Кралькина Е.А.
VII Всероссийская (с международным участием) конференция "Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий"
, Россия, 4-7 ноября 2015
2015
ВЛИЯНИЕ ВНЕШНИХ УСЛОВИЙ НА РАДИАЛЬНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ AR И СМЕСИ AR/O2 В ВЧ ИНДУКТИВНОМ ИСТОЧНИКЕ ПЛАЗМЫ ДИАМЕТРОМ 46 СМ
(Стендовый)
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
XLII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 9-13 февраля 2015
2014
Механизмы управления рабочими характеристиками ВЧ технологических источников плазмы путем изменения внешних параметров разряда
(Стендовый)
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 10 – 14 февраля 2014 г.
, г. Звенигород, 2014
2014
Резонансные свойства ВЧ разряда низкой мощности во внешнем магнитном поле
Авторы:
Петров А.К.
,
Неклюдова П.А.
,
Козлов Г.П.
,
Никонов А.М.
XV Школа молодых ученых "Актуальные проблемы физики"
, Москва, ФИАН, 16-20 нября 2014, стр.21, Россия, 2014
2013
HELICON ION SOURCE MODIFICATION
Авторы:
Kralkina E.A.
,
Petrov A.K.
,
Pavlov V.B.
,
Vavilin K.V.
,
Nekhludova P.A.
4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
2013
Low pressure RF hybrid discharge
(Стендовый)
Авторы:
Nekhludova P.A.
,
Petrov A.K.
,
Zhao Ch
,
Alexandrov A.F.
,
Vaviin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Rukhadze A.A.
,
Savinov V.P.
4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
2013
МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНДУКТИВНОГО ВЧ РАЗРЯДА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОМОШЬЮ ПРОГРАММЫ KARAT
(Стендовый)
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Тараканов В.П.
40 Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС
, г. Звенигород Московской области, 2013
2013
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ ВЧ ИНДУКТИВНОГО ИСТОЧНИКА ПЛАЗМЫ ДИАМЕТРОМ 46СМ
(Стендовый)
Авторы:
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
40 Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС
, г. Звенигород Московской области, 2013
2013
Влияние эффекта Рамзауэра на частоту упругих стокновений в плазме индуктивного разряда в инертных газах
(Устный)
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
Ломоносовские чтения - 2013. Секция физики
, Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия, 15-19 апреля 2013
2013
Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ разряде низкого давления
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
,
Неклюдова П.А.
Ломоносовские чтения - 2013. Секция физики
, Физический факультет МГУ имени М.В. Ломоносова, Россия, 15-19 апреля 2013
2012
САМОСОГЛАСОВАННАЯ МОДЕЛЬ ГИБРИДНОГО ВЧ РАЗРЯДА Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао.Ч.
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
XXXIX Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 6 – 10 февраля 2012 г.
, Звенигород, Россия, 2012
2012
СРАВНЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИНДУКТИВНОГО И ГИБРИДНОГО ВЧ РАЗРЯДОВ
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Чжао Ч.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Кралькина Е.А.
XXXIX Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 6 – 10 февраля 2012 г.
, Звенигород, Россия, 2012
2011
Изучение условий ускорения ионов в геликонном двигателе
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Петров А.К.
,
Павлов В.Б.
,
Неклюдова П.А.
10-ая международная конференция "Авиация и космонавтика - 2011"
, Москва, Россия, 2011
2011
ЗАКОНОМЕРНОСТИ ЭНЕРГОВКЛАДА В ИНДУКТИВНЫЙ ВЧ РАЗРЯД ПРИ ПЕРЕХОДЕ ОТ НЕЛОКАЛЬНОГО К ЛОКАЛЬНОМУ РЕЖИМУ ГОРЕНИЯ
(Стендовый)
Авторы:
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Турковская А.В.
,
Чжао Ч.
XXXVIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 2011
, Звенигород, Россия, 14-18 февраля 2011
2009
О возможности использования индуктивного разряда с емкостной компонентой в качестве рабочей среды высокочастотных источников плазмы
Авторы:
Неклюдова П.А.
,
Турковская А.В.
,
Петров А.К.
III Всероссийская молодёжная школа-семинар с международным участием «ИННОВАЦИОННЫЕ АСПЕКТЫ ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ПО АКТУАЛЬНЫМ ПРОБЛЕМАМ ФИЗИКИ» 25–30 октября 2009 г.
, ФИАН, Москва, Россия, 2009
Тезисы докладов
2016
ВЧ РАЗРЯД ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ И ВОЗМОЖНОСТИ ЕГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ДЛЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МОДИФИКАЦИИ МАТЕРИАЛОВ
Кралькина Е.А.
,
Петров А.К.
,
Павлов В.Б.
,
Вавилин К.В.
,
Неклюдова П.А.
в сборнике
Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция: сборник статей
, место издания
Отечество Казань
, тезисы, с. 175-178
2016
Влияние внешних параметров на характеристики плазмы в гибридной плазменной системе, основанной на магнетронном и геликонном разрядахдоклад на конференции XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Сологуб В.А.
,
Павлов Г.Я.
в сборнике
Сборник тезисов докладов. XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
, место издания
ЗАО НТЦ изд-во «ПЛАЗМАИОФАН» Москва
, тезисы, с. 347-347
2016
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы в двухкамерном ВЧ индуктивном источнике плазмы с внешним магнитным полем.Сборник тезисов докладов XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и УТС, стр. 332
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Вавулов О.Ю.
,
Куликов С.В.
в сборнике
Сборник тезисов докладов. XLIII Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
, место издания
ЗАО НТЦ изд-во «ПЛАЗМАИОФАН» Москва
, тезисы, с. 333-333
2016
ГИБРИДНАЯ ПЛАЗМЕННАЯ СИСТЕМА ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С ИОННЫМ АССИСТИРОВАНИЕМ //
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Айрапетов А.А.
,
Одиноков В.В.
,
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
в сборнике
Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий. VII Всероссийская (с международным участием) научно-техническая конференция: сборник статей
, место издания
Отечество Казань
, тезисы, с. 19-22
2015
Влияние внешних условий на радиальное распределение параметров плазмы Ar и смеси Ar/O2 в ВЧ идуктивном источнике плазмы
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
XLII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 9 – 13 февраля 2015 г
, место издания
ПЛАЗМАИОФАН г. Москва
, тезисы, с. 360-360
2014
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
Всероссийская (с международным участием) конференция «Физика низкотемпературной плазмы» ФНТП-2014
, место издания
Казань
, том 2, тезисы, с. 370-374
2014
Механизмы управления рабочими характеристиками ВЧ технологических источников плазмы путем изменения внешних параметров разряда
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
Тезисы докладов XLI Международной Звенигородской конференции по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу
, место издания
ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва
, тезисы, с. 278-278
2014
Резонансные свойства ВЧ разряда низкой мощности во внешнем магнитном поле
Петров А.К.
,
Никонов А.М.
,
Козлов Г.П.
,
Неклюдова П.А.
в сборнике
Сборник трудов XV школы молодых ученых «Актуальные проблемы физики»
, место издания
Москва
, тезисы, с. 199-199
2013
Helicon Ion Source Modification
Petrov A.K.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Vavilin K.V.
,
Nekludova P.A.
в сборнике
Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, место издания
France
, тезисы, с. 35-35
2013
Low Pressure rf hybrid discharge
Alexandrov A.F.
,
Vavilin K.V.
,
Kralkina E.A.
,
Pavlov V.B.
,
Savinov V.P.
,
Rukhadze A.A.
,
Nekludova P.A.
,
Petrov A.K.
,
Zhao Ch
в сборнике
Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, место издания
France
, тезисы, с. 22-22
2013
Plasma parameters & rf power coupling mechanism to the low pressure rf inductive discharge
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Nekludova P.A.
,
Pavlov V.B.
,
Petrov A.K.
,
Rukhadze A.A.
,
Vavilin K.V.
в сборнике
Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, место издания
France
, тезисы, с. 23-23
2013
The self-consistent character of the rf inductive discharge
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Nekludova P.A.
,
Pavlov V.B.
,
Petrov A.K.
,
Rukhadze A.A.
,
Vavilin K.V.
в сборнике
Book of Abstracts 4th Workshop on Radio Frequency Discharges
, место издания
France
, тезисы, с. 24-24
2013
Влияние эффекта Рамзауэра на частоту упругих столкновений в плазме индуктивного разряда в инертных газах
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
ЛОМОНОСОВСКИЕ ЧТЕНИЯ - 2013. СЕКЦИЯ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов
, место издания
М., Физический факультет МГУ
, тезисы, с. 48-51
2013
Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда низкого давления с помощью программы KARAT
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Тараканов В.П.
