|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
CD-Variation in 30 kV EBL due to Resist Heating: Experiment and Simulationстатья
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 сентября 2018 г.
- Авторы: Babin S., Hudek P., Kostic I., Kuzmin I.Yu
- Журнал: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
- Том: 3048
- Год издания: 1997
- Издательство: SPIE, the International Society for Optical Engineering
- Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
- Первая страница: 368
- Добавил в систему: Кузьмин Игорь Юрьевич