|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
EBL resist heating error and its correctionстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 9 января 2018 г.
- Авторы: Sergey Babin, Igor Kuzmin
- Журнал: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
- Том: 6283
- Год издания: 2006
- Издательство: SPIE, the International Society for Optical Engineering
- Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
- Первая страница: 62831Q
- DOI: 10.1117/12.681752
- Добавил в систему: Кузьмин Игорь Юрьевич