|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Experimental verification of the TEMPTATION (temperature simulation) software toolстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus,
Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 9 января 2018 г.
- Авторы: Babin S., Kuzmin I.Yu
- Журнал: Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
- Том: 16
- Номер: 6
- Год издания: 1998
- Издательство: AIP Publishing
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 3241
- Последняя страница: 3247
- Добавил в систему: Кузьмин Игорь Юрьевич