Тезисы докладов объединённой конференции “Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике”сборник
-
Год издания:
2021
-
Место издания:
ИПТМ РАН г. Черноголовка
-
ISBN:
978-5-6044546-4-0
-
Сборник тезисов
-
Добавил в систему:
Бушуев Владимир Алексеевич
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
-
2021
Микроструктуры на основе регулярных трековых мембран и их нелинейно-оптическая диагностика
-
Асадчиков В.Е.,
Бедин С.А.,
Васильев А.Б.,
Гордиенко В.М.,
Дьячкова И.Г.,
Минаев Н.В.,
Назьмов В.П.,
Андреев А.В.,
Коновко А.А.,
Потемкин Ф.В.,
Мигаль Е.А.
-
в сборнике Тезисы докладов объединённой конференции “Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике”, место издания ИПТМ РАН г. Черноголовка, тезисы, с. 228-230
-
-
-