|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Software for Temperature Simulation (TEMPTATION) in Electron-Beam Lithographyстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 сентября 2018 г.
- Авторы: Babin S., Kuzmin I.Yu, Sergeev G.
- Журнал: Microelectronic Engineering
- Том: 41
- Год издания: 1998
- Издательство: Elsevier BV
- Местоположение издательства: Netherlands
- Первая страница: 191
- Добавил в систему: Кузьмин Игорь Юрьевич