Осаждение микрокристаллических алмазных пленок в СВЧ плазме на подложках с полимерным прекурсоромстатья

Работа с статьей


[1] Осаждение микрокристаллических алмазных пленок в СВЧ плазме на подложках с полимерным прекурсором / В. С. Седов, В. Г. Ральченко, А. И. Сизов и др. // Сбрник трудов МИРЭА Материалы VII Международной научно-технической конференции INTERMATIC -2010.Москва, МИРЭА, 23-27 ноября 2010г. — Т. 2. — МИРЭА Москва, 2010. — С. 79–82.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть