ИСТИНА

Hakii H.

Соавторы: Babin S., Nishiyama Y., Yonekura I., Борисов С.С.

2 статьи

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 8, Scopus: 18

IstinaResearcherID (IRID): 3851447

Деятельность

• Статьи в сборниках

  • 
    • 2012 CD-Metrology of EUV masks in the presence of charging: measurement and simulation
    • Babin S., Borisov S., Hakii H., Nishiyama Y., Yonekura I.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 844108 DOI
  • 
    • 2012 CD-Metrology of EUV masks in the presence of charging: measurement and simulation
    • Babin S., Borisov S., Hakii H., Nishiyama Y., Yonekura I.
    • в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 844108 DOI