ИСТИНА

В настоящем отчёте содержатся материалы по разработке конструкции установки по созданию локальной чистой зоны для микроэлектронного производства. Описана методика и приведены результаты численного моделирования течения внутри основного элемента установки - формирующего устройства. Проведен анализ используемой технологии изготовления формирующего устройства и даны рекомендации по её улучшению. Дано описание экспериментальной установки, методики экспериментов и приведены результаты экспериментальных исследований течения за формирующим устройством. Испытания на газодинамическом стенде лаборатории экспериментальной гидродинамики НИИ механики МГУ показали, что с помощью разработанного устройства формируется ламинарная затопленная струя диаметром 0.8 м и длиной более 1 м, которая сохраняет ламинарный характер течения при натекании на отстоящую на 0.7 м плоскую поверхность, моделирующую защищаемый производственный участок. Лазерная визуализация течения за формирующим устройством показала слабую зависимость течения от вводимых в поток воздействий оператора.