|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Software Tool for Temperature Simulation in Electron Beam Lithography: TEMPTATIONстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 9 января 2018 г.
- Авторы: Babin S., Kuzmin I.Yu, Sergeev G.
- Журнал: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
- Том: 3236
- Год издания: 1997
- Издательство: SPIE, the International Society for Optical Engineering
- Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
- Первая страница: 464
- Добавил в систему: Кузьмин Игорь Юрьевич