|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Проблемы субмикроэлектронной литографии в микроэлектроникетезисы доклада
- Автор: Валиев К.А.
- Сборник: Современные вопросы информатики, вычислительной техники и автоматизации. Всесоюзная конференция (Москва, 21—23 апреля 1985 г.): Тезисы докладов и сообщений
- Тезисы
- Год издания: 1985
- Место издания: ВИНИТИ Москва
- Первая страница: 6
- Последняя страница: 7
- Добавил в систему: Осадченко Николай Владимирович