Измерение оптических коэффициентов нанометровых металлических пленок на частоте 10 ГГц

Андреев, В.Г.; Вдовин, В.А.; Пронин, С.М.; Хорин, И.А.

Авторы: Андреев В.Г., Вдовин В.А., Пронин С.М., Хорин И.А.
Журнал: Журнал радиоэлектроники
Номер: 11
Год издания: 2017
Издательство: Учреждение Российской академии наук Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук
Местоположение издательства: Москва
Аннотация: Исследованы оптические коэффициенты ультратонких (1- 30 нм) пленок меди и платины на кремниевых и кварцевых подложках на частоте 10 ГГц. Пленки изготовлены методом магнетронного распыления. Измерения коэффициентов отражения и пропускания проводилось в волноводе с использованием согласованной нагрузки. В качестве дополнительного предложен резонаторный метод с подстраиваемым отражающим зеркалом. Коэффициенты отражения пленок, полученные обоими методами согласуются между собой в пределах погрешности измерений. Сравнение с теоретическими расчетами, выполненными с использованием полуэмпирической модели, учитывающей зависимость проводимости пленки от толщины, показало, что проводимость пленок почти на порядок меньше, чем в объемном металле. Коэффициент отражения пленок платины очень мал, и только для толщин, превышающих 15 нм начинает подрастать. Проведен детальный анализ морфологии поверхности полученных пленок с помощью методов электронной микроскопии. Показано, что пленки меди с толщиной до 4 нм очень быстро окисляются на воздухе, в результате чего формируется стойкий слой окисла со сложной структурой. Однако начиная с толщины 4 нм пленки проявляют металлические свойства, а их структура становится достаточно однородной. Пленки платины на подложке Si (100) растут по двумерному механизму. Зерна с увеличением толщины пленки приобретают коническую форму. При толщине 5 нм уже наблюдается структура зерен с четкими межзеренными промежутками. Дальнейшее увеличение толщины пленки приводит к росту зерен, однако пустоты между ними становятся шире, что снижает проводимость пленок. Режим доступа: http://jre.cplire.ru/jre/nov17/17/text.pdf
Добавил в систему: Андреев Валерий Георгиевич

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Измерение оптических коэффициентов нанометровых металлических пленок на частоте 10 ГГцстатья Электронная публикация

Прикрепленные файлы