|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Зондовая экспресс диагностика неравновесной анизотропной плазмы для травлениятезисы доклада
- Авторы: Ершов А.П., Калинин А.В., Мальков М.А., Шибков В.М.
- Сборник: Тезисы докладов Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии
- Тезисы
- Год издания: 1991
- Место издания: Рига
- Первая страница: 168
- Последняя страница: 170
- Добавил в систему: Шибков Валерий Михайлович