Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2017). Book of abstracts. October 20–21, 2017, Leuven, Belgiumсборник

Статьи, опубликованные в сборнике Экспорт в BibTeX стиль:  обычный | ГОСТ | plain | abbrv | acm | alpha | amsalpha | amsplain | apalike | ieeetr | siam