Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
and Lednev A.M.
Соавторы:
Drenin A.S.
,
Skryleva E.
,
Лагов П.Б.
,
Масловский В.М.
,
Павлов Ю.С.
,
Роговский Е.С.
1 тезисы доклада
IstinaResearcherID (IRID): 123488871
Деятельность
Тезисы докладов
2018
High-rate high-density ICP etching of germanium
Lagov P.B.
,
Maslovsky V.M.
,
Pavlov Yu S.
,
Rogovsky E.S.
,
Drenin A.S.
,
Skryleva E.A.
,
and Lednev A.M.
в сборнике
XII-th International Conference Ion Implantation And Other Applications Of Ions And Electrons 18–21 June 2018
, место издания
Kazimierz Dolny, Poland
, тезисы, с. 107-107