INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2014сборник
-
Год издания:
2014
-
Серия:
Proceedings of SPIE
-
Том:
9440
-
Место издания:
SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Gromov, D.; Borgardt, N.; Grishina, Y.; Dubkov, S.] Natl Res Univ Elect Technol, Moscow, Russia. [Dedkova, A.] Sci Technol Ctr Nano & Microsyst Tech, Moscow, Russia
-
Добавил в систему:
Дедкова Анна Александровна
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2014
Study of growth kinetics of amorphous carbon nanopillars formed by PECVD
-
Gromov D.,
Borgardt N.,
Grishina Y.,
Dedkova A.,
Kirilenko E.,
Dubkov S.
-
в сборнике INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2014, серия Proceedings of SPIE, место издания SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Gromov, D.; Borgardt, N.; Grishina, Y.; Dubkov, S.] Natl Res Univ Elect Technol, Moscow, Russia. [Dedkova, A.] Sci Technol Ctr Nano & Microsyst Tech, Moscow, Russia, том 9440
DOI