Формирование пленок вольфрама и его оксидов в высокочастотном емкостном разряде в смеси D2–O2статья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 октября 2018 г.

Работа с статьей


[1] Формирование пленок вольфрама и его оксидов в высокочастотном емкостном разряде в смеси d2–o2 / А. Е. Городецкий, Р. Х. Залавутдинов, В. Л. Буховец и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2017. — № 12. — С. 91–102. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть