Proc. of the SPIE –The Int.Soc.for Optics Engineeringсборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• 
  • 1999 Experimental study and computer simulation of AlN and BN sputtering
  • Elovikov S.S., Zykova E.Y., Promokhov A.A., Yurasova V.E.
  • в сборнике Proc. of the SPIE –The Int.Soc.for Optics Engineering, том 3687, с. 268-273