ИСТИНА

В работе было проведено углубленное исследование распыленного нитрида титана, действующего как в качестве литиевого диффузионного барьера, так и в качестве токосъемника, чтобы оценить полезность такого барьера в литий-ионной батарее. Подобраны оптимальные условия реактивного осаждения TiN, полученных при помощи установки магнетронного напыления в среде Ar и N2. Методами циклической вольтамперометрии определена роль тонкой пленки TiN в качестве барьера для диффузии ионов лития, а с помощью АСМ определена толщина и рельеф полученных покрытий.