Области научных интересов
Ключевые слова: Взаимодействие ионов с поверхностью; метастабильные формы углерода; микроэлектроника / Interaction of ions with the surface; metastable forms of carbon; microelectronics
Ключевые слова
Ионная стимуляция процессов на поверхности Синтез новых форм углерода Твердотельная и эмиссионная электроника