|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Simulation and measurement of resist heating in multipass exposure using a 50 kV variably shaped beam systemстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 сентября 2018 г.
- Авторы: Babin S., Hartmann H., Kuzmin I.Yu
- Журнал: Microelectronic Engineering
- Том: 46
- Номер: 1-4
- Год издания: 1999
- Издательство: Elsevier BV
- Местоположение издательства: Netherlands
- Первая страница: 231
- Последняя страница: 234
- Добавил в систему: Кузьмин Игорь Юрьевич