Аннотация:Проведен сравнительный анализ пробегов электронов в твердотельных средах в зависимости от начальных энергий электронов (в диапазоне 150 кэВ) и характеристических параметров вещества. С помощью простых эмпирических соотношений приводится взаимосвязь между полной длиной пробега электронов и глубиной их проникновения в материал мишени. Рассмотрена мера размытия электронного пучка при его проникновении в вещество и определено пространственное разрешение электронно-зондовых приборов, в том числе в режиме отраженных электронов.