On the mechanism of polyimide surface roughening due to anisotropic etching with a beam of fast oxygen atomsстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 26 декабря 2017 г.

Работа с статьей


[1] On the mechanism of polyimide surface roughening due to anisotropic etching with a beam of fast oxygen atoms / V. V. Matveev, A. P. Nikiforov, V. E. Skurat, A. E. Chalykh // Chemical Physics Reports. — 1998. — Vol. 17, no. 4. — P. 791–791.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть