–
Доклады на научных конференциях
-
- 2010 Оптимизация масок в фотолитографии с двухстадийным экспонированием
- Авторы: Белокопытов Г.В., Боголюбов А.Н., Поройкова А.А.
- VI международный оптический конгресс “Оптика – XXI век” VI Конференция «Фундаментальные проблемы оптики» ФПО-2010 VI International Conference «Basic Problems of Optics» BPO 10, Санкт-Петербург, Россия, 2010
-
- 2009 Спектральная методика расчета и коррекции изображений бинарных масок в фотолитографии (Стендовый)
- Авторы: Поройкова А.А., Рыжикова Ю.В.
- 6-ая международная конференция молодых ученых и специалистов “Оптика-2009”, Санкт-Петербург, Россия, Россия, 2009