ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ AACVD ТОНКИХ ПЛЕНОК ZnO НА МИКРОСТРУКТУРНЫЕ И ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Мокрушин, А.С.; Дмитриева, С.А.; Симоненко, Н.П.; Аверин, А.А.; Горобцов, Ф.Ю.; Звягина, А.И.; Е, П.С.

Авторы: Мокрушин А.С., Дмитриева С.А., Симоненко Н.П., Аверин А.А., Горобцов Ф.Ю., Звягина А.И., Е П.Симоненко
Журнал: Журнал неорганической химии
Том: 70
Номер: 10
Год издания: 2025
Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 1391
Последняя страница: 1405
Переводные версии: Influence of AACVD Temperature on the Microstructural and Gas Sensing Properties of ZnO Thin Films
DOI: 10.7868/S3034560X25100172
Аннотация: Методом ААСVD получены тонкие пленки оксида цинка. Варьируемым параметром является температура синтеза, которая составляет от 350 до 500°C. Показано, что частицы ZnO имеют структуру вюрцита со средним размером кристаллитов 26 ± 4 нм. Анализ морфологии полученных пленок показал, что в диапазоне температур 400–450°C образуются сплошные пленки со средним размером частиц 52 ± 14 нм, а при температурах синтеза 350–375°C и 475–500°C — пленки с островковой структурой со средним размером 51 ± 13 нм. Изучены оптические свойства полученных пленок, оценочные значения ширины запрещенной зоны равны 3.31–3.34 эВ. Предложен механизм формирования пленок в зависимости от температуры синтеза. Изучены их хемосенсорные свойства при рабочей температуре 150–350°C с использованием большой группы газов-аналитов: CO, NH3, H2, CH4, C6H6, этанола, ацетона и NO2.Продемонстрирована высокая чувствительность (4–100 м.д.) тонких пленок к летучим органическим соединениям при рабочей температуре 350°C. Установлено, что наибольший отклик демонстрирует образец с наибольшей шероховатостью поверхности. Исследовано влияние влажности на величину и форму сигнала, полученного при обнаружении ацетона.
Добавил в систему: Звягина Александра Игоревна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ AACVD ТОНКИХ ПЛЕНОК ZnO НА МИКРОСТРУКТУРНЫЕ И ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИстатья

Прикрепленные файлы