–
Доклады на научных конференциях
-
- 2023 Technological approaches for formation of high-density integral capacitors: deep etching and atomic layer deposition (Устный)
- Авторы: Miakonkikh A., Pankratov S., Kuzmenko V., Rudenko K.
- 15th International Conference "Micro- and Nanoelectronics – 2023" (ICMNE–2023), Звенигород, Россия, 2-6 октября 2023
-
- 2021 Investigation of plasma resistance of the HSQ electronic resist for prototyping of nanoelectronic devices (Устный)
- Авторы: Myakonkikh A., Shishlyannikov A., Tatarintsev A., Kuzmenko V.O., Rudenko K., Gornev E.
- ICMNE-2021, г. Звенигород, РФ, Россия, 4-8 октября 2021