ИСТИНА

Объектом исследования являются теоретические основы описания взаимодействия рентгеновского излучения с шероховатой поверхностью. Цель работы — разработка методики контроля параметров шероховатости плоских поверхностей с использованием методов рентгеновской рефлектометрии. Основная часть отчета состоит из трех разделов. В первом разделе описан проведенный анализ современных методов контроля параметров шероховатости плоских поверхностей по результатам открытых источников. Проводится сравнение существующих подходов к описанию рассеяния рентгеновских лучей и обоснован выбор теории, применявшейся при разработке методики контроля шероховатости сверхгладких поверхностей. Второй раздел содержит описание методов проведения эксперимента и программного обеспечения для обработки его результатов для анализа шероховатости плоских поверхностей. Даны рекомендации по созданию программного обеспечения для обработки результатов измерения индикатрис рассеяния. В третьем разделе описана разработка метода количественного сопоставления данных рентгеновского рассеяния с результатами атомно-силовых измерений. В результате исследования теоретически обоснованы и экспериментально подтверждены преимущества теории возмущений для определения параметров шероховатости поверхности методом рентгеновского рассеяния.