ИСТИНА

Малыхин Е.М.

Соавторы: Кленов Н.В., Красильников С.С., Крылова Е.А., Олеванов М.А., Попов А.М., Тихонова О.В., Шорохов В.В.

1 книга, 1 НИР, 1 диссертация

IstinaResearcherID (IRID): 3251316

Деятельность

• Книги

  • • 2010 Сборник задач по атомной физике
    • Кленов Н.В., Красильников С.С., Крылова Е.А., Малыхин Е.М., Олеванов М.А., Попов А.М., Тихонова О.В., Шорохов В.В.
    • место издания Издательство физического факультета МГУ имени М.В. Ломоносова Москва, ISBN 978-5-8279-0082-5, 216 с.

• НИРы

  • • 1 января 2008 - 31 декабря 2010 Исследование процессов в плазме многочастотных емкостных разрядов при масштабировании по мощности и размерам плазменных реакторов третьего поколения для наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Малыхин Е.М., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.

• Диссертация

  • • 2011 Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального Уф (13.5 нм)
    • Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
    • Автор: Малыхин Е.М.
    • Научный руководитель: Рахимов А.Т., д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Защищена в совете Д 501.001.45 при МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына