|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Применение электронного облучения для электрической активации и разгонки имплантированного бора в кремниистатья Исследовательская статья
- Авторы: Лагов П.Б., Дренин А.С., Манякина Д.С.
- Журнал: Вопросы атомной науки и техники. Серия: физика радиационного воздействия на радиоэлектронную аппаратуру
- Номер: 3
- Год издания: 2012
- Издательство: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт приборов"
- Местоположение издательства: Лыткарино
- Первая страница: 51
- Последняя страница: 53
- Аннотация: Проведено экспериментальное исследование эффективности применения облучения быстрыми электронами с энергией 5 МэВ при повышенной плотности потока для электрической активации и «разгонки» ионов бора, имплантированных в кремний n-типа
- Добавил в систему: Лагов Петр Борисович