Чистка диагностических зеркал в высокочастотном емкостном разряде в благородном газетезисы доклада

Работа с тезисами доклада


[1] Чистка диагностических зеркал в высокочастотном емкостном разряде в благородном газе / А. М. Дмитриев, Н. А. Бабинов, А. Н. Баженов и др. // Взаимодействие плазмы с поверхностью. — Москва: Москва, 2018. — С. 44–47.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть