Fabrication of optically smooth surface on the cleavage of porous silicon by gas cluster ion irradiationстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 2 мая 2018 г.

Работа с статьей


[1] Ieshkin A. E., Svyakhovskiy S. E., Chernysh V. S. Fabrication of optically smooth surface on the cleavage of porous silicon by gas cluster ion irradiation // Vacuum. — 2018. — Vol. 148. — P. 272–275. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть