ИСТИНА

and Lednev A.M.

Соавторы: Drenin A.S., Skryleva E., Лагов П.Б., Масловский В.М., Павлов Ю.С., Роговский Е.С.

1 тезисы доклада

IstinaResearcherID (IRID): 123488871

Деятельность

• Тезисы докладов

  • 
    • 2018 High-rate high-density ICP etching of germanium
    • Lagov P.B., Maslovsky V.M., Pavlov Yu S., Rogovsky E.S., Drenin A.S., Skryleva E.A., and Lednev A.M.
    • в сборнике XII-th International Conference Ion Implantation And Other Applications Of Ions And Electrons 18–21 June 2018, место издания Kazimierz Dolny, Poland, тезисы, с. 107-107