|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
ОСАЖДЕНИЕ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО УГЛЕРОДАБуховец В.Л., Варшавская И.Г.Физикохимия поверхности и защита материалов. 2009. Т. 45. № 6. С. 563-569статья Исследовательская статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 января 2018 г.
- Авторы: Буховец В.Л., Варшавская И.Г.
- Журнал: Физикохимия поверхности и защита материалов
- Том: 45
- Номер: 6
- Год издания: 2009
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 563
- Последняя страница: 569
- DOI: 10.1134/S207020510906001X
- Аннотация: Получены алмазоподобные пленки гидрогенизированного углерода на металлических подложках при осаждении из метана, активированного емкостным электрическим разрядом переменного тока в диапазоне частот 5250 кГц и скважности импульса напряжения разряда 1.517. Изменение параметров разряда (частоты, скважности, плотности тока, давления метана, величины протока газа), температуры подложки, геометрии вакуумной камеры позволяют в широком диапазоне влиять на скорость осаждения, свойства и структуру пленок. Алмазоподобные пленки гидрогенизированного углерода представляли собой нанокомпозитный материал. Размер sp2 кластеров составлял 56 нм, а отношение sp3/sp2 углерода и содержание связанного водорода уменьшалось с увеличением температуры подложки, плотности тока и с уменьшением давления метана.
- Добавил в систему: Буховец Валентин Леонидович