в сборнике
Тезисы докладов XL международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, г. Звенигород, 11-15 февраля 2013г
, место издания
ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва
, тезисы, с. 254-254
2013
ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ ВЧ ИНДУКТИВНОГО ИСТОЧНИКА ДИАМЕТРОМ 46СМ
Козлов Г.П.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
в сборнике
Сборник трудов V Всероссийской молодежной конференции по фундаментальным и инновационным вопросам современной физики
, место издания
Москва. ФИАН
, тезисы, с. 173-173
2013
Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ разряде низкого давления
Кральника Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
ЛОМОНОСОВСКИЕ ЧТЕНИЯ - 2013. СЕКЦИЯ ФИЗИКИ. Сборник тезисов докладов
, место издания
М., Физический факультет МГУ
, тезисы, с. 45-48
2013
Факторы, влияющие на пространственное распределение параметров плазмы ВЧ индуктивного разряда
Козлов Г.П.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
в сборнике
Сборник трудов V Всероссийской молодежной конференции по фундаментальным и инновационным вопросам современной физики
, место издания
Москва. ФИАН
, тезисы, с. 174-174
2013
Экспериментальное исследование параметров плазмы ВЧ индуктивного источника плазмы диаметром 46 см
Александров А.Ф.
,
Вавилин К.В.
,
Козлов Г.П.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
Тезисы докладов XL международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, г. Звенигород, 11-15 февраля 2013г
, место издания
ЗАО НТЦ "ПЛАЗМАИОФАН" Москва
, тезисы, с. 255-255
2012
Advanced Ion and Plasma Sources for Materials Surface Engineering
Alexandrov A.F.
,
Kralkina E.A.
,
Nekludova P.A.
,
Pavlov V.B.
,
Petrov A.K.
,
Vavilin K.V.
в сборнике
Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Application and Properties (Proc. NAP 1)
, том 1, тезисы, с. 9-9
2012
О возможности получения группы ускоренных ионов на выходе из высокочастотного «геликонного» разряда
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
в сборнике
труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012
, тезисы
2012
Параметры плазмы индуктивного ВЧ реактора диаметром 46см
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
, Тараканов В.П.
в сборнике
тезисы докладов 11-ой международной конференции «Авиация и космонавтика - 2012»,
, место издания
Мастерская печати Санкт-Петербург, Россия
, тезисы, с. 206-207
2012
Самосогласованная модель гибридного ВЧ разряда
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в сборнике
труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012
, тезисы
2012
Сравнение параметров индуктивного и гибридного ВЧ разрядов
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в сборнике
труды XXXIX Международной конференции по физике плазмы и УТС 2012
, тезисы
2011
Закономерности энерговклада в индуктивный ВЧ разряд при переходе от нелокального к локальному режиму горения
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
,
Турковская А.В.
,
Чжао Ч.
в сборнике
труды XXXVIII Международной конференции по физике плазмы и УТС 2011
, тезисы, с. 353-353
2011
Изучение закономерностей энерговклада в гибридный ВЧ разряд низкого давления
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Чжао Ч.
в сборнике
материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011)
, место издания
издательство Казанского государственного технологического университета Казань
, тезисы, с. 87-89
2011
Изучение закономерностей энерговклада в индуктивный ВЧ разряд при переходе от нелокального к локальному режиму ввода ВЧ мощности
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
в сборнике
материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011)
, место издания
издательство Казанского государственного технологического университета Казань
, тезисы, с. 166-168
2011
Изучение условий ускорения ионов в геликонном двигателе
Вавилин К.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
в сборнике
тезисы докладов 10-ой международной конференции «Авиация и космонавтика - 2011»
, место издания
СПб.: Мастерская печати
, тезисы, с. 170-171
2011
Разработка высокоэффективного источника света на основе новой модификации высокочастотного разряда
Неклюдова П.А.
,
Турковская А.В.
,
Петров А.К.
в сборнике
сборник трудов научно-практической конференции «Фундаментальные и прикладные аспекты инновационных проектов Физического факультета МГУ»
, место издания
Типография МГУ Москва
, тезисы, с. 144-145
2011
Разработка электроракетного двигателя на основе гибридного высокочастотного разряда
Павлов В.Б.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Гоморев М.А.
,
Задириев И.И.
,
Неклюдова П.А.
,
Петров А.К.
в сборнике
сборник трудов научно-практической конференции «Фундаментальные и прикладные аспекты инновационных проектов Физического факультета МГУ»
, место издания
Типография МГУ Москва
, тезисы, с. 92-93
НИРы
1 июля 2016 - 30 июня 2019
Физические свойства плазмы в инновацион-ных гибридных технологических газораз-рядных системах, предназначенных для травления материалов и осаждения функци-ональных покрытий
Физический факультет
Руководитель:
Неклюдова П.А.
1 января 2016 - 31 декабря 2025
Актуальные проблемы физики неравновесной плазмы
Физический факультет
Руководитель:
Кузелев М.В.
Участники НИР:
Александров А.Ф.
,
Беклешова В.Ф.
,
Бурмистрова А.В.
,
Бычков В.Л.
,
Вавилин К.В.
,
Вавилин К.В.
,
Ваулин Д.Н.
,
Двинин С.А.
,
Задириев И.И.
,
Злобин В.В.
,
Калинин А.В.
,
Калинин А.В.
,
Карташов И.Н.
,
Ковалевский В.Л.
,
Колотинский Н.В.
,
Кралькина Е.А.
,
Красильникова Н.А.
,
Логунов А.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Орликовская Н.Г.
,
Павлов В.Б.
,
Паршинцев А.А.
,
Петров А.К.
,
Пополитова Д.В.
,
Ружицкий В.И.
,
Свиридкина В.С.
,
Соловьев И.И.
,
Сурконт О.С.
,
Третьяков Н.Е.
,
Черников В.А.
,
Шибков В.М.
1 января 2016 - 31 декабря 2018
Физические особенности гибридного разряда, предназначенного для нанесения функциональных покрытий с ионным ассистированием
Физический факультет
Руководитель:
Александров А.Ф.
Участники НИР:
Вавилин К.В.
,
Задириев И.И.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
27 апреля 2015 - 30 ноября 2016
Отработка методик диагностики и проведение измерений характеристик плазмы геликонного разряда с оптимизацией параметров плазменных источников гибридной плазменной системы
Физический факультет
Руководитель:
Кралькина Е.А.
Участники НИР:
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
27 апреля 2015 - 30 ноября 2016
Отработка методик диагностики и проведение измерений характеристик плазмы геликонного разряда с оптимизацией параметров плазменных источников гибридной плазменной системы
ОАО НИИТМ
Руководитель:
Кралькина Е.А.
Ответственный исполнитель:
Неклюдова П.А.
Участник НИР:
Павлов В.Б.
20 сентября 2014 - 15 декабря 2014
Разработка программ моделирования структуры магнитных полей в плазменной зоне для оптимизации конструкции плазменных источников
Физический факультет
Руководитель:
Двинин С.А.
Участники НИР:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
1 января 2013 - 31 декабря 2015
Физические свойства ВЧ разряда низкого давления во внешнем радиальном магнитном поле
Физический факультет
Руководитель:
Александров А.Ф.
Участники НИР:
Задириев И.И.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
6 июля 2012 - 31 декабря 2013
Исследование гибридного ВЧ разряда как рабочей среды для создания потоков ионов низких энергий
Физический факультет
Руководитель:
Неклюдова П.А.
Участник НИР:
Петров А.К.
20 ноября 2009 - 5 августа 2011
Исследование высокочастотного разряда низкого давления как рабочей среды плазменных и лучевых нанотехнологий
Кафедра физической электроники
Руководитель:
Карташов И.Н.
Участники НИР:
Кралькина Е.А.
,
Кузелев М.В.
,
Неклюдова П.А.
,
Орликовская Н.Г.
,
Павлов В.Б.
1 января 2001 - 31 декабря 2015
Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
Физический факультет
Руководитель:
Александров А.Ф.
Участники НИР:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
,
Петров А.К.
Патенты
2018
Реактор для плазменной обработки полупроводниковых структур
Авторы:
Павлов Г.Я.
,
Сологуб В.А.
,
Одиноков В.В.
,
Бирюков М.Г.
,
Айрапетов А.А.
,
Павлов В.Б.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Петров А.К.
,
Кралькина Е.А.
,
Вавилин К.В.
,
Карпенкова Е.В.
, Гусева Н.Б.
#2670249, 19 октября
Отчеты
2016
ОТРАБОТКА МЕТОДИК ДИАГНОСТИКИ И ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАЗМЫ ГЕЛИКОННОГО РАЗРЯДА С ОПТИМИЗАЦИЕЙ ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЕННЫХ ИСТОЧНИКОВ ГИБРИДНОЙ ПЛАЗМЕННОЙ СИСТЕМЫ
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Никонов А.М.
,
Павлов В.Б.
#53/15, 97 с.
2014
Физические свойства ВЧ разряда низкого давления во внешнем радиальном магнитном поле
Авторы:
Александров Андрей Федорович
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
,
Задириев И.И.
,
Кралькина Е.А.
,
Петров А.К.
#13-02-01089 А
2014
Разработка программ моделирования структуры магнитных полей в плазменной зоне для оптимизации конструкции плазменных источников
Авторы:
Двинин С.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
#1249, 129 с.
2014
Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
#01200113168
2014
Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
#01200113168
2014
Фундаментальные основы плазменных и лучевых технологий и современных методов исследования в физике
Авторы:
Кралькина Е.А.
,
Неклюдова П.А.
,
Павлов В.Б.
#01200113168, 4 с.
Диссертация
2014
Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда
Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
Автор:
Неклюдова П.А.
Научный руководитель:
Кралькина Е.А.
, д.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
Защищена в совете
Д 501.001.66
при МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет