Прогрессивные методы конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры, Труды МВТУжурнал

Статьи, опубликованные в журнале

---

• • 1986 Технологическая диагностика финишного химико-механического полирования методом акустической эмиссии
  • Барзов А.А., Скворцов К.Ф., Удальцов Е.В.
  • в журнале Прогрессивные методы конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры, Труды МВТУ, № 455