ОСАЖДЕНИЕ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО УГЛЕРОДАБуховец В.Л., Варшавская И.Г.Физикохимия поверхности и защита материалов. 2009. Т. 45. № 6. С. 563-569статья Исследовательская статья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 января 2018 г.

Работа с статьей


[1] Буховец В. Л., Варшавская И. Г. ОСАЖДЕНИЕ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО УГЛЕРОДАБуховец В.Л., Варшавская И.Г.Физикохимия поверхности и защита материалов. 2009. Т. 45. № 6. С. 563-569 // Физикохимия поверхности и защита материалов. — 2009. — Т. 45, № 6. — С. 563–569. Получены алмазоподобные пленки гидрогенизированного углерода на металлических подложках при осаждении из метана, активированного емкостным электрическим разрядом переменного тока в диапазоне частот 5–250 кГц и скважности импульса напряжения разряда 1.5–17. Изменение параметров разряда (частоты, скважности, плотности тока, давления метана, величины протока газа), температуры подложки, геометрии вакуумной камеры позволяют в широком диапазоне влиять на скорость осаждения, свойства и структуру пленок. Алмазоподобные пленки гидрогенизированного углерода представляли собой нанокомпозитный материал. Размер sp2 кластеров составлял 5–6 нм, а отношение sp3/sp2 углерода и содержание связанного водорода уменьшалось с увеличением температуры подложки, плотности тока и с уменьшением давления метана. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть