Место издания:Организационный комитет международной конференции Взаимодействие ионов с поверхностью Москва, Россия
Первая страница:142
Последняя страница:145
Аннотация:Проведено моделирование методом молекулярной динамики физического распыления пористых кристаллических поверхностей (001) кремния и альфа-кварца ионами Ar с энергией 100 и 200 эВ. Получены значения коэффициента распыления материалов при различных энергиях налетающих ионов. Описаны структурные изменения, происходящие под действием Ar.