Уваев А.Г. - сотрудник | ИСТИНА – Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

В связи с техническими работами в центре обработки данных, возможность загрузки и скачивания файлов временно недоступна.

скрыть

Уваев А.Г.

Соавторы: Гайдукова И.С., Козлов А.Н., Филачев А.М., Щербаков А.В.

1 статья

IstinaResearcherID (IRID): 87636393

Деятельность

Статьи в журналах
- - 2006 Вакуумное технологическое оборудование для производства изделий микрофотоэлектроники
  - Козлов А.Н., Гайдукова И.С., Уваев А.Г., Щербаков А.В., Филачев А.М.
  - в журнале Прикладная физика, издательство [б.и.] (М.), № 3, с. 32-37