Комбинирование лазерного фото эдс и эллипсометрического микрозондов в дефектоскопии тонких поверхностных слоев и пленокстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science

Информация о цитировании статьи получена из Scopus
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 20 декабря 2019 г.

Работа с статьей


[1] Котенев В. А. Комбинирование лазерного фото эдс и эллипсометрического микрозондов в дефектоскопии тонких поверхностных слоев и пленок // Микроэлектроника. — 2003. — Т. 32, № 6. — С. 440–447.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть