Физические и физико-химические основы ионной имплантации: Тезисы докладов VI Всероссийской конференции молодых ученых и специалистов (Нижний Новгород, 24-27 октября 2016 г.)сборник
Год издания:2016
Место издания:Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского Н. Новгород