Исследование стойкости диагностических окон в условиях очистки в ВЧ разряде в D2, Ne и их смесяхтезисы доклада

Работа с тезисами доклада


[1] Исследование стойкости диагностических окон в условиях очистки в ВЧ разряде в d2, ne и их смесях / В. Л. Буховец, А. Е. Городецкий, Р. Х. Залавутдинов и др. // Взаимодействие плазмы с поверхностью. — Москва: Москва, 2018. — С. 31–32.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть