Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
SEM AND SIMS STUDY OF THE BURIED SIXNY LAYER FORMED IN SILICON
статья
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Авторы:
Saad A.M.
,
Frantskevich A.V.
,
Frantskevich N.V.
,
Fedotov A.K.
, Mazanik A.V.,
Rau E.I.
,
Wegierek P.
,
Kołtunowicz T.
, Zukowski P.
Журнал:
Vacuum
Том:
83
Год издания:
2009
Издательство:
Elsevier Ltd
Местоположение издательства:
London
Добавил в систему:
Рау Эдуард Иванович