Цифровая модуляционная эллипсометрия в контроле роста термооксидных слоевстатья

Работа с статьей


[1] Котенев В. А. Цифровая модуляционная эллипсометрия в контроле роста термооксидных слоев // Защита металлов. — 2003. — Т. 39, № 3. — С. 291–299.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть