/
Ключевые слова: высокоэнтропийные сплавы; тонкоплёночные покрытия; электронная микроскопия; электронные материалы; термоэлектрические свойства; наноструктуры; магнетронное напыление / high-entropy alloys; thin films; electron microscopy; electronic materials; thermoelectric properties; nanostructures; magnetron sputtering
высокоэнтропийные сплавы, тонкоплёночные покрытия, электронная микроскопия, электронные материалы, термоэлектрические свойства, наноструктуры, магнетронное напыление
high-entropy alloys, thin films, electron microscopy, electronic materials, thermoelectric properties, nanostructures, magnetron sputtering