|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Comparative study of resist heating and proximity effect influence on CD variation in 30 kV EBLстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 сентября 2018 г.
- Авторы: Babin S., Hudek P., Kostic I., Kuzmin I.Yu
- Журнал: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
- Том: 3331
- Год издания: 1998
- Издательство: SPIE, the International Society for Optical Engineering
- Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
- Первая страница: 83
- Добавил в систему: Кузьмин Игорь Юрьевич