Digital-reflectometry characterization of the surface structure and protective property of thin filmsстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 2 мая 2018 г.

Работа с статьей


[1] Kotenev V. A. Digital-reflectometry characterization of the surface structure and protective property of thin films // Russian Microelectronics. — 2002. — Vol. 31, no. 6. — P. 396–406.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть