|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Thermal analysis of diamondlike carbon membrane masks in projection electron-beam lithographyстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 9 января 2018 г.
- Авторы: Babin S., Butomo V., Kuzmin I.Yu, Yamashita H., Yamabe M.
- Журнал: Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
- Том: 22
- Номер: 6
- Год издания: 2004
- Издательство: AIP Publishing
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 3082
- Последняя страница: 3086
- Добавил в систему: Кузьмин Игорь Юрьевич