FIB-fabricated complex-shaped 3D chiral photonic silicon nanostructuresстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 26 декабря 2017 г.

Работа с статьей

[1] Fib-fabricated complex-shaped 3d chiral photonic silicon nanostructures / O. Y. Rogov, V. V. Artemov, M. V. Gorkunov et al. // Journal of Microscopy. — 2017. — Vol. 268, no. 3. — P. 254–258. Technologies capable of fabricating complex shaped silicon metasurfaces attract increasing attention. The focused ion beam fabrication technique is considered traditionally as causing thick damaged layers in silicon resulting in a significant rise of the optical absorption loss. We examine the structure of the FIB-fabricated nanostructures on the silicon-on-sapphire (SOS) platform and its optical characteristics before and after thermal oxidation. We show that being thermally oxidised the FIB-patterned silicon subwavelength nanostructure tends to regain its chiral optical features. The impact of the oxidation process on the silicon nanostructure optical behaviour is discussed. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть